A trench in a semiconductor substrate is lined with a first insulation layer. A hard mask layer deposited on the first insulation layer is used to control performance of an etch that selectively removes a first portion of the first insulating layer from an upper trench portion while leaving a second portion of first insulating layer in a lower trench portion. After removing the hard mask layer, an upper portion of the trench is lined with a second insulation layer. An opening in the trench that includes a lower open portion delimited by the second portion of first insulating layer in the lower trench portion and an upper open portion delimited by the second insulation layer at the upper trench portion, is then filled by a single deposition of polysilicon material forming a unitary gate/field plate conductor of a field effect rectifier diode.
The present disclosure is directed to semiconductor packages that include a molding compound having at least one raised portion that extends outward from the package. In some embodiments, the semiconductor packages have a plurality of raised portions, and a plurality of conductive layers are on the plurality of raised portions. The plurality of raised portions and the plurality of conductive layers are utilized to mount the semiconductor packages to an external electronic device (e.g., a printed circuit board (PCB), another semiconductor package, an external electrical connection, etc.). In some embodiments, the semiconductor packages have a single raised portion with a plurality of conductive layers that are on the single raised portion. The single raised portion and the plurality of conductive layers are utilized to mount the semiconductor packages to the external electronic device. The plurality of conductive layers on the plurality of raised portions or the single raised portion may be formed by a laser direct structuring (LDS) process.
The present disclosure is directed to a package that includes a transparent layer that is on and covers a sensor of a die as well as a plurality of electrical connections that extend from a first surface of the package to the second surface of the package opposite to the first surface. In at least one embodiment of a package, the electrical connections each include a conductive structure that extends through the transparent layer to a first side of a corresponding contact pad of the die, and at least one electrical that extends into the second surface of the die to a second side of the corresponding contact pad that is opposite to the first side. In at least another embodiment of a package, the electrical connections include a conductive structure that extends through a molding compound to a first side of a corresponding contact pad of the die, and at least one electrical via that extends into the second surface of the die to a second side of the corresponding contact pad opposite to the first side.
H10F 39/00 - Dispositifs intégrés, ou ensembles de plusieurs dispositifs, comprenant au moins un élément couvert par le groupe , p. ex. détecteurs de rayonnement comportant une matrice de photodiodes
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H10F 71/00 - Fabrication ou traitement des dispositifs couverts par la présente sous-classe
H10F 77/00 - Détails de structure des dispositifs couverts par la présente sous-classe
4.
WAFER LEVEL CHIP SCALE PACKAGE HAVING VARYING THICKNESSES
A wafer level chip scale package (WLCSP) with portions that have different thicknesses. A first passive surface of a die in the WLSCP includes a plurality of surfaces. The plurality of surfaces may include inclined surfaces or flat surfaces. Thicker portions of die, with more semiconductor material remaining are non-critical portions that increase a WLCSP's strength for further processing and handling after formation, and the thinner portions are critical portions that reduce a Coefficient of Thermal Expansion (CTE) mismatch between a WLCSP and a PCB.
The present disclosure is directed to a package that includes a plurality of die that are stacked on each other. The plurality of die are within a first resin and conductive layer is on the first resin. The conductive layer is coupled between ones of first conductive vias extending into the first resin to corresponding ones of the plurality of die. The conductive layer and the first conductive vias couple ones of the plurality of die to each other. A second conductive via extends into the first resin to a contact pad of the substrate, and the conductive layer is coupled to the second conductive via coupling ones of the plurality of die to the contact pad of the substrate. A second resin is on and covers the first resin and the conductive layer on the first resin. In some embodiments, the first resin includes a plurality of steps (e.g., a stepped structure). In some embodiments, the first resin includes inclined surfaces (e.g., sloped surfaces).
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
The present disclosure is directed to embodiments of optical sensor packages. For example, at least one embodiment of an optical sensor package includes a light-emitting die, a light-receiving die, and an interconnect substrate within a first resin. A first transparent portion is positioned on the light-emitting die and the interconnect substrate, and a second transparent portion is positioned on the light-receiving die and the interconnect substrate. A second resin is on the first resin, the interconnect substrate, and the first and second transparent portions, respectively. The second resin partially covers respective surfaces of the first and second transparent portions, respectively, such that the respective surfaces are exposed from the second resin.
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
A blind opening is formed in a bottom surface of a semiconductor substrate to define a thin membrane suspended from a substrate frame. The thin membrane has a topside surface and a bottomside surface. A stress structure is mounted to one of the topside surface or bottomside surface of the thin membrane. The stress structure induces a bending of the thin membrane which defines a normal state for the thin membrane. Piezoresistors are supported by the thin membrane. In response to an applied pressure, the thin membrane is bent away from the normal state and a change in resistance of the piezoresistors is indicative of the applied pressure.
B81B 3/00 - Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p. ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G01L 1/18 - Mesure des forces ou des contraintes, en général en utilisant des propriétés des matériaux piézo-résistants, c.-à-d. des matériaux dont la résistance ohmique varie suivant les modifications de la grandeur ou de la direction de la force appliquée au matériau
G01L 9/00 - Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d’un fluide ou d’un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pressionTransmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d’un fluide ou d’un matériau solide fluent
8.
OPTICAL SENSOR PACKAGE AND METHOD OF MAKING AN OPTICAL SENSOR PACKAGE
A molded carrier is formed by a unitary body made of a laser direct structuring (LDS) material and includes a blind opening with a bottom surface. The unitary body includes: a floor body portion defining a back side and the bottom surface of the blind opening and an outer peripheral wall body portion defining a sidewall surface of the blind opening. LDS activation followed by electro-plating is used to produce: a die attach pad and bonding pad at the bottom surface; land grid array (LGA) pads at the back side; and vias extending through the floor body portion to make electrical connections between the die attach pad and one LGA pad and between the bonding pad and another LGA pad. An integrated circuit chip is mounted to the die attach pad and wire bonded to the bonding pad. A wafer-scale manufacturing process is used to form the molded carrier.
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 25/18 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types prévus dans plusieurs différents groupes principaux de la même sous-classe , , , , ou
H01S 5/02218 - Matériaux du boîtierMatériaux de remplissage du boîtier
H01S 5/02315 - Éléments de support, p. ex. bases ou montures
An integrated circuit device includes a metal contact and a passivation layer extending on a sidewall of the metal contact and on first and second surface portions of a top surface of the metal contact. The passivation layer is format by a stack of layers including: a tetraethyl orthosilicate (TEOS) layer; a Phosphorus doped TEOS (PTEOS) layer on top of the TEOS layer; and a Silicon-rich Nitride layer on top of the PTEOS layer. The TEOS and PTEOS layers extend over the first surface portion, but not the second surface portion, of the top surface of the metal contact. The Silicon-rich Nitride layer extends over both the first and second surface portions, and is in contact with the second surface portion.
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 27/06 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration non répétitive
10.
POWER MOSFET WITH REDUCED CURRENT LEAKAGE AND METHOD OF FABRICATING THE POWER MOSFET
An integrated circuit includes a polysilicon region that is doped with a dopant. A portion of the polysilicon region is converted to a polyoxide region which includes un-oxidized dopant ions. A stack of layers overlies over the polyoxide region. The stack of layers includes: a first ozone-assisted sub-atmospheric pressure thermal chemical vapor deposition (O3 SACVD) TEOS layer; and a second O3 SACVD TEOS layer; wherein the first and second O3 SACVD TEOS layers are separated from each other by a dielectric region. A thermally annealing is performed at a temperature which induces outgassing of passivation atoms from the first and second O3 SACVD TEOS layers to migrate to passivate interface charges due to the presence of un-oxidized dopant ions in the polyoxide region.
The present disclosure is directed to a sensor die with an embedded light sensor and an embedded light emitter as well as methods of manufacturing the same. The light emitter in the senor die is surrounded by a resin. The sensor die is incorporated into semiconductor device packages as well as methods of manufacturing the same. The semiconductor device packages include a first optically transmissive structure on the light sensor of the sensor die and a second optically transmissive structure on the light emitter of the sensor die. The first optically transmissive structure and the second optically transmissive structure cover and protect the light sensor and the light emitter, respectively. A molding compound is on a surface of a sensor die and covers sidewalls of the first and second optically transmissive structures on the sensor die.
H01L 31/12 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour
H01L 31/02 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails - Détails
Disclosed herein is a method of reducing noise captured by an image sensor. The method includes affixing a bottom surface of a glass covering to the image sensor, permitting light to impinge upon the glass covering, and shaping the glass covering such that when the light that impinges upon the glass covering impinges upon a sidewall of the glass covering, the sidewall reflects the light on a trajectory away from the image sensor.
H10F 39/00 - Dispositifs intégrés, ou ensembles de plusieurs dispositifs, comprenant au moins un élément couvert par le groupe , p. ex. détecteurs de rayonnement comportant une matrice de photodiodes
13.
PANEL LEVEL SEMICONDUCTOR PACKAGE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
The present disclosure is directed to at least one semiconductor package including a die within an encapsulant having a first sidewall, an adhesive layer on the encapsulant and having a second sidewall coplanar with the first sidewall of the encapsulant, and an insulating layer on the adhesive layer having a third sidewall coplanar with the first sidewall and the second sidewall. A method of manufacturing the at least one semiconductor package includes forming an insulating layer on a temporary adhesion layer of a carrier, forming an adhesive layer on the insulating layer, and forming a plurality of openings through the adhesive layer and the insulating layer. The plurality of openings through the adhesive layer and the insulating layer may be formed by exposing the adhesive layer and the insulating layer to a laser.
A method of manufacturing a chip-sized package includes providing a wafer having a die area formed therein adjacent a front face thereof, with the die area having pads formed thereon. Vias in the wafer are formed to extend between a back face of the wafer and a back side of some of the pads of the die area. Solder pads connected to the vias are formed, and a thermal pad is formed on the back side of the wafer opposite to the die area. Cavities are formed in the back face of the wafer to define pillars extending outwardly from a planar portion of the die area, some of the pillars having the solder pads at a distal end thereof, at least one of the pillars having the thermal pad at a distal end thereof. The wafer is singulated to form a chip-sized package including an integrated circuit die.
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/3065 - Gravure par plasmaGravure au moyen d'ions réactifs
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
H01L 23/36 - Emploi de matériaux spécifiés ou mise en forme, en vue de faciliter le refroidissement ou le chauffage, p. ex. dissipateurs de chaleur
H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p. ex. fils de connexion ou bornes
15.
Gas sensor device for detecting gases with large molecules
The present disclosure is directed to a gas sensor device that detects gases with large molecules (e.g., a gas with a molecular weight between 150 g/mol and 450 g/mol), such as siloxanes. The gas sensor device includes a thin film gas sensor and a bulk film gas sensor. The thin film gas sensor and the bulk film gas sensor each include a semiconductor metal oxide (SMO) film, a heater, and a temperature sensor. The SMO film of the thin film gas sensor is an thin film (e.g., between 90 nanometers and 110 nanometers thick), and the SMO film of the bulk film gas sensor is an thick film (e.g., between 5 micrometers and 20 micrometers thick). The gas sensor device detects gases with large molecules based on a variation between resistances of the SMO thin film and the SMO thick film.
G01N 33/00 - Recherche ou analyse des matériaux par des méthodes spécifiques non couvertes par les groupes
G01N 27/02 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance
G01N 27/12 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance d'un corps solide dépendant de l'absorption d'un fluideRecherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance d'un corps solide dépendant de la réaction avec un fluide
16.
OPTICAL SENSOR PACKAGE WITH ENCAPSULANT IS BETWEEN AND SEPARATES SUBSTRATES AND MULTIPLE ASSEMBLIES
The present disclosure is directed to an optical sensor package with a first assembly and a second assembly with an encapsulant extending between and coupling the first assembly and the second assembly. The first assembly includes a first substrate, a first die on the first substrate, a transparent material on the first die, and an infrared filter on the transparent material. The second assembly includes a second substrate, a second die on the second substrate, a transparent material on the second die, and an infrared filter on the transparent material. Apertures are formed through the encapsulant aligned with the first die and the second die. The first die is configured to transmit light through one aperture, wherein the light reflects off an object to be detected and is received at the second die through another one of the apertures.
The present disclosure is directed to a power package with copper plating terminals. The power package includes at least two terminals coupled to a semiconductor die. An area of a first terminal is greater than an area of a second terminal. The first and second terminals extend to a first and second conductive layers in a backside of the package. A third conductive layer is coupled to a backside surface of the die that is coplanar with the first and second conductive layers. The terminals and conductive layers are copper plating. A first molding compound covers the die and terminals, while a second molding compound fills distances between the die and the extensions of the terminals. The copper plating and the molding compounds enhance the performance of the packaged device in a high-power circuit. In addition, robustness of the package is enhanced compared with conventional packages including wire bonding.
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 23/42 - Choix ou disposition de matériaux de remplissage ou de pièces auxiliaires dans le conteneur pour faciliter le chauffage ou le refroidissement
18.
Wafer level chip scale package having varying thicknesses
A wafer level chip scale package (WLCSP) with portions that have different thicknesses. A first passive surface of a die in the WLSCP includes a plurality of surfaces. The plurality of surfaces may include inclined surfaces or flat surfaces. Thicker portions of die, with more semiconductor material remaining are non-critical portions that increase a WLCSP's strength for further processing and handling after formation, and the thinner portions are critical portions that reduce a Coefficient of Thermal Expansion (CTE) mismatch between a WLCSP and a PCB.
A semiconductor package includes a silicon substrate with an active surface and an inactive surface. A semiconductor device, such as an image, light, or optical sensor, is formed in the active surface and disposed on the substrate. A glass plate is coupled to the substrate with adhesive. The glass plate includes a sensor area that corresponds to the area of the semiconductor device and holes through the glass plate that are generally positioned around the sensor area of the glass plate. During formation of the package, the holes through the glass plate allow gas released by the adhesive to escape the package and prevent formation of a gas bubble.
H01L 23/04 - ConteneursScellements caractérisés par la forme
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
20.
METHOD FOR AUTO-ALIGNED MANUFACTURING OF A TRENCH-GATE MOS TRANSISTOR, AND SHIELDED-GATE MOS TRANSISTOR
A MOS transistor of vertical-conduction, trench-gate, type, including a first and a second spacer adjacent to portions of a gate oxide of the trench-gate protruding from a semiconductor substrate, the first and second spacers being specular to one another with respect to an axis of symmetry; enriched P+ regions are formed by implanting dopant species within the body regions using the spacers as implant masks. The formation of symmetrical spacers makes it possible to form source, body and body-enriched regions that are auto-aligned with the gate electrode, overcoming the limitations of MOS transistors of the known type in which such regions are formed by means of photolithographic techniques (with a consequent risk of asymmetry).
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
H01L 21/265 - Bombardement par des radiations ondulatoires ou corpusculaires par des radiations d'énergie élevée produisant une implantation d'ions
H01L 21/266 - Bombardement par des radiations ondulatoires ou corpusculaires par des radiations d'énergie élevée produisant une implantation d'ions en utilisant des masques
21.
Integrated circuit chip package that does not utilize a leadframe
An integrated circuit die includes a semiconductor substrate, an interconnect layer including bonding pads, and a passivation layer covering the interconnect layer and including openings at the bonding pads. A conductive redistribution layer including conductive lines and conductive vias is supported by the passivation layer. An insulating layer covers the conductive redistribution layer and the passivation layer. Channels formed in an upper surface of the insulating layer delimit pedestal regions in the insulating layer. A through via extends from an upper surface of each pedestal region through the pedestal region and the insulating layer to reach and make contact with a portion of the conductive redistribution layer. A metal pad is formed at the upper surface of each pedestal region in contact with its associated through via. The metal pads for leads of a quad-flat no-lead (QFN) type package.
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H10D 84/03 - Fabrication ou traitement caractérisés par l'utilisation de technologies basées sur les matériaux utilisant une technologie du groupe IV, p. ex. technologie au silicium ou au carbure de silicium [SiC]
22.
SEMICONDUCTOR METAL OXIDE BASED GAS SENSOR ACTIVATED AT ZERO HEATER POWER
A gas sensor is formed by a thin-film semiconductor metal-oxide gas sensing layer, with a thermally conductive and electrically-insulating layer in direct physical contact with a back of the gas sensing layer to carry the gas sensing layer. Sensing circuitry applies a voltage to the gas sensing layer and measures a current flowing through the gas sensing layer. The current flowing through the gas sensing layer is indicative of whether a gas under detection has been detected by the gas sensing layer, and serves to self-heat the gas sensing layer. A support structure extends from a substrate to make direct physical contact with and carry the thermally conductive and electrically insulating layer about a perimeter of a back face thereof, with the support structure shaped to form an air gap between the back of the thermally conductive and electrically insulating layer and a front of the substrate.
G01N 33/00 - Recherche ou analyse des matériaux par des méthodes spécifiques non couvertes par les groupes
G01N 27/04 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance
23.
THICK BONDING PAD STRUCTURE FOR WIRE BOND STRESS REDUCTION
A bonding pad for an integrated circuit is formed by a stack of bonding pad layers. A lower bonding pad layer is supported by a bonding pad support layer. A passivation layer extends over the lower bonding pad layer and includes a passivation opening at a portion of an upper surface of the lower bonding pad layer. An upper bonding pad layer rests on said passivation layer and in the passivation opening in contact with the lower bonding pad layer.
A semiconductor package includes a die and a first lamination layer on the die with openings through the first lamination layer. A redistribution layer is on the first lamination layer and extends through the openings to the die. A plurality of conductive extensions are on the redistribution layer with each stud including a first surface on the redistribution layer, a second surface opposite to the first surface, and a sidewall between the first surface and the second surface. A second lamination layer is on the redistribution layer and the first lamination layer with the die encapsulated in molding compound. The second lamination layer is removed around the conductive extensions to expose the second surface and at least a portion of the sidewall of each stud to improve solder bond strength when mounting the package to a circuit board.
A semiconductor device having a channel between active sections or portions of the device is disclosed. An elastic material, such as dielectric or a polymer, is deposited into the channel and cured to increase flexibility and thermal expansion properties of the semiconductor device. The elastic material reduces the thermal and mechanical mismatch between the semiconductor device and the substrate to which the semiconductor device is coupled in downstream processing to improve reliability. The semiconductor device may also include a plurality of channels formed transverse with respect to each other. Some of the channels extend all the way through the semiconductor device, while other channels extend only partially through the semiconductor device.
H01L 23/29 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par le matériau
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
A multi-chip package including a first integrated circuit and a second integrated circuit. The first integrated circuit includes a first side having a first conductive layer, a second side having a second conductive layer, and an edge, the first conductive layer coupled to the second conductive layer at a location adjacent to the edge. The second integrated circuit is coupled to the second conductive layer of the first integrated circuit.
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/13 - Supports, p. ex. substrats isolants non amovibles caractérisés par leur forme
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides
27.
OXIDE FIELD TRENCH POWER MOSFET WITH A MULTI EPITAXIAL LAYER SUBSTRATE CONFIGURATION
A semiconductor substrate includes: a base substrate layer doped with a first type dopant; a first epitaxial layer on the base substrate layer that has a first thickness and is doped with the first type dopant to provide a first resistivity; a second epitaxial layer on the first epitaxial layer that has a second thickness and is doped with the first type dopant to provide a second resistivity (less than the third resistivity); and a third epitaxial layer on the second epitaxial layer that has a third thickness and is doped with the first type dopant to provide a third resistivity (less than the second resistivity). An oxide field trench transistor includes a trench with insulated polygate and polysource regions extending into the semiconductor substrate and passing through the first doped region, the second doped region, the third epitaxial layer and partially into the second epitaxial layer.
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 21/765 - Réalisation de régions isolantes entre les composants par effet de champ
Described herein is a method of forming wafer-level packages from a wafer. The method includes adhesively attaching front sides of first integrated circuits within the wafer to back sides of second integrated circuits such that pads on the front sides of the first integrated circuits and pads on front sides of the second integrated circuits are exposed. The method further includes forming a laser direct structuring (LDS) activatable layer over the front sides of the first integrated circuits and the second integrated circuits and over edges of the second integrated circuits, and forming desired patterns of structured areas within the LDS activatable layer. The method additionally includes metallizing the desired patterns of structured areas to form conductive areas within the LDS activatable layer.
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides
Provided is a sensor package with an integrated circuit embedded in a substrate and a sensor die on the substrate. The substrate includes a molding compound that has additives configured to respond to a laser. The integrated circuit is embedded in the molding compound. An opening is through the substrate and is aligned with the sensor die. A lid covers the sensor die and the substrate, forming a cavity. At least one trace is formed on a first surface of the substrate, on an internal sidewall of the opening and on a second surface of the substrate with a laser direct structuring process.
The present disclosure is directed to embodiments of sensor package including a doped resin on respective surfaces and sidewalls of a transparent portion, a sensor die, and a support structure extending from the transparent portion to the sensor die. The support structure suspends the transparent portion over a sensor of the sensor die. The doped resin is doped with an additive material, and the additive material is activated by exposing the doped resin to a laser. The doped resin is exposed to the laser forming conductive layers extending along the doped resin for providing electrical connections within the sensor package and to electronic components external to the embodiments of the sensor die packages. The conductive layers are at least partially covered by a non-conductive layer.
A trench in a semiconductor substrate is lined with a first insulation layer. A hard mask layer deposited on the first insulation layer is used to control performance of an etch that selectively removes a first portion of the first insulating layer from an upper trench portion while leaving a second portion of first insulating layer in a lower trench portion. After removing the hard mask layer, an upper portion of the trench is lined with a second insulation layer. An opening in the trench that includes a lower open portion delimited by the second portion of first insulating layer in the lower trench portion and an upper open portion delimited by the second insulation layer at the upper trench portion, is then filled by a single deposition of polysilicon material forming a unitary gate/field plate conductor of a field effect rectifier diode.
An optical sensor package includes an emitter die mounted to an upper surface of a package substrate. A sensor die is mounted to the upper surface of the package substrate using a film on die (FOD) adhesive layer that extends over the upper surface and encapsulates the emitter die. The sensor die is positioned in a stacked relationship with respect to the emitter die such that a light channel region which extends through the sensor die is optically aligned with the emitter die. Light emitted by the emitter die passes through the light channel region of the sensor die. The emitter die and the sensor die are each electrically coupled to the package substrate.
H01S 5/02218 - Matériaux du boîtierMatériaux de remplissage du boîtier
H01S 5/02253 - Découplage de lumière utilisant des lentilles
H01S 5/02255 - Découplage de lumière utilisant des éléments de déviation de faisceaux lumineux
H01S 5/0239 - Combinaisons d’éléments électriques ou optiques
G02F 1/01 - Dispositifs ou dispositions pour la commande de l'intensité, de la couleur, de la phase, de la polarisation ou de la direction de la lumière arrivant d'une source lumineuse indépendante, p. ex. commutation, ouverture de porte ou modulationOptique non linéaire pour la commande de l'intensité, de la phase, de la polarisation ou de la couleur
H01S 5/183 - Lasers à émission de surface [lasers SE], p. ex. comportant à la fois des cavités horizontales et verticales comportant uniquement des cavités verticales, p. ex. lasers à émission de surface à cavité verticale [VCSEL]
33.
Method of manufacturing electronic devices and corresponding electronic device
A substrate includes electrically-conductive tracks. A semiconductor chip is arranged on the substrate and electrically coupled to selected ones of the electrically-conductive tracks. Containment structures are provided at selected locations on the electrically-conductive tracks, where the containment structures have respective perimeter walls defining respective cavities. Each cavity is configured to accommodate a base portion of a pin holder. These pin holders are soldered to the electrically-conductive tracks within the cavities defined by the containment structures. Each containment structure may be formed by a ring of resist material configured to receive solder and maintain the pin holders in a desired alignment position.
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
H01L 23/13 - Supports, p. ex. substrats isolants non amovibles caractérisés par leur forme
The present disclosure is directed to embodiments of optical sensor packages. For example, at least one embodiment of an optical sensor package includes a light-emitting die, a light-receiving die, and an interconnect substrate within a first resin. A first transparent portion is positioned on the light-emitting die and the interconnect substrate, and a second transparent portion is positioned on the light-receiving die and the interconnect substrate. A second resin is on the first resin, the interconnect substrate, and the first and second transparent portions, respectively. The second resin partially covers respective surfaces of the first and second transparent portions, respectively, such that the respective surfaces are exposed from the second resin.
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
35.
Gate contact structure for a trench power MOSFET with a split gate configuration
An integrated circuit transistor device includes a semiconductor substrate providing a drain, a first doped region buried in the semiconductor substrate providing a body and a second doped region in the semiconductor substrate providing a source. A trench extends into the semiconductor substrate and passes through the first and second doped regions. An insulated polygate region within the trench surrounds a polyoxide region that may have void inclusion. The polygate region is formed by a first gate lobe and second gate lobe on opposite sides of the polyoxide region. A pair of gate contacts are provided at each trench. The pair of gate contacts includes: a first gate contact extending into the first gate lobe at a location laterally offset from the void and a second gate contact extending into the second gate lobe at a location laterally offset from the void.
The present disclosure is directed to embodiments of semiconductor device packages including a plurality of conductive vias and traces formed by an laser-direct structuring process, which includes at least a lasering step and a plating step. First ones of the plurality of conductive vias extend into an encapsulant to contact pads of a die encased within the encapsulant, and second ones of the plurality of conductive vias extend in the encapsulant to end portions of leads in the encapsulant. The second ones of the plurality of conductive vias may couple the leads to contact pads of the die. In some embodiments, the leads of the semiconductor device packages may extend outward and away from encapsulant. In some other alternative embodiments, the leads of the semiconductor device packages may extend outward and away from the encapsulant and then bend back toward the encapsulant such that an end of the lead overlaps a surface of the encapsulant at which the plurality of conductive vias are present.
A method of forming a wafer-level package includes singulating a wafer into a plurality of reconstituted integrated circuit dies, affixing a carrier to a front side of the plurality of integrated circuit dies, and forming a laser direct structuring (LDS) activatable resin over a back side of the plurality of integrated circuit dies, over side edges of the plurality of integrated circuit die, and over adjacent portions of the carrier. Desired areas of the LDS activatable resin are activated to form conductive areas within the LDS activatable resin, at least one of the conductive areas associated with each integrated circuit die being formed to contact a respective pad of that integrated circuit die and to run alongside to and in contact with a side of the LDS activatable resin in contact with a side edge of that integrated circuit die.
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
The present disclosure is directed to a package that includes a transparent layer that is on and covers a sensor of a die as well as a plurality of electrical connections that extend from a first surface of the package to the second surface of the package opposite to the first surface. In at least one embodiment of a package, the electrical connections each include a conductive structure that extends through the transparent layer to a first side of a corresponding contact pad of the die, and at least one electrical that extends into the second surface of the die to a second side of the corresponding contact pad that is opposite to the first side. In at least another embodiment of a package, the electrical connections include a conductive structure that extends through a molding compound to a first side of a corresponding contact pad of the die, and at least one electrical via that extends into the second surface of the die to a second side of the corresponding contact pad opposite to the first side.
H10F 39/00 - Dispositifs intégrés, ou ensembles de plusieurs dispositifs, comprenant au moins un élément couvert par le groupe , p. ex. détecteurs de rayonnement comportant une matrice de photodiodes
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H10F 71/00 - Fabrication ou traitement des dispositifs couverts par la présente sous-classe
H10F 77/00 - Détails de structure des dispositifs couverts par la présente sous-classe
39.
Stacked die package including a multi-contact interconnect
The present disclosure is directed to a package that includes a plurality of die that are stacked on each other. The plurality of die are within a first resin and conductive layer is on the first resin. The conductive layer is coupled between ones of first conductive vias extending into the first resin to corresponding ones of the plurality of die. The conductive layer and the first conductive vias couple ones of the plurality of die to each other. A second conductive via extends into the first resin to a contact pad of the substrate, and the conductive layer is coupled to the second conductive via coupling ones of the plurality of die to the contact pad of the substrate. A second resin is on and covers the first resin and the conductive layer on the first resin. In some embodiments, the first resin includes a plurality of steps (e.g., a stepped structure). In some embodiments, the first resin includes inclined surfaces (e.g., sloped surfaces).
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
40.
Optical sensor package and method of making an optical sensor package
A molded carrier is formed by a unitary body made of a laser direct structuring (LDS) material and includes a blind opening with a bottom surface. The unitary body includes: a floor body portion defining a back side and the bottom surface of the blind opening and an outer peripheral wall body portion defining a sidewall surface of the blind opening. LDS activation followed by electro-plating is used to produce: a die attach pad and bonding pad at the bottom surface; land grid array (LGA) pads at the back side; and vias extending through the floor body portion to make electrical connections between the die attach pad and one LGA pad and between the bonding pad and another LGA pad. An integrated circuit chip is mounted to the die attach pad and wire bonded to the bonding pad. A wafer-scale manufacturing process is used to form the molded carrier.
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 25/18 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types prévus dans plusieurs différents groupes principaux de la même sous-classe , , , , ou
H01S 5/02218 - Matériaux du boîtierMatériaux de remplissage du boîtier
H01S 5/02315 - Éléments de support, p. ex. bases ou montures
The present disclosure is directed to semiconductor packages that include a molding compound having at least one raised portion that extends outward from the package. In some embodiments, the semiconductor packages have a plurality of raised portions, and a plurality of conductive layers are on the plurality of raised portions. The plurality of raised portions and the plurality of conductive layers are utilized to mount the semiconductor packages to an external electronic device (e.g., a printed circuit board (PCB), another semiconductor package, an external electrical connection, etc.). In some embodiments, the semiconductor packages have a single raised portion with a plurality of conductive layers that are on the single raised portion. The single raised portion and the plurality of conductive layers are utilized to mount the semiconductor packages to the external electronic device. The plurality of conductive layers on the plurality of raised portions or the single raised portion may be formed by a laser direct structuring (LDS) process.
A method of forming a solder connection includes forming a solder mask on a thermal pad of a printed circuit board. The solder mask leaves unmasked portions of the thermal pad and forming the solder mask includes forming a plurality of mask stripes extending from edges of each unmasked portion towards a center of the unmasked portion. The method includes depositing solder paste on the unmasked portions of the thermal pad and placing an exposed thermal pad of an integrated circuit package on the solder paste deposited on the thermal pad of the printed circuit board. The method includes forming a solder connection by heating the solder paste between the unmasked portions of the thermal pad on the printed circuit board and the exposed thermal pad of the integrated circuit package.
H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p. ex. fils de connexion ou bornes
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
Trenches are opened from a top surface of a production wafer that extend down through scribe areas to a depth that is only partially through a semiconductor substrate. Prior to performing a bumping process, a first handle is attached to the top surface of the production wafer. A back surface of the semiconductor substrate is then thinned to reach the trenches and form a wafer level chip scale package at each integrated circuit location delimited by the trenches. A second handle is then attached to a bottom surface of the thinned semiconductor substrate, and the first handle is removed to expose underbump metallization pads at the top surface. The bumping process is then performed to form a solder ball at each of the exposed underbump metallization pads.
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
44.
Split-gate trench power MOSFET with self-aligned poly-to-poly isolation
A semiconductor substrate has a trench extending from a front surface and including a lower part and an upper part. A first insulation layer lines the lower part of the trench, and a first conductive material in the lower part is insulated from the semiconductor substrate by the first insulating layer to form a field plate electrode of a transistor. A second insulating layer lines sidewalls of the upper part of said trench. A third insulating layer lines a top surface of the first conductive material at a bottom of the upper part of the trench. A second conductive material fills the upper part of the trench. The second conductive material forms a gate electrode of the transistor that is insulated from the semiconductor substrate by the second insulating layer and further insulated from the first conductive material by the third insulating layer.
The present disclosure is directed to a sensor die with an embedded light sensor and an embedded light emitter as well as methods of manufacturing the same. The light emitter in the senor die is surrounded by a resin. The sensor die is incorporated into semiconductor device packages as well as methods of manufacturing the same. The semiconductor device packages include a first optically transmissive structure on the light sensor of the sensor die and a second optically transmissive structure on the light emitter of the sensor die. The first optically transmissive structure and the second optically transmissive structure cover and protect the light sensor and the light emitter, respectively. A molding compound is on a surface of a sensor die and covers sidewalls of the first and second optically transmissive structures on the sensor die.
H01L 31/12 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour
H01L 31/02 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails - Détails
The present disclosure is directed to a package (e.g., a chip scale package, a wafer level chip scale package (WLCSP), or a package containing a sensor die) with a sensor die on a substrate (e.g., an application-specific integrated circuit die (ASIC), an integrated circuit, or some other type of die having active circuitry) and encased in a molding compound. The sensor die includes a sensing component that is aligned with a centrally located opening that extends through the substrate. The centrally located opening extends through the substrate at an inactive portion of the substrate. The centrally located opening exposes the sensing component of the sensor die to an external environment outside the package.
A digital image sensor package includes an image sensor substrate and a glass covering. The image sensor substrate carries photodiodes. The glass covering has a bottom surface, a top surface opposite the bottom surface, and a sidewall delimiting a perimeter edge of the glass covering. The glass covering overlies the photodiodes. A surface area of the top surface of the glass covering is greater than a surface area of the bottom surface of the glass covering such that the sidewall is anti-perpendicular to the top and bottom surfaces of the glass.
A method for forming a molded proximity sensor with an optical resin lens and the structure formed thereby. A light sensor chip is placed on a substrate, such as a printed circuit board, and a diode, such as a laser diode, is positioned on top of the light sensor chip and electrically connected to a bonding pad on the light sensor chip. Transparent, optical resin in liquid form is applied as a drop over the light sensor array on the light sensor chip as well as over the light-emitting diode. After the optical resin is cured, a molding compound is applied to an entire assembly, after which the assembly is polished to expose the lenses and have a top surface flush with the top surface of the molding compound.
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides
H01L 31/167 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour le dispositif à semi-conducteur sensible au rayonnement étant commandé par la ou les sources lumineuses les sources lumineuses et les dispositifs sensibles au rayonnement étant tous des dispositifs semi-conducteurs caractérisés par au moins une barrière de potentiel ou de surface
G01V 8/12 - Détection, p. ex. en utilisant des barrières de lumière en utilisant un émetteur et un récepteur
49.
POWER MOSFET WITH REDUCED CURRENT LEAKAGE AND METHOD OF FABRICATING THE POWER MOSFET
An integrated circuit includes a polysilicon region that is doped with a dopant. A portion of the polysilicon region is converted to a polyoxide region which includes un-oxidized dopant ions. A stack of layers overlies over the polyoxide region. The stack of layers includes: a first ozone-assisted sub-atmospheric pressure thermal chemical vapor deposition (O3 SACVD) TEOS layer; and a second O3 SACVD TEOS layer; wherein the first and second O3 SACVD TEOS layers are separated from each other by a dielectric region. A thermally annealing is performed at a temperature which induces outgassing of passivation atoms from the first and second O3 SACVD TEOS layers to migrate to passivate interface charges due to the presence of un-oxidized dopant ions in the polyoxide region.
D2 advantageously permits design of the integrated circuit to suit a wide range of applications according to requirements of switching speed and efficiency.
H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 27/07 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration non répétitive les composants ayant une région active en commun
H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
H01L 27/24 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des composants à l'état solide pour le redressement, l'amplification ou la commutation, sans barrière de potentiel ni barrière de surface
51.
WLCSP with transparent substrate and method of manufacturing the same
The present disclosure is directed to a package, such as a wafer level chip scale package (WLCSP), with a die coupled to a central portion of a transparent substrate. The transparent substrate includes a central portion having and a peripheral portion surrounding the central portion. The package includes a conductive layer coupled to a contact of the die within the package that extends from the transparent substrate to an active surface of the package. The active surface is utilized to mount the package within an electronic device or to a printed circuit board (PCB) accordingly. The package includes a first insulating layer separating the die from the conductive layer, and a second insulating layer on the conductive layer.
H01L 31/18 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
H01L 31/0392 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails caractérisés par leurs corps semi-conducteurs caractérisés par leur structure cristalline ou par l'orientation particulière des plans cristallins comprenant des films minces déposés sur des substrats métalliques ou isolants
H01L 31/02 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails - Détails
H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
52.
Adaptive test method and designs for low power mox sensor
The present disclosure is directed to a gas sensor device that includes a plurality of gas sensors. Each of the gas sensors includes a semiconductor metal oxide (SMO) film, a heater, and a temperature sensor. Each of the SMO films is designed to be sensitive to a different gas concentration range. As a result, the gas sensor device is able to obtain accurate readings for a wide range of gas concentration levels. In addition, the gas sensors are selectively activated and deactivated based on a current gas concentration detected by the gas sensor device. Thus, the gas sensor device is able to conserve power as gas sensors are on when appropriate instead of being continuously on.
G01N 27/12 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance d'un corps solide dépendant de l'absorption d'un fluideRecherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance d'un corps solide dépendant de la réaction avec un fluide
G01N 33/00 - Recherche ou analyse des matériaux par des méthodes spécifiques non couvertes par les groupes
A blind opening is formed in a bottom surface of a semiconductor substrate to define a thin membrane suspended from a substrate frame. The thin membrane has a topside surface and a bottomside surface. A stress structure is mounted to one of the topside surface or bottomside surface of the thin membrane. The stress structure induces a bending of the thin membrane which defines a normal state for the thin membrane. Piezoresistors are supported by the thin membrane. In response to an applied pressure, the thin membrane is bent away from the normal state and a change in resistance of the piezoresistors is indicative of the applied pressure.
B81B 3/00 - Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p. ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G01L 1/18 - Mesure des forces ou des contraintes, en général en utilisant des propriétés des matériaux piézo-résistants, c.-à-d. des matériaux dont la résistance ohmique varie suivant les modifications de la grandeur ou de la direction de la force appliquée au matériau
G01L 9/00 - Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d’un fluide ou d’un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pressionTransmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d’un fluide ou d’un matériau solide fluent
The present disclosure is directed to a wafer level chip scale package (WLCSP) with various combinations of contacts and Under Bump Metallizations (UBMs) having different structures and different amounts solder coupled to the contacts and UBMs. Although the contacts have different structures and the volume of solder differs, the total standoff height along the WLCSP remains substantially the same. Each portion of solder coupled to each respective contact and UBM includes a point furthest away from an active surface of a die of the WLCSP. Each point of each respective portion of solder is co-planar with each other respective point of the other respective portions of solder. Additionally, the contacts with various and different structures are positioned accordingly on the active surface of the die of the WLCSP.
A first dielectric layer made of a first dielectric material is deposited over a semiconductor substrate. A buffer layer is then deposited on an upper surface of the first dielectric layer. A trench is opened to extend through the buffer layer and the first dielectric layer. A second dielectric layer made of a second dielectric material is the deposited in a conformal manner on the buffer layer and filling the trench. Chemical mechanical polishing of the second dielectric layer is performed to remove overlying portions of the second dielectric layer with the buffer layer being used as a polish stop. After removing the buffer layer, the first dielectric layer and the second dielectric material filling the trench form a pre-metallization dielectric layer having a substantially planar upper surface.
The present disclosure is directed to a gas sensor device that detects gases with large molecules (e.g., a gas with a molecular weight between 150 g/mol and 450 g/mol), such as siloxanes. The gas sensor device includes a thin film gas sensor and a bulk film gas sensor. The thin film gas sensor and the bulk film gas sensor each include a semiconductor metal oxide (SMO) film, a heater, and a temperature sensor. The SMO film of the thin film gas sensor is an thin film (e.g., between 90 nanometers and 110 nanometers thick), and the SMO film of the bulk film gas sensor is an thick film (e.g., between 5 micrometers and 20 micrometers thick). The gas sensor device detects gases with large molecules based on a variation between resistances of the SMO thin film and the SMO thick film.
G01N 33/00 - Recherche ou analyse des matériaux par des méthodes spécifiques non couvertes par les groupes
G01N 27/12 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance d'un corps solide dépendant de l'absorption d'un fluideRecherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance d'un corps solide dépendant de la réaction avec un fluide
G01N 27/02 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance
57.
Semiconductor package with protected sidewall and method of forming the same
A semiconductor package having a die with a sidewall protected by molding compound, and methods of forming the same are disclosed. The package includes a die with a first surface opposite a second surface and sidewalls extending between the first and second surfaces. A redistribution layer is formed on the first surface of each die. An area of the first surface of the die is greater than an area of the redistribution layer, such that a portion of the first surface of the die is exposed. When molding compound is formed over the die and the redistribution layer to form a semiconductor package, the molding compound is on the first surface of the die between an outer edge of the redistribution layer and an outer edge of the first surface. The molding compound is also on the sidewalls of the die, which provides protection against chipping or cracking during transport.
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 21/304 - Traitement mécanique, p. ex. meulage, polissage, coupe
H01L 23/28 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
58.
Optical sensor package with encapsulant is between and separates substrates and multiple assemblies
The present disclosure is directed to an optical sensor package with a first assembly and a second assembly with an encapsulant extending between and coupling the first assembly and the second assembly. The first assembly includes a first substrate, a first die on the first substrate, a transparent material on the first die, and an infrared filter on the transparent material. The second assembly includes a second substrate, a second die on the second substrate, a transparent material on the second die, and an infrared filter on the transparent material. Apertures are formed through the encapsulant aligned with the first die and the second die. The first die is configured to transmit light through one aperture, wherein the light reflects off an object to be detected and is received at the second die through another one of the apertures.
The present disclosure is directed to a package that includes openings that extend into the package. The openings are filled with a conductive material to electrically couple a first die in the package to a second die in the package. The conductive material that fills the openings forms electrical interconnection bridges between the first die and the second die. The openings in the package may be formed using a laser and a non-doped molding compound, a doped molding compound, or a combination of doped or non-doped molding compounds.
H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
A multi-chip package including a first integrated circuit and a second integrated circuit. The first integrated circuit includes a first side having a first conductive layer, a second side having a second conductive layer, and an edge, the first conductive layer coupled to the second conductive layer at a location adjacent to the edge. The second integrated circuit is coupled to the second conductive layer of the first integrated circuit.
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides
H01L 23/13 - Supports, p. ex. substrats isolants non amovibles caractérisés par leur forme
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
61.
Thin semiconductor chip using a dummy sidewall layer
The present disclosure provides devices and methods in which a semiconductor chip has a reduced size and thickness. The device is manufactured by utilizing a sacrificial or dummy silicon wafer. A recess is formed in the dummy silicon wafer where the semiconductor chip is mounted in the recess. The space between the dummy silicon wafer and the chip is filled with underfill material. The dummy silicon wafer and the backside of the chip are etched using any suitable etching process until the dummy silicon wafer is removed, and the thickness of the chip is reduced. With this process, the overall thickness of the semiconductor chip can be thinned down to less than 50 μm in some embodiments. The ultra-thin semiconductor chip can be incorporated in manufacturing flexible/rollable display panels, foldable mobile devices, wearable displays, or any other electrical or electronic devices.
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
H01L 21/3065 - Gravure par plasmaGravure au moyen d'ions réactifs
62.
Wafer level chip scale package having varying thicknesses
A wafer level chip scale package (WLCSP) with portions that have different thicknesses. A first passive surface of a die in the WLSCP includes a plurality of surfaces. The plurality of surfaces may include inclined surfaces or flat surfaces. Thicker portions of die, with more semiconductor material remaining are non-critical portions that increase a WLCSP's strength for further processing and handling after formation, and the thinner portions are critical portions that reduce a Coefficient of Thermal Expansion (CTE) mismatch between a WLCSP and a PCB.
A semiconductor device having a channel between active sections or portions of the device is disclosed. An elastic material, such as dielectric or a polymer, is deposited into the channel and cured to increase flexibility and thermal expansion properties of the semiconductor device. The elastic material reduces the thermal and mechanical mismatch between the semiconductor device and the substrate to which the semiconductor device is coupled in downstream processing to improve reliability. The semiconductor device may also include a plurality of channels formed transverse with respect to each other. Some of the channels extend all the way through the semiconductor device, while other channels extend only partially through the semiconductor device.
H01L 23/29 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par le matériau
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
64.
Package with lead frame with improved lead design for discrete electrical components and manufacturing the same
A semiconductor package includes a lead frame, a die, a discrete electrical component, and electrical connections. The lead frame includes leads and a die pad. Some of the leads include engraved regions that have recesses therein and the die pad may include an engraved region or multiple engraved regions. Each engraved region is formed to contain and confine a conductive adhesive from flowing over the edges of the engraved leads or the die pad. The boundary confines the conductive adhesive to the appropriate location on the engraved lead or the engraved die pad when being placed on the engraved regions. By utilizing a lead frame with engraved regions, the flow of the conductive adhesive or the wettability of the conductive adhesive can be contained and confined to the appropriate areas of the engraved lead or engraved die pad such that a conductive adhesive does not cause cross-talk between electrical components within a semiconductor package or short circuiting within a semiconductor package.
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
65.
Molded range and proximity sensor with optical resin lens
A method for forming a molded proximity sensor with an optical resin lens and the structure formed thereby. A light sensor chip is placed on a substrate, such as a printed circuit board, and a diode, such as a laser diode, is positioned on top of the light sensor chip and electrically connected to a bonding pad on the light sensor chip. Transparent, optical resin in liquid form is applied as a drop over the light sensor array on the light sensor chip as well as over the light-emitting diode. After the optical resin is cured, a molding compound is applied to an entire assembly, after which the assembly is polished to expose the lenses and have a top surface flush with the top surface of the molding compound.
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides
H01L 31/167 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour le dispositif à semi-conducteur sensible au rayonnement étant commandé par la ou les sources lumineuses les sources lumineuses et les dispositifs sensibles au rayonnement étant tous des dispositifs semi-conducteurs caractérisés par au moins une barrière de potentiel ou de surface
G01V 8/12 - Détection, p. ex. en utilisant des barrières de lumière en utilisant un émetteur et un récepteur
66.
Electronic device comprising a support substrate and stacked electronic chips
An electronic device includes a support substrate to which a first electronic chip and a second electronic chip are mounted in a position situated on top of one another. First electrical connection elements are interposed between the first electronic chip and the support substrate. Second electrical connection elements are interposed between the second electronic chip and the support substrate and are situated at a distance from a periphery of the first electronic chip. Third electrical connection elements are interposed between the first electronic chip and the second electronic chip.
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p. ex. fils de connexion ou bornes
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
67.
Solder mask for thermal pad of a printed circuit board to provide reliable solder contact to an integrated circuit
A method of forming a solder connection includes forming a solder mask on a thermal pad of a printed circuit board. The solder mask leaves unmasked portions of the thermal pad and forming the solder mask includes forming a plurality of mask stripes extending from edges of each unmasked portion towards a center of the unmasked portion. The method includes depositing solder paste on the unmasked portions of the thermal pad and placing an exposed thermal pad of an integrated circuit package on the solder paste deposited on the thermal pad of the printed circuit board. The method includes forming a solder connection by heating the solder paste between the unmasked portions of the thermal pad on the printed circuit board and the exposed thermal pad of the integrated circuit package.
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
68.
Selective multi-gas detection through pulse heating in a gas sensor
The present disclosure is directed to a selective multi-gas sensor device that detects when a high concentration level of a particular gas, such as methane, carbon monoxide, and/or ethanol, is present. The selective multi-gas sensor device detects and identifies a particular gas based on a ratio between a sensitivity of a gas sensitive material at a first temperature and a sensitivity of the gas sensitive material at a second temperature.
G01N 33/00 - Recherche ou analyse des matériaux par des méthodes spécifiques non couvertes par les groupes
G01N 29/22 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi d'ondes ultrasonores, sonores ou infrasonoresVisualisation de l'intérieur d'objets par transmission d'ondes ultrasonores ou sonores à travers l'objet Détails
69.
Semiconductor package with protected sidewall and method of forming the same
A semiconductor package having a die with a sidewall protected by molding compound, and methods of forming the same are disclosed. The package includes a die with a first surface opposite a second surface and sidewalls extending between the first and second surfaces. A redistribution layer is formed on the first surface of each die. An area of the first surface of the die is greater than an area of the redistribution layer, such that a portion of the first surface of the die is exposed. When molding compound is formed over the die and the redistribution layer to form a semiconductor package, the molding compound is on the first surface of the die between an outer edge of the redistribution layer and an outer edge of the first surface. The molding compound is also on the sidewalls of the die, which provides protection against chipping or cracking during transport.
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 21/304 - Traitement mécanique, p. ex. meulage, polissage, coupe
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/28 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
70.
Gas sensor device for detecting gases with large molecules
The present disclosure is directed to a gas sensor device that detects gases with large molecules (e.g., a gas with a molecular weight between 150 g/mol and 450 g/mol), such as siloxanes. The gas sensor device includes a thin film gas sensor and a bulk film gas sensor. The thin film gas sensor and the bulk film gas sensor each include a semiconductor metal oxide (SMO) film, a heater, and a temperature sensor. The SMO film of the thin film gas sensor is an thin film (e.g., between 90 nanometers and 110 nanometers thick), and the SMO film of the bulk film gas sensor is an thick film (e.g., between 5 micrometers and 20 micrometers thick). The gas sensor device detects gases with large molecules based on a variation between resistances of the SMO thin film and the SMO thick film.
G01N 27/12 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance d'un corps solide dépendant de l'absorption d'un fluideRecherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance d'un corps solide dépendant de la réaction avec un fluide
G01N 7/00 - Analyse des matériaux en mesurant la pression ou le volume d'un gaz ou d'une vapeur
G01N 21/00 - Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c.-à-d. en utilisant des ondes submillimétriques, de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette
G01N 27/00 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques
G01N 33/00 - Recherche ou analyse des matériaux par des méthodes spécifiques non couvertes par les groupes
G01N 27/02 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance
71.
Adaptive test method and designs for low power mox sensor
The present disclosure is directed to a gas sensor device that includes a plurality of gas sensors. Each of the gas sensors includes a semiconductor metal oxide (SMO) film, a heater, and a temperature sensor. Each of the SMO films is designed to be sensitive to a different gas concentration range. As a result, the gas sensor device is able to obtain accurate readings for a wide range of gas concentration levels. In addition, the gas sensors are selectively activated and deactivated based on a current gas concentration detected by the gas sensor device. Thus, the gas sensor device is able to conserve power as gas sensors are on when appropriate instead of being continuously on.
G01N 7/00 - Analyse des matériaux en mesurant la pression ou le volume d'un gaz ou d'une vapeur
G01N 21/00 - Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c.-à-d. en utilisant des ondes submillimétriques, de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette
G01N 27/00 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques
G01N 31/00 - Recherche ou analyse des matériaux non biologiques par l'emploi des procédés chimiques spécifiés dans les sous-groupesAppareils spécialement adaptés à de tels procédés
G01N 33/00 - Recherche ou analyse des matériaux par des méthodes spécifiques non couvertes par les groupes
G01N 27/12 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance d'un corps solide dépendant de l'absorption d'un fluideRecherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la résistance d'un corps solide dépendant de la réaction avec un fluide
72.
Package with lead frame with improved lead design for discrete electrical components and manufacturing the same
A semiconductor package includes a lead frame, a die, a discrete electrical component, and electrical connections. The lead frame includes leads and a die pad. Some of the leads include engraved regions that have recesses therein and the die pad may include an engraved region or multiple engraved regions. Each engraved region is formed to contain and confine a conductive adhesive from flowing over the edges of the engraved leads or the die pad. The boundary confines the conductive adhesive to the appropriate location on the engraved lead or the engraved die pad when being placed on the engraved regions. By utilizing a lead frame with engraved regions, the flow of the conductive adhesive or the wettability of the conductive adhesive can be contained and confined to the appropriate areas of the engraved lead or engraved die pad such that a conductive adhesive does not cause cross-talk between electrical components within a semiconductor package or short circuiting within a semiconductor package.
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
H01L 21/78 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
73.
Molded range and proximity sensor with optical resin lens
A method for forming a molded proximity sensor with an optical resin lens and the structure formed thereby. A light sensor chip is placed on a substrate, such as a printed circuit board, and a diode, such as a laser diode, is positioned on top of the light sensor chip and electrically connected to a bonding pad on the light sensor chip. Transparent, optical resin in liquid form is applied as a drop over the light sensor array on the light sensor chip as well as over the light-emitting diode. After the optical resin is cured, a molding compound is applied to an entire assembly, after which the assembly is polished to expose the lenses and have a top surface flush with the top surface of the molding compound.
H01L 31/167 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour le dispositif à semi-conducteur sensible au rayonnement étant commandé par la ou les sources lumineuses les sources lumineuses et les dispositifs sensibles au rayonnement étant tous des dispositifs semi-conducteurs caractérisés par au moins une barrière de potentiel ou de surface
G01V 8/12 - Détection, p. ex. en utilisant des barrières de lumière en utilisant un émetteur et un récepteur
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides
74.
Glue bleeding prevention cap for optical sensor packages
One or more embodiments are directed to system in package (SiP) for optical devices, such as proximity sensing or optical ranging devices. One embodiment is directed to an optical sensor package that includes a substrate, a sensor die coupled to the substrate, a light-emitting device coupled to the substrate, and a cap. The cap is positioned around side surfaces of the sensor die and covers at least a portion of the substrate. The cap includes first and second sidewalls, an inner wall having first and second side surfaces and a mounting surface, and a cover in contact with the first and second sidewalls and the inner wall. The first and second side surfaces are transverse to the mounting surface, and the inner wall includes an opening extending into the inner wall from the mounting surface. A first adhesive material is provided on the sensor die and at least partially within the opening, and secures the inner wall to the sensor die.
G01S 7/481 - Caractéristiques de structure, p. ex. agencements d'éléments optiques
H01L 31/12 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour
H01L 31/153 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour la ou les sources lumineuses étant commandées par le dispositif à semi-conducteur sensible au rayonnement, p.ex. convertisseurs d'images, amplificateurs d'images ou dispositifs de stockage d'image les sources lumineuses et les dispositifs sensibles au rayonnement étant tous des dispositifs semi-conducteurs caractérisés par au moins une barrière de potentiel ou de surface formés dans, ou sur un substrat commun
H01L 31/18 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
G01S 17/02 - Systèmes utilisant la réflexion d'ondes électromagnétiques autres que les ondes radio
G01S 17/46 - Détermination indirecte des données relatives à la position
H01L 31/173 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour le dispositif à semi-conducteur sensible au rayonnement étant commandé par la ou les sources lumineuses les sources lumineuses et les dispositifs sensibles au rayonnement étant tous des dispositifs semi-conducteurs caractérisés par au moins une barrière de potentiel ou de surface formés dans, ou sur un substrat commun
H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
75.
Glue bleeding prevention cap for optical sensor packages
One or more embodiments are directed to system in package (SiP) for optical devices, such as proximity sensing or optical ranging devices. One embodiment is directed to an optical sensor package that includes a substrate, a sensor die coupled to the substrate, a light-emitting device coupled to the substrate, and a cap. The cap is positioned around side surfaces of the sensor die and covers at least a portion of the substrate. The cap includes first and second sidewalls, an inner wall having first and second side surfaces and a mounting surface, and a cover in contact with the first and second sidewalls and the inner wall. The first and second side surfaces are transverse to the mounting surface, and the inner wall includes an opening extending into the inner wall from the mounting surface. A first adhesive material is provided on the sensor die and at least partially within the opening, and secures the inner wall to the sensor die.
H01L 31/12 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour
G06M 7/00 - Comptage d'objets transportés par un transporteur
H01L 31/18 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
G01S 7/481 - Caractéristiques de structure, p. ex. agencements d'éléments optiques
H01L 31/153 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour la ou les sources lumineuses étant commandées par le dispositif à semi-conducteur sensible au rayonnement, p.ex. convertisseurs d'images, amplificateurs d'images ou dispositifs de stockage d'image les sources lumineuses et les dispositifs sensibles au rayonnement étant tous des dispositifs semi-conducteurs caractérisés par au moins une barrière de potentiel ou de surface formés dans, ou sur un substrat commun
H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
76.
Vacuum integrated electronic device and manufacturing process thereof
A vacuum integrated electronic device has an anode region of conductive material; an insulating region on top of the anode region; a cavity extending through the insulating region and having a sidewall; and a cathode region. The cathode region has a tip portion extending peripherally within the cavity, adjacent to the sidewall of the cavity. The cathode region is formed by tilted deposition, carried out at an angle of 30-60° with respect to a perpendicular to the surface of device.
The embodiments of the present disclosure relate to a semiconductor device and a manufacturing method therefor. The semiconductor device comprises: a die attachment pad; a stud bump located on the die attachment pad and in direct contact with the die attachment pad; a first die located on the stud bump and electrically coupled to the stud bump; and a conductive attachment material located between the die attachment pad and the first die.
H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
H01L 23/29 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par le matériau
A proximity sensor having a relatively small footprint includes a substrate, a semiconductor die, a light emitting device, and a cap. The light emitting device overlies the semiconductor die. The semiconductor die is secured to the substrate and includes a sensor area capable of detecting light from by the light emitting device. The cap also is secured to the substrate and includes a light barrier that prevents some of the light emitted by the light emitting device from reaching the sensor area. In one embodiment, the light emitting device and the semiconductor die are positioned on the same side of the substrate, wherein the light emitting device is positioned on the semiconductor die. In another embodiment, the light emitting device is positioned on one side of the substrate and the semiconductor die is positioned on an opposing side of the substrate.
H01L 31/167 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails structurellement associés, p.ex. formés dans ou sur un substrat commun, avec une ou plusieurs sources lumineuses électriques, p.ex. avec des sources lumineuses électroluminescentes, et en outre électriquement ou optiquement couplés avec lesdites sour le dispositif à semi-conducteur sensible au rayonnement étant commandé par la ou les sources lumineuses les sources lumineuses et les dispositifs sensibles au rayonnement étant tous des dispositifs semi-conducteurs caractérisés par au moins une barrière de potentiel ou de surface
H01L 31/02 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails - Détails
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides
H01S 5/183 - Lasers à émission de surface [lasers SE], p. ex. comportant à la fois des cavités horizontales et verticales comportant uniquement des cavités verticales, p. ex. lasers à émission de surface à cavité verticale [VCSEL]
H01L 31/18 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
79.
Method for making an optical proximity sensor by attaching an optical element to a package top plate and forming a package body to define an optical transmit cavity and an optical receive cavity
A method for making an optical proximity sensor includes forming a package top plate having an optical transmit opening and an optical receive opening extending therethrough, attaching an optical transmit element to the package top plate adjacent the optical transmit opening, and attaching an optical receive element to the package top plate adjacent the optical receive opening. A package body is formed onto the package top plate to define an optical transmit cavity receiving the optical transmit element and an optical receive cavity receiving the optical receive element.
H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides
G06F 1/32 - Moyens destinés à économiser de l'énergie
H03K 17/94 - Commutation ou ouverture de porte électronique, c.-à-d. par d'autres moyens que la fermeture et l'ouverture de contacts caractérisée par la manière dont sont produits les signaux de commande
G06F 3/01 - Dispositions d'entrée ou dispositions d'entrée et de sortie combinées pour l'interaction entre l'utilisateur et le calculateur
An electronic device includes an integrated circuit chip mounted to a heat slug. The heat slug has a peripheral region having first thickness along a first direction, the peripheral region surrounding a recess region (having a second, smaller, thickness along the first direction) that defines a chip mounting surface along a second direction perpendicular to the first direction. The recess region defines side borders and a nook extends into the heat slug along the side borders. An insulating body embeds the integrated circuit one chip and heat slug. Material of the insulating body fills the nook.
A fan-out wafer level package is provided with a semiconductor die embedded in a reconstituted wafer. A redistribution layer is positioned over the semiconductor die, and includes a land grid array on a face of the package. A copper heat spreader is formed in the redistribution layer over the die in a same layer as a plurality of electrical traces configured to couple circuit pads of the semiconductor die to respective contact lands of the land grid array. In operation, the heat spreader improves efficiency of heat transfer from the die to the circuit board.
H01L 23/34 - Dispositions pour le refroidissement, le chauffage, la ventilation ou la compensation de la température
H01L 21/00 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
H01R 43/16 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication, l'assemblage, l'entretien ou la réparation de connecteurs de lignes ou de collecteurs de courant ou pour relier les conducteurs électriques pour la fabrication des pièces de contact, p. ex. par découpage et pliage
H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
H01L 23/36 - Emploi de matériaux spécifiés ou mise en forme, en vue de faciliter le refroidissement ou le chauffage, p. ex. dissipateurs de chaleur
H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
82.
Method for making image sensors using wafer-level processing and associated devices
A method of making image sensor devices may include forming a sensor layer including image sensor ICs in an encapsulation material, bonding a spacer layer to the sensor layer, the spacer layer having openings therein and aligned with the image sensor ICs, and bonding a lens layer to the spacer layer, the lens layer including lens in an encapsulation material and aligned with the openings and the image sensor ICs. The method may also include dicing the bonded-together sensor, spacer and lens layers to provide the image sensor devices. Helpfully, the method may use WLP to enhance production.
H01L 31/0232 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails - Détails Éléments ou dispositions optiques associés au dispositif
STMicroelectronics Asia Pacific Pte Ltd. (Singapour)
STMicroelectronics S.R.L. (Italie)
Inventeur(s)
Le Neel, Olivier
Cherian, Suman
Shankar, Ravi
Poh, Boon Nam
Marsanne, Sebastien
Vaiana, Michele
Abrégé
A capacitive humidity sensor includes a first electrode, a humidity sensitive dielectric layer, and a second electrode. The humidity sensitive dielectric layer is between the first and the second electrodes. The humidity sensitive dielectric layer is etched at selected regions to form hollow regions between the first and second electrodes.
G01N 27/22 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques en recherchant l'impédance en recherchant la capacité
84.
Method of fabricating land grid array semiconductor package
A fan-out wafer level package is provided with a semiconductor die embedded in a reconstituted wafer. A redistribution layer is positioned over the semiconductor die, and includes a land grid array on a face of the package. A copper heat spreader is formed in the redistribution layer over the die in a same layer as a plurality of electrical traces configured to couple circuit pads of the semiconductor die to respective contact lands of the land grid array. In operation, the heat spreader improves efficiency of heat transfer from the die to the circuit board.
H01L 21/00 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
H01L 23/12 - Supports, p. ex. substrats isolants non amovibles
brevets