The invention relates to a method for detecting leaks, comprising: lowering the pressure inside the object to be tested (A); monitoring a tracer gas measurement signal that is representative of the flow or concentration of a gaseous species present in the environment surrounding the object to be tested, or inside the object to be tested; and looking for a decrease in the tracer gas measurement signal in order to detect the presence of a leak in the object to be tested. The leak detection method comprises: using a sniffer probe (8) to monitor a tracer gas measurement signal that is representative of the flow or concentration of a gaseous species present in the environment surrounding the object to be tested; supplying the object to be tested with a filling gas; and looking for a decrease in the tracer gas measurement signal in order to detect the presence of a leak in the object to be tested.
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
G01M 3/22 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour raccords ou étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour soupapes
G01M 3/32 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour récipients, p. ex. radiateurs
2.
STATION AND METHOD FOR MEASURING AIRBORNE MOLECULAR CONTAMINATION
A station for measuring airborne molecular contamination includes at least one gas analyzer to measure a concentration of at least one contaminant, a plurality of air inlets to be in fluidic communication with the gas analyzer and to be connected to a respective plurality of sampling lines, a plurality of first controllable isolation valves interposed between the plurality of air inlets and the gas analyzer, and a control unit to control the opening or the closure of the first controllable isolation valves in order to place the gas analyzer in fluidic communication with at least one sampling line. The control unit also commands a verification of the accuracy of the analyzer when the concentration of a contaminant greater than a predetermined threshold is detected by the analyzer.
A method measures airborne molecular contamination via a measuring station including at least one first and one second gas analysers, at least one sampling line, and at least one valve. The method includes measuring molecular contamination concentrations in the sampling line by the first gas analyser for a first predefined time, fluidic isolation between the first gas analyser and the sampling line via at least one valve, and measuring molecular contamination concentrations in the sampling line by the second gas analyser for a second predefined time.
The invention relates to a method for monitoring the drift of measurements of a leak detector (1) of a tracer gas of a piece of equipment (100), capable of implementing a cycle for testing the tightness of a part to be tested (A) placed in a measurement chamber (101). The method comprises the following steps: injecting tracer gas with a predefined concentration value into a pipe communicating with the detector, the detector reading an internal concentration of tracer gas, comparing the read value with the predefined concentration value and, if they are different, determining a correction coefficient, and applying the correction coefficient to the measured value of the tracer gas concentration in the chamber during the test cycle. The invention also relates to the equipment used to carry out the method.
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
G01M 3/22 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour raccords ou étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour soupapes
5.
STATION FOR MEASURING AIRBORNE MOLECULAR CONTAMINATION
A measuring station for measuring airborne molecular contamination includes at least one gas analyzer and at least one sampling line fluidically connected to an inlet of the gas analyzer. The station includes at least one sampling pump arranged upstream of the gas analyzer in the flow direction of a gas flow to be pumped, and the sampling pump has a suction side fluidically connected to the at least one sampling line and a discharge side fluidically connected to the inlet of the gas analyzer. The sampling pump is able to draw a gas flow from the sampling line, and to discharge the gas flow at atmospheric pressure +/−50 hPa, preferably +/−30 hPa.
G01N 15/06 - Recherche de la concentration des suspensions de particules
6.
STATION AND METHOD FOR MEASURING THE PRACTICLE CONTAMINATION OF A TRANSPORT ENCLOSURE FOR THE ATMOSPHERIC TRANSPORT AND STORAGE OF SEMICONDUCTOR WAFERS
A measurement station for measuring particle contamination in a transport enclosure for the atmospheric transport and storage of semiconductor wafers includes a particle counter and an interface designed to be coupled to the shell of a transport enclosure in place of the door. The interface includes a sampling orifice fluidly connected to the particle counter. The measurement station also includes a clean-gas injection device having at least one injection line including at least one injection nozzle to be fluidly connected to a ventilation port of the transport enclosure coupled to the interface for injecting clean gas into the transport enclosure, from outside the transport enclosure, through the at least one ventilation port of the transport enclosure.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
G01N 1/22 - Dispositifs pour prélever des échantillons à l'état gazeux
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
7.
TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP, ASSEMBLY AND PUMPING INSTALLATION
The invention relates to a turbomolecular vacuum pump (1) comprising a stator (2) comprising an attachment clamp (6) which surrounds a suction port (4) and in which a plurality of through-holes (20) are formed for the insertion of screws (300), the through-holes (20) having a distal section (21) which is arranged in a distal annular portion (22) of the attachment clamp (6). The through-holes (20) are perforated at the outer periphery in a proximal annular portion (23) of the attachment clamp (6) adjacent to the distal annular portion (22) and located on the side of the suction port (4) of the turbomolecular vacuum pump (1) so as to allow at least partial viewing of a connection region (Z) between the turbomolecular vacuum pump (1) and the fixed structural wall (101).
The invention relates to a turbomolecular vacuum pump (1) comprising a splinter shield (21, 31, 41) and a plurality of fastening screws (23), the heads (23a) of the fastening screws (23) being frustoconical, tapped holes (20) made in the stator (2) each having a rim (20a) of complementary frustoconical shape, the axes (A1) of through-openings (22) in the splinter shield (21) being radially offset towards the centre of a suction opening (4) in the vacuum pump (1) with respect to the axes (A2) of the tapped holes (20) when the fastening screws (23) are loosened, the axes (A1) of the through-openings (22) approaching axial alignment with the axes (A2) of the tapped holes (20) by guiding the frustoconical heads (23a) as the fastening screws (23) are tightened in the tapped holes (20) in the rim (20a) of complementary frustoconical shape in order to deform the splinter shield (21) by stretching and tensioning it.
The invention relates to manufacturing equipment (1) comprising: • - at least one set of two process roughing pumps (5a, 5b), the inlets of said process roughing pumps (5a, 5b) of the set being fluidically connected via respective second isolation valves (6a, 6b) to a common pipe (7) fluidically connected to the outlets of turbomolecular vacuum pumps (3a, 3b, 3c,... 3n), all of the outlets of the turbomolecular vacuum pumps (3a, 3b, 3c,... 3n) being fluidically connected to the two process roughing pumps (5a, 5b) of the at least one set, and • - a service roughing pump (8) fluidically connected to the process chambers (2a, 2b, 2c,... 2n) of said equipment (1) via respective third isolation valves (9a, 9b, 9c,... 9n).
F04D 19/04 - Pompes multiétagées spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p. ex. pompes moléculaires
F04B 37/14 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour utilisation particulière pour obtenir un vide élevé
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
10.
Turbomolecular vacuum pump and methods for manufacturing a rotor
A turbomolecular vacuum pump including a stator and a rotor designed to rotate in the stator. The rotor includes a hub and at least one blade stage including blades distributed regularly about the periphery of the hub. The blades of at least one blade stage of the rotor are hollow.
The invention relates to a leak detection method (100) comprising: - a learning step (101) during which at least one reference measurement signal representative of the flow or concentration of tracer gas in a reference object (A) to be tested or in an environment surrounding a reference object (A) to be tested is measured during at least one leaktightness monitoring cycle (C), - a plurality of successive test steps (102) during which a leak detector (1) is used to measure a measurement profile representative of the flow or concentration of tracer gas during at least one leaktightness monitoring cycle (C) and the measurement profile is compared against the reference profile in order, depending on the result of the comparison, to provide a similarity indicator from which the presence of an anomaly can be deduced.
G01M 3/00 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide
G01M 3/22 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour raccords ou étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour soupapes
G01M 3/32 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour récipients, p. ex. radiateurs
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
The invention relates to a method (100) for controlling an actual vacuum pump (1) including the following steps: - simulating the operation of the actual vacuum pump (1) in real time by virtually operating a dynamic digital representation of the actual vacuum pump (1) under operating conditions of the actual vacuum pump (1); - determining at least one estimated value of a physical output quantity at a determined location of the virtual vacuum pump; - using the at least one determined estimated value of the physical output quantity as an input signal of a control law or of a lookup table, an output datum of which makes it possible to control a physical element of the actual vacuum pump (1), and/or to emit a signal representing a state of operation of the actual vacuum pump (1).
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
G05B 17/02 - Systèmes impliquant l'usage de modèles ou de simulateurs desdits systèmes électriques
G05B 19/406 - Commande numérique [CN], c.-à-d. machines fonctionnant automatiquement, en particulier machines-outils, p. ex. dans un milieu de fabrication industriel, afin d'effectuer un positionnement, un mouvement ou des actions coordonnées au moyen de données d'un programme sous forme numérique caractérisée par le contrôle ou la sécurité
A turbomolecular vacuum pump includes a stator, a rotor to rotate inside the stator, and a motor to drive the rotation of the rotor. The turbomolecular vacuum pump further includes a temperature sensor to measure the temperature of the rotor and a creep maintenance meter to determine an incremental change in the creep of the rotor over a predetermined duration from the temperature of the rotor, as measured by the temperature sensor, from the rotational speed of the rotor, from the value of the creep of the rotor, and from the look-up table, to increment the rotor-creep value by the determined creep increment, and to determine, based on the incremented creep value, a data item indicative of the remaining time for which the rotor can run before needing preventive maintenance for creep.
A leak detection assembly (1) comprising a leak detector (3), an auxiliary vacuum pump (4) and a vacuum closure device (5) having a vacuum valve (12) and a vacuum actuator (13) configured to actuate a shutter (14) of the vacuum valve.
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
G01M 3/32 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour récipients, p. ex. radiateurs
F16K 31/126 - Moyens de fonctionnementDispositifs de retour à la position de repos actionnés par un fluide le fluide agissant sur un diaphragme, un soufflet ou un organe similaire
Vacuum pump (1) having a first sealing joint (13) comprising a first and a second end annular part (13a) and two side members (13b) connecting the end annular parts (13a), the side members (13b) being interposed between two half-shells (3, 4) of the vacuum pump (1) in seal grooves (16) provided in at least one of the two half-shells (3, 4), each of the side members (13b) further having a bulge (17), each of the bulges (17) having at least one recess (18), and the bulges (17) matching a cross-section of the seal grooves (16) around the at least one recess (18).
The invention relates to a vacuum pump (1) comprising: - a heating module (5) comprising at least one electrical heating element (6) which is configured to heat the stator (4) of the vacuum pump (1) when it is electrically powered, characterised in that the heating module (5) further includes a heating control unit (8) which is configured to: - measure the value of a parameter representative of the voltage of the electrical network to which the vacuum pump (1) is electrically connected, - supply a supply voltage (U) to the at least one heating element (6) by adapting the electrical power of the electrical network by taking into account the measured value of the parameter representative of the voltage of the electrical network (Ures) in order to reach a predetermined setpoint temperature.
The invention relates to a method for producing a vacuum pump stator part obtained by casting cast iron or steel, the vacuum pump comprising a stator (2) and two rotors (3) accommodated in at least one pumping chamber of the stator (2), the rotors (3) being configured to rotate in the pumping chamber in order to drive a gas to be pumped between a suction port (4) and a discharge port (5) of the vacuum pump, the stator part being made in a mould that accommodates at least one sand core (15, 16) comprising a majority of sand selected from one or more of the following sands: - artificial globular ceramic sand; - chromite sand; - bauxite sand; - zircon sand; - kerphalite sand; - olivine sand, wherein the surfaces of the stator part (2) produced by casting that are to be exposed to the pumped gases are coated with a coating based on nickel alloy, such as a nickel-phosphorus coating.
B22C 9/10 - NoyauxFabrication ou mise en place des noyaux
B22C 9/22 - Moules pour pièces de forme particulière
F01C 21/10 - Organes externes coopérant avec des pistons rotatifsCarcasses d'enveloppes
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
The invention relates to a turbomolecular vacuum pump (1) comprising a stator (2), a rotor (3) configured to rotate in the stator (2), the rotor (3) comprising at least one stage of blades (9), an inner cylindrical skirt (14) and at least one outer cylindrical skirt (15), the inner and outer cylindrical skirts (14, 15) being coaxial and configured to rotate facing respective Holweck stators of the stator (2), the inner cylindrical skirt (14) being made of a material with a thermal conductivity that is higher than that of the material forming the at least one outer cylindrical skirt (15), characterised in that the thickness of the inner cylindrical skirt (14) is greater than the thickness of the outer cylindrical skirt (15).
Dry vacuum pump (1) having: - a discharge duct (14) fluidically connecting the lubricant housing (2) to the inter-seals volume (11), and - a pressure-gradient control device (15) comprising a non-return valve (18) arranged on the discharge duct (13) so as to allow the purge gas to pass from the lubricant housing (2) towards the inter-seals volume (11) when the variation in pressure between the upstream and downstream sides of the non-return valve (18) is above a predetermined opening threshold so that the pressure in the lubricant housing (2) is greater than the pressure in the inter-seals volume (11).
The present invention relates to a vacuum pump (1) comprising a projector (7) configured to project at least one piece of information associated with an operating variable of the vacuum pump (1) onto a wall of a protective cover (3) on the front face of the vacuum pump (1) or on a surface in the surroundings of the vacuum pump (1), in particular on the floor.
A detecting device (1) for inspecting the seal-tightness of sealed products (2) comprises an enclosure (3) configured to receive at least one product that has been sealed (2) under a nitrogen-containing atmosphere, a turbomolecular vacuum pump (7), an ionized gas gauge (5), a buffer volume (8) fluidically connected to a chamber (12) of the ionized gas gauge (5), an isolation valve (9) interposed between the enclosure (3) and the buffer volume (8) and configured to put in communication or isolate the buffer volume (8) with/from the enclosure (3), a variable conductance restriction (10) interposed between the inlet of the turbomolecular vacuum pump (7) and the buffer volume (8) having a variable aperture, and a gas-injecting device (11) configured to inject a variable flow rate of substitution gas other than nitrogen into the enclosure (3) containing the sealed product (2).
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
G01M 3/22 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour raccords ou étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour soupapes
23.
METHOD FOR CONTROLLING THE OPERATING PARAMETERS OF A TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP
A method for controlling the operating parameters of a turbomolecular vacuum pump (1) comprising: - a stator (2), - a rotor (3), - a motor (16) configured to drive the rotor (3) to rotate in the stator (2), - an internal heating device (21) arranged in the gas flow path of the vacuum pump (1) and configured to heat the rotor (3), - a temperature sensor configured to measure the temperature of the rotor (3), - an external heating device (27) configured to heat the stator (2), characterized in that the control method comprises: - a nominal operating mode in which the rotor (3) is heated via the internal heating device (21) as long as the measured temperature of the rotor (3) is less than a given temperature threshold for a parameter representative of the power consumed by the motor (16), and - an overspeed operating mode in which the internal heating of the rotor (3) is cut when the measured temperature of the rotor (3) is greater than or equal to the temperature threshold.
The method comprises the following steps: the temperature sensor (17) measures and transmits a temperature representative of the temperature of the rotor (5) to the monitoring unit (19), the monitoring unit (19) calculates a drift of the temperature with respect to time and compares it to a predefined threshold, when the value of said calculated drift is greater than or equal to the predefined threshold, the monitoring unit (19) detects an abnormal overheating representative of a deposition layer and issues at least one alert signal and/or command to stop said pump (1). The invention relates to a corresponding turbomolecular vacuum pump.
Pumping unit (1) comprising at least a first rough vacuum pump (3) and a second vacuum pump (5) in series, the second vacuum pump (5) having a discharge side fluidically connected to a suction side of the first rough vacuum pump (3), the vacuum pumps (3, 5) respectively comprising a stator (30, 50) having at least one pumping chamber, two rotors configured to rotate in the pumping chamber about a respective axis of rotation (I, II), and at least one motor (33, 53) for rotating the shafts (31, 32, 51, 52) of the rotors. The pumping unit (1) comprises at least one common housing (7) shared by the two vacuum pumps (3, 5), at least partially receiving the shafts (31, 32, 51, 52) of the rotors of each vacuum pump (3, 5).
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
The present invention relates to a station (1) for measuring airborne molecular contamination, comprising: - at least one gas analyser (3) configured to measure a concentration of at least one contaminant, - a plurality of air inlets (5) configured to be in fluidic communication with the gas analyser (3) and configured to be connected to a respective plurality of sampling lines (7), - a plurality of first controllable isolation valves (11) interposed between the plurality of air inlets (5) and the gas analyser (3), - a control unit (15) configured to control the opening or the closure of the first controllable isolation valves (11) in order to place the gas analyser (3) in fluidic communication with at least one sampling line (7), wherein the control unit (15) is also configured to command a verification of the accuracy of the analyser (3) when the concentration of a contaminant greater than a predetermined threshold is detected by said analyser (3).
The invention relates to electrical industrial equipment (1) comprising: - a main device (3) comprising: - a fluidic circuit (7) intended for pumping gas to an intake (3a) of the main device (3), and - a central electrical unit (17) configured to drive at least one element of the fluidic circuit (7) and configured to be powered by an electrical distribution network and comprising an auxiliary power supply port (17a), and - at least one accessory (5) remote from the main device (3) and able to be electrically powered by the central electrical unit (17) of the main device (3) via a power cable (19) connected to the auxiliary power supply port (17a) of the central electrical unit (17), wherein the central electrical unit (17) comprises a current regulator for limiting the current in the case of a short-circuit at the remote accessory (5), and wherein the current regulator comprises a switching circuit in which the duty cycle of the switching is controlled as a function of a peak input current of the switching circuit.
H02M 1/00 - Détails d'appareils pour transformation
H02M 1/32 - Moyens pour protéger les convertisseurs autrement que par mise hors circuit automatique
H02M 3/156 - Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu en une puissance de sortie en courant continu sans transformation intermédiaire en courant alternatif par convertisseurs statiques utilisant des tubes à décharge avec électrode de commande ou des dispositifs à semi-conducteurs avec électrode de commande utilisant des dispositifs du type triode ou transistor exigeant l'application continue d'un signal de commande utilisant uniquement des dispositifs à semi-conducteurs avec commande automatique de la tension ou du courant de sortie, p. ex. régulateurs à commutation
(1) Pompes étant des parties de machines et de moteurs, pompes à vide; pompes à vide pour machines, pompes à vide primaires, entraînements pour pompes à vide, supports pour pompes à vide, entraînements et paliers d'arbre pour pompes à vide; tous les produits précités étant destinés à un usage industriel et de laboratoire ainsi qu'à des fins de recherche, excluant toutes applications associées à des systèmes HVAC (chauffage, ventilation et climatisation).
Pumps for machines; vacuum pumps; vacuum pumps for machines; primary vacuum pumps; vacuum pump installations as parts of machines; stands for vacuum pumps; drives and shaft bearings for vacuum pumps; all the foregoing being for industrial and laboratory use and research purposes and not for HVAC systems
31.
DEVICE FOR MEASURING THE GASEOUS CONTAMINATION OF A CARRIER FOR TRANSPORTING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES AND ASSOCIATED MEASUREMENT METHOD
Device (1) for measuring the gaseous contamination of a transport carrier (2) for conveying and storing at least one semiconductor substrate (6) at atmospheric pressure, said carrier (2) comprising a door (4b) and a shell (4a) that can be closed by the door (4b) at a seal region (7), the carrier (2) being provided with at least one breathing port (9, 11, 13, 15), the measuring device (1) comprising at least one analyser (29) configured to measure the concentration of at least one gaseous contaminant, the measuring device (1) comprising an interface (3) configured to be coupled to the transport carrier (2), said interface (3) comprising a platform (5) facing which the door (4b) of the transport carrier (2) is intended to be coupled so as to provide a gap between the platform (5) and the door (4b).
G01N 1/22 - Dispositifs pour prélever des échantillons à l'état gazeux
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
G01N 33/00 - Recherche ou analyse des matériaux par des méthodes spécifiques non couvertes par les groupes
32.
METHOD AND STATION FOR MEASURING AIRBORNE MOLECULAR CONTAMINATION
Method and station for measuring airborne molecular contamination The invention concerns a method for measuring airborne molecular contamination by means of a measuring station (1) including at least one first and one second gas analysers (3, 5, 7, 9), at least one sampling line (Li) and at least one valve (15, 17), the method including the following steps: - measurement of molecular contamination concentrations in the sampling line by the first gas analyser (3, 7) for a first predefined time, - fluidic isolation between the first gas analyser (3, 7) and the sampling line (Li) by means of at least one valve (15, 17), and - measurement of molecular contamination concentrations in the sampling line (Li) by the second gas analyser (5, 9) for a second predefined time. The invention also concerns a corresponding measuring station (1).
G01N 1/22 - Dispositifs pour prélever des échantillons à l'état gazeux
G01N 15/06 - Recherche de la concentration des suspensions de particules
G01N 33/00 - Recherche ou analyse des matériaux par des méthodes spécifiques non couvertes par les groupes
G01N 35/10 - Dispositifs pour transférer les échantillons vers, dans ou à partir de l'appareil d'analyse, p. ex. dispositifs d'aspiration, dispositifs d'injection
33.
STATION FOR MEASURING AIRBORNE MOLECULAR CONTAMINATION
The invention relates to a measuring station (1) for measuring airborne molecular contamination, comprising at least one gas analyser (3) and at least one sampling line (L1, Ln) fluidically connected to an inlet of the gas analyser (3). According to the invention, said station (1) comprises at least one sampling pump (5) arranged upstream of the gas analyser (3) in the direction of flow of a gas flow that is to be pumped, and the sampling pump (5) has a suction side fluidically connected to the at least one sampling line (L1, Ln) and a discharge side fluidically connected to the inlet of the gas analyser (3), the sampling pump (5) being configured to aspirate a gas flow from the sampling line, and to discharge the gas flow at atmospheric pressure +/-50 hPa, preferably +/-30 hPa.
G01N 1/22 - Dispositifs pour prélever des échantillons à l'état gazeux
G01N 15/00 - Recherche de caractéristiques de particulesRecherche de la perméabilité, du volume des pores ou de l'aire superficielle effective de matériaux poreux
G01N 35/10 - Dispositifs pour transférer les échantillons vers, dans ou à partir de l'appareil d'analyse, p. ex. dispositifs d'aspiration, dispositifs d'injection
G01N 33/00 - Recherche ou analyse des matériaux par des méthodes spécifiques non couvertes par les groupes
34.
STATION AND METHOD FOR MEASURING THE PARTICLE CONTAMINATION OF A TRANSPORT ENCLOSURE FOR THE ATMOSPHERIC TRANSPORT AND STORAGE OF SEMICONDUCTOR WAFERS
Measurement station (1) for measuring particle contamination in a transport enclosure for the atmospheric transport and storage of semiconductor wafers, comprising a particle counter (5) and an interface (6) designed to be coupled to the shell (2) of a transport enclosure in place of the door (3), said interface (6) comprising a sampling orifice (7) fluidly connected to the particle counter (5), the measurement station (1) further comprising a clean-gas injection device (15) comprising at least one injection line (16) comprising at least one injection nozzle (17) designed to be fluidly connected to a ventilation port (4) of the transport enclosure coupled to the interface (6) for injecting clean gas into the transport enclosure, from outside the transport enclosure, through the at least one ventilation port (4) of the transport enclosure.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
A heating device is for a vacuum line in which pumped gases are intended to circulate. The heating device includes at least one radiating body to radiate in the infrared when it is heated to a temperature above 150° C. The at least one radiating body is arranged in the pumping path of the gases.
Turbomolecular vacuum pump (1) comprising a stator (2) and a rotor (3) designed to rotate in the stator (2), the rotor (3) comprising a hub (9) and at least one blade stage (10a-10h) comprising blades (11a, 11b) distributed regularly about the periphery of the hub (9), characterized in that the blades (11a) of at least one blade stage (10a) of the rotor (3) are hollow.
The invention relates to a dry vacuum pump (1) comprising at least one purge duct (16) comprising two channels (17, 18) which are provided in the thickness of an interstage transverse half-wall (9a) of a half-shell (4), each channel (17, 18) opening from a front face (19) of the interstage transverse half-wall (9a) via a respective opening (20, 21) into the interior space of a pumping stage (T1-T6), and a transverse groove (22) which is provided in the interstage transverse half-wall (9a) at a joining surface (13) of the half-shells (3, 4), the channels (17, 18) being made up of tubular ducts which are formed between an inclined plane (23) of the transverse groove (22) and the front face (19).
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
38.
TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP AND METHOD FOR MANUFACTURING A ROTOR
A turbomolecular vacuum pump drives gases to be pumped from a suction orifice to a discharge orifice. In the turbomolecular vacuum pump, the surface of the internal bowl of the rotor arranged facing the shell of the stator capable of being cooled exhibits a higher emissivity than the outer surface of the rotor in fluidic communication with the pumped gases and/or the surface of the shell of the stator capable of being cooled arranged facing the internal bowl of the rotor exhibits a higher emissivity than the outer surface of the rotor in fluidic communication with the pumped gases.
The present invention relates to a method for detecting a leak on an object to be tested, which method comprises: - a first step of detecting a leak on the object to be tested by means of a method for measuring the variation in pressure; if no leak is detected in the first step, - a second step of detecting a leak on the object to be tested by detecting a tracer gas, wherein the detection device used to implement the first step and the second step comprises at least one valve for controlling the pressure in the predefined volume and a pressure sensor configured to measure the pressure in the predefined volume, the opening and closing of the at least one valve being controlled according to the pressure measured by the pressure sensor, and wherein the pressure variation in the first detection step is determined from the measurements of the pressure sensor.
G01M 3/22 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour raccords ou étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour soupapes
G01M 3/32 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour récipients, p. ex. radiateurs
40.
LEAK DETECTION FACILITY AND METHOD FOR INSPECTING A SEAL
The invention relates to a leak detection facility (1) for checking the seal of at least one object (3) having an interior cavity, the volume of which is less than or equal to 50 cm3TT) and a large-leaks test of the test chamber is carried out by monitoring the increase in the pressure measurement and, if a large leak is not detected, a second step is carried out, during which second step the pressure in the test chamber is lowered in order to allow a low-pressure test step to be carried out by measuring the concentration of the tracer gas using the leak detector (13), the duration of the pre-discharge step being less than or equal to two seconds.
G01M 3/22 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour raccords ou étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour soupapes
G01M 3/32 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour récipients, p. ex. radiateurs
Vertical vacuum pump (1) having a stator (2), two rotors (6) respectively having an end (11) provided with a cavity (19), at least two bearings (15) mounted in a respective cavity (19), and at least two support spindles (21) for supporting a respective bearing (15), secured to the stator (2) and each of which has at least one portion protruding into one of the cavities (19), the bearings being respectively arranged between a protruding portion and a wall delimiting one of the cavities (19). The vacuum pump (1) has at least one reservoir (20) in the bottom (19a) of at least one of the cavities (19), facing the bearing (15) and below it, said reservoir being configured to receive a liquid lubricant entrained towards the bearing (15) by a centrifugal force generated by the rotation of the rotor (6).
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 29/02 - LubrificationSéparation du lubrifiant
The invention relates to a vacuum pump (1) comprising a stator (2) and two shafts (4) of rotors (5) that are configured to rotate in at least one pumping stage (T1-T7) of the stator (2). The invention is characterised in that, for each shaft (4), the vacuum pump (1) further comprises a stationary rolling device (10) having a bearing (12) which is mounted on the shaft (4) and a first housing (13) which is screwed into the stator (2), the bearing (12) being accommodated in the first housing (13), the first housing (13) forming an axial stop for an outer ring (12b) of the bearing (12), and/or a movable rolling device (11) having a bearing (20) which is mounted on the shaft (4) and a second housing (21) which is screwed into the stator (2), the bearing (20) being accommodated in the second housing (21), an annular resilient element (22) being inserted between an outer ring (20b) of the bearing (20) and the second housing (21).
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
43.
TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP AND ASSEMBLY METHOD THEREOF
The invention relates to a turbomolecular vacuum pump (1) in which each annular stator stage (9) is respectively formed of two radially opposite stator half-sectors (9a, 9b) each comprising a finned sector (20) and a spacer sector (21) located on the periphery of a respective finned sector (20). The vacuum pump (1) further comprises an annular elastic device (23) made of metal inserted between, on the one hand, a second annular border (24) of the installation (8) located on the side of the suction opening (4) and, on the other hand, the spacer sectors (21) of the stacks of stator half-sectors (9a, 9b), the stacks of stator half-sectors (9a, 9b) being held in the installation (8) through the compression of the annular elastic device (23) by axially clamping the casing (2a) to a high-pressure bush (2b) of the stator (2).
The invention relates to a vacuum pump (1) comprising: a stator (2) comprising at least one pumping stage (T1-T5); two shafts (4) carrying rotors (5) which is configured to rotate in the pumping stage (T1-T5) about an axis of rotation (l-l) in each case; at least one oil sump (6) comprising a chamber which is configured to contain a liquid lubricant intended to lubricate elements (10, 11) allowing the rotation of the shafts (4); and a device (12) for determining the level of liquid lubricant configured to determine information which is representative of the level of liquid lubricant contained in the chamber of the oil sump (6) from the differential pressure measurement between the pressure exerted by the liquid lubricant and the gas pressure prevailing in the volume of the chamber of the oil sump (6) above the level of oil lubricant.
09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques
Produits et services
Leak detectors; pressure measuring apparatus; electronic
measuring sensors; leak monitoring sensors, detectors and
instruments; pressure sensors; optical sensors; vacuum
apparatus for laboratories; leak detectors in sealed closed
spaces; devices for seal testing in an enclosed volume; leak
detection and measurement apparatus; electronic apparatus
and instruments for locating leaks.
46.
Vacuum line and method for controlling a vacuum line to reduce explosion potential via injection of diluent gas to lower flammable gas concentration
A vacuum line and method for controlling a vacuum line in which an auxiliary pumping device and a diluent gas injection device are controlled according to a first operating mode in which the pressure prevailing in the discharge pipe is maintained at less than or equal to 20,000 Pa or according to a second operating mode in which the pressure prevailing in the discharge pipe is greater than 20,000 Pa, and the injection of a diluent gas into the stream of the pumped gases is controlled, downstream of an intake of the rough pumping device, such as into the discharge pipe and/or into the rough pumping device and/or into the auxiliary pumping device by the diluent gas injection device in the second operating mode. This reduces the potential for explosion in the vacuum line via injection of diluent gas to lower flammable gas concentration.
B01F 35/221 - Commande ou régulation des paramètres de fonctionnement, p. ex. du niveau de matière dans le mélangeur, de la température ou de la pression
B01D 53/14 - Séparation de gaz ou de vapeursRécupération de vapeurs de solvants volatils dans les gazÉpuration chimique ou biologique des gaz résiduaires, p. ex. gaz d'échappement des moteurs à combustion, fumées, vapeurs, gaz de combustion ou aérosols par absorption
The invention relates to a turbomolecular vacuum pump (1) comprising a stator (2), a rotor (3) configured to rotate inside the stator (2) and a motor (16) configured to drive the rotation of the rotor (3), characterized in that the turbomolecular vacuum pump (1) further comprises a temperature sensor (23) configured to measure the temperature of the rotor (3) and a creep maintenance meter (24) configured to determine an incremental change in the creep of the rotor (3) over a predetermined duration from the temperature of the rotor (3), as measured by the temperature sensor (23), from the rotational speed of the rotor (3), from the value of the creep of the rotor, and from the look-up table, to increment the rotor-creep value by the determined creep increment, and to determine, on the basis of the incremented creep value, a data item indicative of the remaining time for which the rotor can run before needing preventive maintenance for creep.
A gas treatment device treats, at atmospheric pressure, the gases pumped by at least one rough pumping device. The gas treatment device includes a treatment chamber and at least one discharge pipe to connect a discharge of the at least one rough pumping device to an inlet of the treatment chamber. The gas treatment device further includes at least one auxiliary pumping device to lower the pressure in the at least one discharge pipe, situated less than 1 meter from the inlet of the treatment chamber, such as less than 50 cm.
B01D 53/04 - Séparation de gaz ou de vapeursRécupération de vapeurs de solvants volatils dans les gazÉpuration chimique ou biologique des gaz résiduaires, p. ex. gaz d'échappement des moteurs à combustion, fumées, vapeurs, gaz de combustion ou aérosols par adsorption, p. ex. chromatographie préparatoire en phase gazeuse avec adsorbants fixes
B01D 53/32 - Séparation de gaz ou de vapeursRécupération de vapeurs de solvants volatils dans les gazÉpuration chimique ou biologique des gaz résiduaires, p. ex. gaz d'échappement des moteurs à combustion, fumées, vapeurs, gaz de combustion ou aérosols par effets électriques autres que ceux prévus au groupe
B01D 53/82 - Procédés en phase solide avec des réactifs à l'état stationnaire
B01D 53/18 - Unités d'absorptionDistributeurs de liquides
09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques
Produits et services
Interface cable; standard interface cable; USB (universal
serial bus) interface; USB (universal serial bus) operating
software; digital transmission interface; USB hardware;
portable USB hardware; USB charging ports; USB chargers; USB
hubs; USB hubs; micro USB interfaces; USB interfaces in
vacuum pumps or in pressure gauges for measuring pressure.
50.
Station and method for measuring airborne molecular contamination
A measurement station for measuring airborne molecular contamination includes at least one gas analyser, at least two controllable isolation valves connected in parallel to the input of the at least one gas analyser, a conditioning pump, at least two calibrated orifices connected in parallel to the input of the conditioning pump, at least one distributor to connect each controllable isolation valve with, on one side, a sampling line and, on the other side, a calibrated orifice, and a control unit linked to the controllable isolation valves. The control unit commands the opening or the closing of the controllable isolation valves in order to be able to connect the at least one gas analyser with at least one sampling line.
The invention relates to a method for checking the tightness of an object to be tested (8) by a leak detector (1) comprising a probe (5, 5') configured to be moved by a user (6) around the object to be tested (8), a tracer gas analyser (9) configured to measure a tracer gas concentration, and a data storage unit (33), the method comprising: - a preliminary step (101, 201) of storing data associated with a model of the object to be tested (8); - a step (102, 202) of identifying a model of the object to be tested (8); - a step (103, 203) of selecting data associated with the identified model; - a step (104, 204) of setting the detection parameters of the leak detector (1) based upon the selected data; - a step (108, 209) of validating the tightness check at a zone to be tested (24) in which the distance of the probe (5, 5') with respect to the object to be tested (8) and/or the speed of movement of the probe (5, 5') with respect to the object to be tested (8) at this zone to be tested (8) are compared with the set detection parameters.
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
52.
LEAK DETECTOR AND METHOD FOR CHECKING THE TIGHTNESS OF AN OBJECT TO BE TESTED
The invention relates to a leak detector (1) comprising: - a probe (5) comprising a tip (5a) configured to be moved by a user (6) around an object to be tested (8); - a tracer gas analyser (9) configured to measure a tracer gas concentration, wherein the leak detector (1) also comprises: - a vision device (25) comprising at least one infrared camera (27) configured to produce images of the probe (5) during a test; - a processing unit (23) configured to determine a position of the tip (5a) of the probe (5) from the images produced by the infrared camera (27).
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
The present invention refers to a vacuum pump (1) comprising:- a plurality of sensors (11, 13, 15, 17, 19) configured for measuring parameters associated with a state of the vacuum pump (1), - a control unit (21) configured for retrieving measurements from the sensors (11, 13, 15, 17,19) and for determining recursively over time an operating point of the vacuum pump (1) based on one side on the retrieved measurements and on the other side on an operating mode of the vacuum pump (1) selected by a user among a plurality of operating modes and for applying the determined operating point.
F04B 37/14 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour utilisation particulière pour obtenir un vide élevé
F04B 49/20 - Commande des "machines", pompes ou installations de pompage ou mesures de sécurité les concernant non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes en modifiant la vitesse d'entraînement
F04B 51/00 - Tests des "machines", pompes ou installations de pompage
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04D 17/16 - Pompes centrifuges pour déplacement sans compression notable
F04D 19/04 - Pompes multiétagées spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p. ex. pompes moléculaires
54.
VACUUM LINE, PUMPING DEVICE INTENDED TO BE CONNECTED TO THE VACUUM LINE AND INSTALLATION COMPRISING THE VACUUM LINE
The invention relates to a vacuum line (1) comprising a pumping device (3) comprising at least one rough-vacuum pump (4). According to the invention, the vacuum line (1) comprises an injection system (5) for injecting suspended elements into the vacuum line (1) in order to form an aerosol in the vacuum line (1) so as to use at least a portion of the suspended elements in the aerosol to absorb, by change of state, at least a portion of the heat generated by compression taking place in the rough-vacuum pump (4).
The invention relates to a pump unit (2) that is intended to be fluidically connected downstream of a process chamber (101) and upstream of a gas processing unit (3) in the direction of flow of the pumped gases (F1), the pump unit (2) comprising a Roots high vacuum pump (5) connected in series with, and upstream of, a rough vacuum pump (4). The pump unit (2) further comprises a control unit (17) configured to control an output parameter of the pump unit (2) and/or of the gas processing device (3) according to an input parameter, the input parameter being the electric power consumed by the motor (M2) of the Roots high vacuum pump (5).
C23C 16/44 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
The invention relates to a vacuum line (1) having a pumping device (3) comprising at least one rough vacuum pump (4) and a dilution device (5) configured to inject dinitrogen as dilution fluid into the flows of the gases pumped in the pumping device (3), in order to reduce the inflammable and/or condensable and/or corrosive character of the pumped gases. According to the invention, the dilution device (5) is configured to inject at least one other dilution fluid than dinitrogen, in order to replace the dinitrogen with the other fluid or to reduce the proportion of dinitrogen in the gases delivered by the rough vacuum pump (4).
B01J 3/00 - Procédés utilisant une pression supérieure ou inférieure à la pression atmosphérique pour obtenir des modifications chimiques ou physiques de la matièreAppareils à cet effet
B01J 3/02 - Dispositifs d'alimentation ou d'évacuation appropriés
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques
Produits et services
USB (universal serial bus) interface cables; downloadable USB (universal serial bus) operating software; digital transmission computer network interface devices; USB hardware; portable USB hardware; USB charging ports; USB hubs; micro USB interfaces in the nature of USB hardware; USB interfaces in the nature of USB hardware in vacuum pumps or in pressure gauges for measuring pressure
A multistage vacuum pump (1) is provided with pumping stages (3a, 3b, 3c) respectively comprising an inlet (E) and an outlet (S), the pumping stages (3a, 3b, 3c) being mounted in series between a suction (4) and a discharge (5) of the vacuum pump (1), a stator (2) comprising at least one stator element produced by assembling two complementary half-shells (2A, 2B) that meet at a joining surface (8), at least one evacuation channel (11) connected to the outlet (S) of a pumping stage (3a, 3b) and in fluidic communication with the discharge (5), and at least one valve (13) associated with the evacuation channel (11). The evacuation channel (11) is provided in one of the half-shells (2A, 2B), opening in at least one mouth in the joining surface (8) and the associated valve (13) is arranged between the two half-shells (2A, 2B), being mobile so as to shut off or free up the mouth of the evacuation channel (11), depending on a difference in pressure on either side of the valve (13).
F04B 25/00 - Pompes multiétagées spécialement adaptées aux fluides compressibles
F04B 37/14 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour utilisation particulière pour obtenir un vide élevé
F04B 39/12 - Carcasses d'enveloppeCylindresCulassesConnexions des tubulures pour fluide
F04B 49/035 - Commande d'arrêt, de démarrage, de décharge ou de ralenti par clapets de dérivation
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 28/06 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles spécialement adaptées pour arrêter, pour démarrer, pour le ralenti ou pour un fonctionnement à charge nulle
F04C 28/02 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles spécialement adaptées pour plusieurs pompes connectées en série ou en parallèle
F04C 29/12 - Dispositions pour l'admission ou l'échappement du fluide de travail, p. ex. caractéristiques de structure de l'admission ou de l'échappement
F04C 28/26 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles caractérisées par l'utilisation des soupapes pour commander la pression ou le débit, p. ex. soupapes de décharge utilisant des canaux de dérivation
59.
TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP AND ASSOCIATED CLEANING METHOD
Turbomolecular vacuum pump (1) intended to be fluidically connected to a process chamber (101) of an equipment device (100), the vacuum pump (1) having a control unit (30) configured to control a heating device (21) and a cooling device (22) of the vacuum pump (1) and to communicate with a command unit (104) of the equipment device (100) in order to initiate a cleaning step (201), when requested by the equipment device (100), said cleaning step (201) comprising a heating phase (202), in which the control unit (30) controls the heating device to increase the internal temperature of the vacuum pump (1) for a heating duration (Tc), and a cooling phase (203), which follows the heating phase (202) and in which the control unit (30) controls the cooling device to lower said temperature for a cooling duration (Tr).
Dry vacuum pump (1) having a cooling device (10) configured to cool the stator (2), the cooling device (10) having a fluidic circuit (11) and at least one flow rate regulator (12) arranged in a regulation duct (15) of the fluidic circuit (11), the flow rate regulator (12) having an orifice plate (17) traversed by an orifice (26), and a flexible membrane (20) having a central opening (14) which is smaller than said orifice (26), the flexible membrane (20) being positioned upstream of the orifice plate (17) in the flow direction of the cooling fluid (f2).
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
Turbomolecular vacuum pump (1) comprising at least one heating rod (20) having at least one holding part (20a) and a heating part (20b) utilizing the Joule effect when the heating rod (20) is electrically powered, the holding part (20a) forming a sheath for the electrical supply wires to the heating part (20b), at least one connection duct (21) being at least partially arranged in a high-pressure stator (19) of the vacuum pump (1) for the passage of the holding part (20a), the heating part (20b) being received along at least one helical groove (14) of the high-pressure stator (19).
Leak detector and associated checking method The present invention relates to a leak detector (1) which is configured to check the leaktightness of an object (8) to be tested and comprises: - a measurement module (3) comprising a tracer gas analyser (9) configured to measure a concentration of tracer gas, - a probe (5, 5') configured to be moved around the object (8) to be tested, - a camera (4) connected to the measurement module (3) and configured to at least partially film the movement of the probe (5, 5') around the object (8) to be tested, wherein the measurement module (3) comprises a processing unit (23) configured to start the video recording by the camera (4) when a test of an object (8) to be tested is begun and to stop the video recording by the camera (4) when the test is ended.
G01M 3/38 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation de la lumière
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
Sniffer probe for a leak detector (1) for monitoring the leaktightness of an object to be tested by way of tracer gas, the sniffer probe having a recognition device (28) configured to cooperate with the leak detector (1) in order that the leak detector (1) can detect a disconnection of the sniffer probe and bring about the closure of the fluidic circuit (13) if a disconnection is detected. The recognition device (28) of the probe may have an electrical component (30) of the electrical resistor or EEPROM memory type. It is thus possible to make use of the information contained in the recognition device (28).
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
Dry rough-vacuum pump (1) comprising a stator (11) formed by at least one end support (12a, 12b) coupled axially to at least two stator elements (13) assembled to form at least one pumping stage (8a, 8b, 8c, 8d), and two shafts (9) provided with rotors (10a, 10b, 10c, lOd) configured to turn in a synchronized opposite rotations manner in each pumping stage (8a, 8b, 8c, 8d). The vacuum pump (1) also includes a safety device (17) mounted sealingly on the end support (12a, 12b) and that envelops at least the stator elements (13) to form a containment volume (21) for the pumped gas between the stator elements (13) and the safety device (17).
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 18/16 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne avec des pistons rotatifs dentés à dents hélicoïdales, p. ex. du type ayant la forme d'un chevron, du type à vis
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
Vacuum pump (1) comprising a stator (4) comprising at least one compression chamber (5), two rotors (6) configured to rotate in the compression chamber (5) about a respective axis of rotation (I-I), the axes of rotation (I-I) being vertical, and elements to be lubricated mounted on shafts (7) of the rotors (6), the vacuum pump (1) further comprises an oil pump (9) comprising an oil sump (13) and at least one turbine (14) mounted on one of the shafts (7) of the rotors (6), the turbine (14) being bathed in a liquid lubricant received in a chamber of the oil sump (13), the rotation of the turbine (14) causing some of the lubricant to circulate in a lubricating duct (15) towards the elements to be lubricated and the oil pump (9) is a vane pump, the turbine (14) having a disc (16) and at least one vane (17) projecting from an upper face of the disc (16), the lubricating duct (15) comprising an inlet duct (20) communicating with the chamber of the oil sump (13) receiving the turbine (14) and oriented tangentially or radially to the turbine (14).
A trap is provided for a vacuum line to be mounted on a pipe connected to a reactor, the trap including: a chamber including an inlet and a bottom wall; an outlet tube in communication with the chamber and including another inlet, the inlet and the outlet tube are configured to be connected to the pipe and to permit passage of a flow of gas to be pumped coming from the reactor; and a deflector between the inlet and the another inlet, the bottom wall being below the another inlet and being an annular cup or an adjustable height cup, and conformed so as to cooperate with the deflector to permit an accumulation of solid elements in the bottom wall when the flow of gas is reduced and to expel the solid elements from the chamber by aerodynamic entrainment when the flow of gas is increased.
B01D 45/08 - Séparation de particules dispersées dans des gaz ou des vapeurs par gravité, inertie ou force centrifuge par inertie par projection contre les diaphragmes séparateurs
C23C 16/44 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
67.
Dry-type primary vacuum pump and method for controlling the injection of a purging gas
A dry-type primary vacuum pump includes an injection device to distribute a purging gas in the pumping stages. The injection device includes: a first pressure sensor arranged on a common portion of the distributor, a second pressure sensor arranged on each branch of the distributor, and a control unit to generate a pulse width modulation command signal for the control of the regulation valves independently of one another as a function of the pressure measurement differences between the first pressure sensor and the second pressure sensors.
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 18/16 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne avec des pistons rotatifs dentés à dents hélicoïdales, p. ex. du type ayant la forme d'un chevron, du type à vis
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
The invention relates to a system (1) for detecting leaks by means of a tracer gas intended to be connected to a sniffing probe to check the airtightness of an object to be tested filled with the tracer gas, comprising a first pumping device (13) making it possible to obtain a primary vacuum and comprising at least one diaphragm pump forming at least two pumping stages (E1, E2, E3, E4) connected together by a connection module (14) configured to selectively place each pumping stage (E1, E2, E3, E4) in parallel or in series with at least one other pumping stage (E1, E2, E3, E4) as a function of an operating parameter of the leak detection system (1) in order to change the mass flow rate of the gases sucked by the sniffing probe.
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
G01M 3/22 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour raccords ou étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour soupapes
F04D 19/04 - Pompes multiétagées spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p. ex. pompes moléculaires
F04B 45/04 - Pompes ou installations de pompage, ayant des organes de travail flexibles, spécialement adaptées pour fluides compressibles ayant des organes flexibles du genre plat, p. ex. des diaphragmes
F04B 49/00 - Commande des "machines", pompes ou installations de pompage ou mesures de sécurité les concernant non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes
F04B 37/14 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour utilisation particulière pour obtenir un vide élevé
69.
VACUUM PUMP AND METHOD FOR MONITORING A VACUUM PUMP
Vacuum pump (1; 100) comprising a gas injection device (20) comprising at least one pipe (21) configured to be linked to a gas source and to inject a gas flow into the vacuum pump (1; 100) comprising at least one gas flow presence detector (22) comprising at least two calibrated orifices (23, 24) mounted in series in the pipe (21), and a pressure sensor (25) configured to measure a pressure in the pipe (21), between the calibrated orifices (23, 24), a monitoring unit (26) linked to the pressure sensor (25) and configured to detect a gas flow fault as a function of the measurement of the pressure sensor (25).
Multistage vacuum pump (1) in which at least each rotor (72a, 72b) of the pair of the final pumping stage (3d) upstream of the discharge outlet (6) comprises a support disk (12) made in one piece with the pumping profile (11a, 11 b), the pumping profile (11a, 11 b) of each rotor (72a, 72b) of the pair of the final stage (3d) being configured to turn in a first part (10a) of the cylindrical cavity (10) and the support disk (12) being configured to turn in a second part (10b) of the cylindrical cavity (10), the first and second parts (10a, 10b) of the cylindrical cavities (10) being axially inverted one relative to the other, the first parts (10a) overlapping transversely so that the pumping profiles (11a, lib) of the pair are able to cooperate with one another to pump a gas.
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
A pump unit includes a rough-vacuum pump and a Roots vacuum pump connected in series and upstream of the rough-vacuum pump in the direction of flow of the pumped gases. The Roots vacuum pump has three pumping stages in which the rotors are designed to be driven simultaneously in rotation by a motor of the Roots vacuum pump. A ratio of the flow rate generated by the first pumping stage of the rough-vacuum pump in the direction of flow of the pumped gases over the flow rate generated by the last pumping stage of the rough-vacuum pump is less than or equal to four.
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 28/26 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles caractérisées par l'utilisation des soupapes pour commander la pression ou le débit, p. ex. soupapes de décharge utilisant des canaux de dérivation
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
A sniffer probe for a leak detector for monitoring the leaktightness of an object to be tested by tracer gas includes an end piece created in the form of a rigid tube, a housing, a connection member connecting the end piece to the housing, and a sampling duct to sample a gas at a first end of the end piece. The connection member includes a main body that is elastically deformable such that it can adopt a deformed position, making it possible for the end piece to pivot when acted upon by a force and to return to the initial rest position.
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
G01M 3/22 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour raccords ou étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs pour soupapes
Dry vacuum pump (1) with two rotor shafts and a stator (2) having at least a first and a second complementary half-shells of which a first half-shell (3) has at least one seal groove (16) provided in a joining surface (10) of half-shells (3, 4) accommodating a side rail (14b) of a first seal (14), of which the bottom has at least one interface surface (17) opening between the half-shells (3, 4) that is shaped as a "saddle" so as to form a smooth transition for the first seal (14).
F01C 21/10 - Organes externes coopérant avec des pistons rotatifsCarcasses d'enveloppes
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 27/00 - Systèmes d'étanchéité dans les pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles
75.
MAGNETIC BEARING FOR A ROTATING MACHINE, ASSOCIATED POWER SUPPLY METHOD AND ASSOCIATED ROTATING MACHINE
bus/2bus/2) and wherein the first branch (B1) comprises a first voltage regulator (RV1) associated with the first coil (5) and the second branch (B2) comprises a second voltage regulator (RV2) associated with the second coil (5'), the electrical power supply circuit (13) also comprising a control unit (11) of the first (RV1) and of the second (RV2) voltage regulators, said control unit (11) comprising two first feedback loops configured to servocontrol the current (Ib1, Ib2) circulating respectively in the first (5) and in the second (5') coils as a function of a measured position of the rotor (7) and two second feedback loops configured to servocontrol the voltage respectively at the terminals of the first (5) and of the second (5') coils as a function of the currents (Ib1, Ib2) in the first (5) and in the second (5') coils.
Vacuum pump (1; 100) comprising at least one device for injecting a purge gas into the oil sump (12) configured to inject a purge gas into the oil sump (6) and at least one device for pumping the gases from the oil sump (13) configured to draw up the gases in the oil sump (6) so as to simultaneously inject a purge gas into and pump the gases out of said oil sump (6).
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
(1) Pompes aspirantes; pompes à vis ; pompes à lobes rotatives ; pompes turbomoléculaires ; pompes rotatives ; pompes à déplacement direct ; pompes à vide; pompes à vide [machines] ; pompes à vide primaire ; pompes à vide, nommément, pompes de pression à vide ; pompes à vide et supports pour pompes à vide se constituant de pompes à vide ; entraînements et paliers d'arbres pour pompes à vide.
09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques
Produits et services
Suction pumps; pumps for machines; vacuum pumps; vacuum pumps for machines; primary vacuum pumps; vacuum pressure pumps; vacuum pump installations for machines; vacuum pumps and vacuum pump stands consisting of vacuum pumps; drives and shaft bearings for vacuum pumps Vacuum testing and measuring apparatus; checking and control apparatus for vacuum pumps and vacuum pump stands
Pumping stage (1) of a dry vacuum pump (100), having two rotors (3, 4) respectively having at least two lobes having helical torsion (a) about a longitudinal axis (l-l), the inlet (7) and the outlet (8) being provided in cylindrical peripheral surfaces of the compression chamber (5) at the overlaps of the cylindrical cavities (5a, 5b), on opposite sides of a transverse median plane (P) of the compression chamber (5) and on either side of a longitudinal plane (L) of the compression chamber (5) that is defined by the axes (l-l) of the rotors (3, 4).
F04C 29/12 - Dispositions pour l'admission ou l'échappement du fluide de travail, p. ex. caractéristiques de structure de l'admission ou de l'échappement
F04C 18/16 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne avec des pistons rotatifs dentés à dents hélicoïdales, p. ex. du type ayant la forme d'un chevron, du type à vis
F01C 21/10 - Organes externes coopérant avec des pistons rotatifsCarcasses d'enveloppes
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
Dry vacuum pump (1) comprising a stator (2) and two rotors (5) housed in at least one compression chamber (3) of the stator (2), the rotors (5) being configured to rotate in synchronism in opposite directions in order to drive a gas that is to be pumped between an intake (4) and a delivery of the vacuum pump (1), the body (9) of the stator (2) and/or the bodies (10) of the rotors (5) being made of grey cast iron, the internal wall of the body (9) of the stator (2) of at least one compression chamber (3) and/or the walls of the bodies (10) of the rotors (5) being coated with a nickel- based coating (11), the nickel-based coating being obtained by: a first step of initiating the plating of the internal wall of the body (9) of the stator (2) and/or the walls of the bodies (10) of the rotors (5) with a nickel-based coating (11) using electroplating, followed by a second step of applying the nickel-based coating (11) to the internal wall of the body (9) of the stator (2) and/or the walls of the bodies (10) of the rotors (5) using electroless nickel plating.
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
A heating device (103) for a vacuum line (100) in which pumped gases are intended to circulate, characterized in that it comprises at least one radiating body (20) configured to radiate in the infrared when it is heated to a temperature above 150°C, the at least one radiating body (20) being arranged in the pumping path of the gases.
The invention relates to a method for checking the sealing of an object (11) to be tested by tracer gas using a probe (3) of a leak detection device (1) and comprising the step intended to scan the outer surface of the object (11) using the probe (3) in order to successively record, in a processing module (7) of the leak detection device (1), several values representative of the tracer gas leak rate measured by the detection device (1), each value representative of the tracer gas leak rate measured being associated with a value representative of the location of the probe (3) and the step intended to graphically represent, on a display element (9), the associated values recorded during the scanning of the outer surface of the object (11).
G01M 3/20 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des révélateurs particuliers, p. ex. teinture, produits fluorescents, produits radioactifs
A dry vacuum pump (1) having at least one pumping stage (3a-3e), two rotors (7) configured to turn in the at least one pumping stage (3a-3e), the rotors being configured to be rotated by at least one motor (9) of the vacuum pump (1), at least one pair of double bearings (13a, 13b) each having at least one permanent-magnet magnetic bearing (14a, 14b) and at least one plain bearing (15a, 15b) for supporting each of the two rotors (7), the permanent-magnet magnetic bearings (14a, 14b) each having a stator part (17b) that is fixed to the stator (2) and a rotor part (17a) that rotates conjointly with the rotor (7), the plain bearings (15a, 15b) of the at least one pair of double bearings (13a, 13b) being installed with a respective clearance (d) between the rotor (7) and the stator (2) that is less than the clearance between the rotor part (17a) and the stator part (17b) of the permanent-magnet magnetic bearings (14a, 14b) of the at least one pair of double bearings (13a, 13b).
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
Dry vacuum pump (1) comprising: - a stator (2) having at least one compression chamber (3) into which the gases to be pumped are intended to flow, - two rotors (4) configured for rotating in the at least one compression chamber (3) of the stator (2), to drive the gas to be pumped between a suction inlet (5) and a delivery outlet of the stator (2), characterized in that the vacuum pump (1) further comprises at least one magnet (9) arranged in at least one rotor (4) so as to face a surface (10, 12, 16) of ferromagnetic material of the stator (2) on each rotation of the at least one rotor (4), so that the rotation of the at least one rotor (4) causes heating of the surface (10, 12, 16) of ferromagnetic material by magnetic induction.
F04C 15/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires des "machines", des pompes ou installations de pompage non couverts par les groupes
F04C 18/08 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04D 19/04 - Pompes multiétagées spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p. ex. pompes moléculaires
F04D 29/58 - RefroidissementChauffageRéduction du transfert de chaleur
85.
TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP AND METHOD FOR MANUFACTURING A ROTOR
A turbomolecular vacuum pump (1) configured to drive gases to be pumped from a suction orifice (6) to a discharge orifice (7), the turbomolecular vacuum pump (1) in which the surface of the internal bowl (15) of the rotor (3) arranged facing the shell (17) of the stator (2) capable of being cooled exhibits a higher emissivity than the outer surface (25) of the rotor (3) in fluidic communication with the pumped gases and/or the surface of the shell (17) of the stator (2) capable of being cooled arranged facing the internal bowl (15) of the rotor (3) exhibits a higher emissivity than the outer surface (25) of the rotor (3) in fluidic communication with the pumped gases.
The present invention relates to a method for controlling an operating power of a vacuum pump, notably a vacuum pump that can comprise multiple pumping stages in series in which a gas to be pumped circulates between a suction and a discharge and also to a vacuum pump configured to be connected to a chamber in which gases are wanted to be pumped and that comprises a pressure sensor positioned at a discharge of the vacuum pump.
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
A setting method includes setting the conductances of the controllable restrictions of an airborne molecular contamination measurement station. The setting method includes an initial identification step, prior to the carrying-out of an airborne molecular contamination measurement step, and during which the sampling line that has the lowest conductance when the conductance of the controllable restriction of the said sampling line is set to its maximum value is determined, and an initial conductance-setting step prior to the carrying-out of the measurement step and after the initial identification step, and during which the conductances of the controllable restrictions are set to make them correspond to the lowest conductance determined in the initial identification step. Further, a measurement station is provided for measuring airborne molecular contamination.
Equipment (10) of a vacuum installation, characterized in that it comprises an electronic communication module (1), said electronic module (1) comprising: - a non-volatile memory (3), - a processing unit (9) associated with the non-volatile memory (3) and configured to allow values of parameters associated with the equipment (10) in the non-volatile memory (3) to be read and backed up when the equipment (10) is powered by a general power supply of the equipment (10), - a passive wireless communication module (5) associated with the non-volatile memory (3) and configured to receive a power supply signal from a reader (7) external to the equipment (10) and to return to said reader (7) an information signal comprising the values of the parameters backed up in the non-volatile memory (3), the passive wireless communication module (5) being powered by the power supply signal from the external reader (7).
G06K 19/07 - Supports d'enregistrement avec des marques conductrices, des circuits imprimés ou des éléments de circuit à semi-conducteurs, p. ex. cartes d'identité ou cartes de crédit avec des puces à circuit intégré
G06K 19/073 - Dispositions particulières pour les circuits, p. ex. pour protéger le code d'identification dans la mémoire
89.
VACUUM LINE AND METHOD FOR CONTROLLING A VACUUM LINE
Vacuum line (4) and method for controlling a vacuum line (4) in which an auxiliary pumping device (13) and a diluent gas injection device (15) are controlled according to a first operating mode in which the pressure prevailing in the discharge pipe (7) is maintained at less than or equal to 20,000 Pa or according to a second operating mode in which the pressure prevailing in the discharge pipe (7) is greater than 20,000 Pa, and the injection of a diluent gas into the stream of the pumped gases is controlled, downstream of an intake of the rough pumping device (10), such as into the discharge pipe (7) and/or into the rough pumping device (10) and/or into the auxiliary pumping device (13) by means of the diluent gas injection device (15) in the second operating mode.
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
Gas treatment device (6) configured to treat, at atmospheric pressure, the gases pumped by at least one rough pumping device (10), the gas treatment device (6) comprising a treatment chamber (26) and at least one discharge pipe (7) configured to connect a discharge (8) of the at least one rough pumping device (10) to an inlet (9) of the treatment chamber (26), characterized in that the gas treatment device (6) further includes at least one auxiliary pumping device (13) configured to lower the pressure in the at least one discharge pipe (7), situated less than 1 metre from the inlet (9) of the treatment chamber (26), such as less than 50 cm.
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
Dry type vacuum pump (1) including at least one thermal control device (10; 20) coupled to the stator (2), the at least one thermal control device (10; 20) including a contact surface (11) in contact with the stator (2) along the at least two pumping stages (3a-3f), the contact surface (11) being partially open with at least one 5 opening (12) to heat or cool the stator (2) more at the level of the contact surface (11).
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
A pumping system is provided, including a rough-vacuum pump; a Roots vacuum pump including a pumping stage having a stator inside which two Roots rotors are configured to rotate synchronously in opposite directions to drive a gas to be pumped between an inlet orifice and an outlet orifice; and a pipeline connecting the outlet orifice to an intake of the rough-vacuum pump, a shortest distance between an edge of the outlet orifice and each of the Roots rotors in the pumping stage being less than 3 cm, and the outlet orifice being situated at the end of an upstream tube of the pipeline that passes into the pumping stage.
F16L 9/21 - Tuyaux rigides constitués de matériaux absorbant le son ou avec une structure absorbant le son
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 29/12 - Dispositions pour l'admission ou l'échappement du fluide de travail, p. ex. caractéristiques de structure de l'admission ou de l'échappement
93.
DEVICE AND METHOD FOR MONITORING A DEPOSIT OF REACTION BY-PRODUCTS FOR THE DISCHARGE OF A VACUUM PUMP
Device (200) for monitoring a deposit of reaction by-products for the discharge (7) of a vacuum pump (1; 100), characterized in that it comprises - a thermal flowmeter (20) comprising a first temperature probe placed at an upstream location in the direction of flow of the gases at the discharge (7), a second temperature probe placed at a downstream location, a heating element interposed between the temperature probes, a substrate insulating the temperature probes and the heating element from one another and - a processing unit (22) configured to perform a measurement by the thermal flowmeter (20) in order to determine the presence of a deposit of reaction by-products at the discharge (7) as a function of the difference between the flow rate measured by the thermal flowmeter (20) and an estimated value of the flow rate of gas pumped by the vacuum pump (1; 100).
F04D 19/04 - Pompes multiétagées spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p. ex. pompes moléculaires
F04D 27/00 - Commande, p. ex. régulation, des pompes, des installations ou des systèmes de pompage spécialement adaptés aux fluides compressibles
F04D 29/70 - Grilles d'aspirationFiltresSéparateurs de poussièreNettoyage
F04D 29/58 - RefroidissementChauffageRéduction du transfert de chaleur
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
G01F 1/684 - Dispositions de structureMontage des éléments, p. ex. relativement à l'écoulement de fluide
G01F 1/698 - Circuits de réaction ou de rééquilibrage, p. ex. débitmètres auto-chauffés à température constante
G01B 21/08 - Dispositions pour la mesure ou leurs détails, où la technique de mesure n'est pas couverte par les autres groupes de la présente sous-classe, est non spécifiée ou est non significative pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur pour mesurer l'épaisseur
G01B 13/06 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de fluides pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur pour mesurer l'épaisseur
A primary vacuum pump (1) comprising a suction orifice (4) and a discharge orifice (5), the vacuum pump (1) being configured to be able to discharge the pumped gases at atmospheric pressure, comprising: - a stator (2) comprising at least one pumping stage (3a-3e), - two rotor shafts (6) configured to turn synchronously in reverse directions in the at least one pumping stage (3a-3e) to drive a gas to be pumped between the suction orifice (4) and an outlet orifice (8) of the stator (2), characterized in that the vacuum pump (1) further comprises at least one cassette (11) configured to receive at least one of the elements out of a silencer (10), at least one offloading device (29), at least one purging device and a cooler (27) of the vacuum pump (1), the at least one cassette (11) being fixed removably to the stator (2) and interposed on the gas flow path.
F01C 21/10 - Organes externes coopérant avec des pistons rotatifsCarcasses d'enveloppes
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
Measurement station (1) for measuring airborne molecular contamination comprising: - at least one gas analyser (2), -at least two controllable isolation valves (V1-V64) connected in parallel to the input of the at least one gas analyser (2), - a conditioning pump (3), - at least two calibrated orifices (C1-C64) connected in parallel to the input of the conditioning pump (3), - at least one distributor (4) configured to connect each controllable isolation valve (V1-V64) with, on one side, a sampling line (L1-L64) and, on the other side, a calibrated orifice (C1-C64), and - a control unit (6) linked to the controllable isolation valves (V1-V64) and configured to command the opening or the closing of the controllable isolation valves (V1-V64) in order to be able to connect the at least one gas analyser (2) with at least one sampling line (L1-L64).
Dry vacuum pump (1) comprising: - a stator (2) comprising at least one first and at least one second complementary half-shells (7, 8), each half-shell (7, 8) comprising at least one half-partition (13e) joined together with a half-partition (14a-14e) of the other half-shell (8) to form a separating partition between two successive pumping chambers of pumping stages (3a-3f) mounted in series between a suction (4) and a discharge (5) of the vacuum pump (1), - two rotor shafts configured to turn synchronously in reverse directions in the pumping chambers, characterized in that at least one half-partition (13e, 14d, 14e) of a half-shell (7, 8) is fitted by assembly in a cradle (15) of the half-shell (7, 8).
F01C 21/10 - Organes externes coopérant avec des pistons rotatifsCarcasses d'enveloppes
F04C 18/08 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
97.
Dry vacuum pump and method for controlling a synchronous motor of a vacuum pump
A dry vacuum pump is provided, including two shafts, respectively supporting at least one pumping rotor being configured to synchronously rotate in reverse in order to convey a gas to be pumped from an intake of the dry vacuum pump to an outlet; and a synchronous motor configured to rotate one shaft of the two shafts, the synchronous motor including a rotor coupled to the shaft, a first stator with windings arranged around the rotor, and at least one second stator with windings arranged around the rotor, the windings of the stators being configured to be supplied individually or simultaneously in order to adapt a power of the synchronous motor to a pumping load. A method for controlling a synchronous motor of a vacuum pump is also provided.
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
H02K 7/14 - Association structurelle à des charges mécaniques, p. ex. à des machines-outils portatives ou des ventilateurs
F04C 23/02 - Pompes caractérisées par leur combinaison avec des machines motrices ou des moteurs d'entraînement particuliers ou leurs adaptations à cet effet
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
Dry vacuum pump (1) comprising an elastic outer seal (16) and at least one elastic inner seal (17) respectively comprising a first and a second end annular parts (161, 171, 162, 172) parallel to one another and inserted between a respective end piece (9, 10) and the half- shells (7, 8), and two side rails (163, 173) connecting the end annular parts (161, 171, 162, 172) and which are at right angles thereto, the side rails (163, 173) being inserted between the half-shells (7, 8), the at least one inner seal (17) being arranged inside the outer seal (16) so that the at least one inner seal (17) and the outer seal (16) form at least two successive sealing barriers for the gases.
F01C 19/00 - Dispositions relatives à l'étanchéité dans les "machines" ou machines motrices à piston rotatif
F01C 21/10 - Organes externes coopérant avec des pistons rotatifsCarcasses d'enveloppes
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 27/00 - Systèmes d'étanchéité dans les pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles
Dry vacuum pump (1) in which the at least two pumping stages (1a-1f) each have an inlet (7) and an outlet (8) emerging from a respective half-shell (9, 10), the stator (2) also having a stator casing (15) surrounding the joined half-shells (9, 10), at least one groove (20) being provided in the stator casing (15) or in an external surface of the half-shells (9, 10) so as to form at least one transfer channel (21) by joining the stator casing (15) to the half-shells (9, 10), the at least one transfer channel (21) placing the outlet (8) of a pumping stage (1a-1e) in communication with the inlet (7) of the following pumping stage (1b-1f).
F01C 21/10 - Organes externes coopérant avec des pistons rotatifsCarcasses d'enveloppes
F04C 18/08 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
100.
VACUUM PUMP AND METHOD FOR INJECTING A PURGING GAS
Vacuum pump (1) comprising at least one injection channel (10) emerging through at least one injection orifice (15) configured to inject a purging gas onto a bearing face of the seat (5) in the open position of the check valve (4) and/or onto a mobile closure member (6) and/or onto at least one guiding element (13) secured to a stator part (12) de the vacuum pump (1) configured to guide a displacement of the mobile closure member (6) between the open and closed positions of the check valve (4).
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
