Abrégé

Techniques for improving acoustic wave devices are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. A first piezoelectric layer having a piezoelectrically excitable resonance mode may be provided. A second piezoelectric layer may also be provided. The first piezoelectric layer and the second piezoelectric layer may have respective thicknesses so that the acoustic wave device has a resonant frequency. A temperature compensating layer may be included. A substrate may be provided.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. An acoustic reflector electrode may include a first pair of top metal electrode layers electrically and acoustically coupled with the first and second layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable resonance mode at a resonant frequency of the BAW resonator. The acoustic reflector may include a patterned layer.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) mass loading of resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. An acoustic reflector electrode may include a first pair of top metal electrode layers electrically and acoustically coupled with the first and second layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable resonance mode at a resonant frequency of the BAW resonator. The acoustic reflector may include a mass load layer to facilitate a preselected frequency compensation in the resonant frequency.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving acoustic wave device structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. The first and second layers of piezoelectric material have respective thicknesses so that the acoustic wave device has a resonant frequency that is in a super high frequency band or an extremely high frequency band.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including fluidic systems, oscillators and systems that may include such devices. A bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a substrate and a first layer of piezoelectric material. The bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a top electrode. A sensing region may be acoustically coupled with the top electrode of the bulk acoustic wave (BAW) resonator.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving acoustic resonators and resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. A bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a plurality of piezoelectric layers including first and second piezoelectric layers acoustically coupled with one another and arranged over the substrate. The first and second piezoelectric layers may have respective piezoelectric axis orientations. The first and second piezoelectric layers may have respective thicknesses. An example system may comprise an oscillator circuit coupled with the bulk acoustic wave (BAW) resonator. For example, a radar system may comprise the oscillator circuit coupled with the bulk acoustic wave (BAW) resonator.

Classes IPC  ?

• H03H 9/15 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H01Q 21/00 - Systèmes ou réseaux d'antennes
• H01Q 9/04 - Antennes résonnantes
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving structures, acoustic wave resonators, layers, and devices are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. An acoustic wave device of this disclosure may comprise a substrate and a piezoelectric resonant volume. The piezoelectric resonant volume of the acoustic wave device may have a main resonant frequency. The acoustic wave device may comprise a first distributed Bragg acoustic reflector. The first distributed Bragg acoustic reflector may comprise a first active piezoelectric layer. The main resonant frequency of the Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator may be in a super high frequency (SHF) band. The main resonant frequency of the Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator may be in an extremely high frequency (EHF) band.

Classes IPC  ?

• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) reflector and resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. A Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator of this disclosure may comprise a substrate and an active piezoelectric resonant volume. The active piezoelectric resonant volume of the Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator may have a main resonant frequency. The active piezoelectric resonant volume of the Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator may comprise first and second piezoelectric layers having respective piezoelectric axis that substantially oppose one another. A first patterned layer may be disposed within the active piezoelectric volume. This may, but need not facilitate suppression of spurious modes. The main resonant frequency of the Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator may be in a super high frequency (SHF) band. The main resonant frequency of the Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator may be in an extremely high frequency (EHF) band.

Classes IPC  ?

• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03B 5/32 - Production d'oscillation au moyen d'un amplificateur comportant un circuit de réaction entre sa sortie et son entrée l'élément déterminant la fréquence étant un résonateur électromécanique un résonateur piézo-électrique
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques
• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/135 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux constitués par des matériaux magnétostrictifs

Abrégé

Techniques for improving acoustic resonators and resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. A bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a substrate. The bulk acoustic wave (BAW) may further comprise a plurality of piezoelectric layers including first, second, third and fourth piezoelectric layers acoustically coupled with one another and arranged over the substrate. The first, second, third and fourth piezoelectric layers may have respective piezoelectric axis orientations. The first, second, third and fourth piezoelectric layers may have respective thicknesses. Electromechanical coupling of the bulk acoustic wave (BAW) resonator may, but need not be limited.

Classes IPC  ?

• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques
• H03B 5/32 - Production d'oscillation au moyen d'un amplificateur comportant un circuit de réaction entre sa sortie et son entrée l'élément déterminant la fréquence étant un résonateur électromécanique un résonateur piézo-électrique

Produits et services

Wireless communication filters, filters for electrical signals, filters to control signal frequencies

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. An acoustic reflector electrode may include a first pair of top metal electrode layers electrically and acoustically coupled with the first and second layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable resonance mode at a resonant frequency of the BAW resonator. The acoustic reflector may include a patterned layer.

Classes IPC  ?

• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) mass loading of resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. An acoustic reflector electrode may include a first pair of top metal electrode layers electrically and acoustically coupled with the first and second layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable resonance mode at a resonant frequency of the BAW resonator. The acoustic reflector may include a mass load layer to facilitate a preselected frequency compensation in the resonant frequency.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. A first layer of piezoelectric material having a piezoelectrically excitable resonance mode may be provided. The first layer of piezoelectric material may have a thickness so that the bulk acoustic wave resonator has a resonant frequency. The first layer of piezoelectric material may include a first pair of sublayers of piezoelectric material, and a first layer of temperature compensating material. A substrate may be provided.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) reflector and resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. A bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a substrate and a first layer of piezoelectric material having a first piezoelectric axis orientation. The bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a multi-layer acoustic reflector, e.g., a multi-layer metal top acoustic reflector electrode, including a first pair of top metal electrode layers. The first pair of top metal electrode layers may be electrically and acoustically coupled with the first layer of piezoelectric material to excite a piezoelectrically excitable resonance mode at a resonant frequency of the BAW resonator.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. A top acoustic reflector including a first pair of top metal electrode layers may be electrically and acoustically coupled with the first layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable main resonance mode at a resonant frequency.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. A first layer of doped piezoelectric layer material and a second layer of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of doped piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. An acoustic reflector including a first pair of metal electrode layers may be electrically and acoustically coupled with the first layer of doped piezoelectric material and the second layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable main resonance mode at a resonant frequency.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) reflector and resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. A top acoustic reflector electrode may include a first pair of top metal electrode layers electrically and acoustically coupled with the first and second layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable resonance mode at a resonant frequency of the BAW resonator. The resonant frequency of the BAW resonator may be in a super high frequency band or an extremely high frequency band.

Classes IPC  ?

• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving acoustic wave device structures are disclosed, including filters and systems that may include such devices. An apparatus may comprise a first electrical filter including an acoustic wave device. The first electrical may having a first filter band in a Super High Frequency (SHF) band or an Extremely High Frequency (EHF) band to facilitate compliance with a regulatory requirement or a standards setting organization specification. For example, the first electrical filter may comprise a notch filter having a notch band overlapping at least a portion of an Earth Exploration Satellite Service (EESS) band to facilitate compliance with a regulatory requirement or the standards setting organization specification for the Earth Exploration Satellite Service (EESS) band.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques

Abrégé

Techniques for improving acoustic wave device structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. The first and second layers of piezoelectric material have respective thicknesses so that the acoustic wave device has a resonant frequency that is in a super high frequency band or an extremely high frequency band.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif

Abrégé

Techniques for improving acoustic wave device structures are disclosed, including filters and systems that may include such devices. An acoustic wave device may include a substrate. The acoustic wave device may include first and second layers of piezoelectric material acoustically coupled with one another, in which the first layer of piezoelectric material has a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material has a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. The acoustic wave device may include an interposer layer interposed between the first and second layers of piezoelectric material. The interposer may facilitate an enhancement of an electromechanical coupling coefficient of the acoustic wave device.

Classes IPC  ?

• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including fluidic systems, oscillators and systems that may include such devices. A bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a substrate and a first layer of piezoelectric material. The bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a top electrode. A sensing region may be acoustically coupled with the top electrode of the bulk acoustic wave (BAW) resonator.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/56 - Filtres à cristaux monolithiques
• H03H 3/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including fluidic systems, oscillators and systems that may include such devices. A bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a substrate and a first layer of piezoelectric material. The bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a top electrode. A sensing region may be acoustically coupled with the top electrode of the bulk acoustic wave (BAW) resonator.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/205 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant des résonateurs multiples
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. A first layer of doped piezoelectric layer material and a second layer of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of doped piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. An acoustic reflector including a first pair of metal electrode layers may be electrically and acoustically coupled with the first layer of doped piezoelectric material and the second layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable main resonance mode at a resonant frequency.

Classes IPC  ?

• B81B 7/02 - Systèmes à microstructure comportant des dispositifs électriques ou optiques distincts dont la fonction a une importance particulière, p.ex. systèmes micro-électromécaniques (SMEM, MEMS)
• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/15 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. A top acoustic reflector including a first pair of top metal electrode layers may be electrically and acoustically coupled with the first layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable main resonance mode at a resonant frequency.

Classes IPC  ?

• H01L 41/08 - Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
• H01L 41/22 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à l'assemblage, la fabrication ou au traitement de dispositifs piézo-électriques ou électrostrictifs, ou de leurs parties constitutives
• H01L 41/047 - Electrodes
• H01L 41/04 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS - Détails - Détails d'éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
• H01L 41/187 - Compositions céramiques

Abrégé

Techniques for improving acoustic wave device structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. The first and second layers of piezoelectric material have respective thicknesses so that the acoustic wave device has a resonant frequency that is in a super high frequency band or an extremely high frequency band.

Classes IPC  ?

• H01L 41/08 - Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
• H01L 41/22 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à l'assemblage, la fabrication ou au traitement de dispositifs piézo-électriques ou électrostrictifs, ou de leurs parties constitutives
• H01L 41/047 - Electrodes
• H01L 41/04 - DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS - Détails - Détails d'éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
• H01L 41/187 - Compositions céramiques

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. An acoustic reflector electrode may include a first pair of top metal electrode layers electrically and acoustically coupled with the first and second layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable resonance mode at a resonant frequency of the BAW resonator. The acoustic reflector may include a patterned layer.

Classes IPC  ?

• B81B 7/02 - Systèmes à microstructure comportant des dispositifs électriques ou optiques distincts dont la fonction a une importance particulière, p.ex. systèmes micro-électromécaniques (SMEM, MEMS)
• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/13 - Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
• H03H 9/15 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/54 - Filtres comprenant des résonateurs en matériau piézo-électrique ou électrostrictif

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) reflector and resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. A top acoustic reflector electrode may include a first pair of top metal electrode layers electrically and acoustically coupled with the first and second layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable resonance mode at a resonant frequency of the BAW resonator. The resonant frequency of the BAW resonator may be in a super high frequency band or an extremely high frequency band.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/013 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour obtenir une fréquence ou un coefficient de température désiré

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) mass loading of resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. First and second layers of piezoelectric material may be acoustically coupled with one another to have a piezoelectrically excitable resonance mode. The first layer of piezoelectric material may have a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material may have a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. An acoustic reflector electrode may include a first pair of top metal electrode layers electrically and acoustically coupled with the first and second layer of piezoelectric material to excite the piezoelectrically excitable resonance mode at a resonant frequency of the BAW resonator. The acoustic reflector may include a mass load layer to facilitate a preselected frequency compensation in the resonant frequency.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/013 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour obtenir une fréquence ou un coefficient de température désiré

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. A first layer of piezoelectric material having a piezoelectrically excitable resonance mode may be provided. The first layer of piezoelectric material may have a thickness so that the bulk acoustic wave resonator has a resonant frequency. The first layer of piezoelectric material may include a first pair of sublayers of piezoelectric material, and a first layer of temperature compensating material. A substrate may be provided.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/013 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour obtenir une fréquence ou un coefficient de température désiré

Abrégé

Techniques for improving acoustic wave device structures are disclosed, including filters and systems that may include such devices. An apparatus may comprise a first electrical filter including an acoustic wave device. The first electrical may having a first filter band in a Super High Frequency (SHF) band or an Extremely High Frequency (EHF) band to facilitate compliance with a regulatory requirement or a standards setting organization specification. For example, the first electrical filter may comprise a notch filter having a notch band overlapping at least a portion of an Earth Exploration Satellite Service (EESS) band to facilitate compliance with a regulatory requirement or the standards setting organization specification for the Earth Exploration Satellite Service (EESS) band.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 3/013 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques pour obtenir une fréquence ou un coefficient de température désiré

Abrégé

Techniques for improving acoustic wave device structures are disclosed, including filters and systems that may include such devices. An acoustic wave device may include a substrate. The acoustic wave device may include first and second layers of piezoelectric material acoustically coupled with one another, in which the first layer of piezoelectric material has a first piezoelectric axis orientation, and the second layer of piezoelectric material has a second piezoelectric axis orientation that substantially opposes the first piezoelectric axis orientation of the first layer of piezoelectric material. The acoustic wave device may include an interposer layer interposed between the first and second layers of piezoelectric material. The interposer may facilitate an enhancement of an electromechanical coupling coefficient of the acoustic wave device.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/05 - Supports
• H03H 9/58 - Filtres à cristaux multiples
• H03H 9/64 - Filtres utilisant des ondes acoustiques de surface

Abrégé

Techniques for improving Bulk Acoustic Wave (BAW) reflector and resonator structures are disclosed, including filters, oscillators and systems that may include such devices. A bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a substrate and a first layer of piezoelectric material having a first piezoelectric axis orientation. The bulk acoustic wave (BAW) resonator may comprise a multi-layer acoustic reflector, e.g., a multi-layer metal top acoustic reflector electrode, including a first pair of top metal electrode layers. The first pair of top metal electrode layers may be electrically and acoustically coupled with the first layer of piezoelectric material to excite a piezoelectrically excitable resonance mode at a resonant frequency of the BAW resonator.

Classes IPC  ?

• H03H 9/02 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails
• H03H 9/17 - Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques - Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif ayant un résonateur unique
• H03H 9/64 - Filtres utilisant des ondes acoustiques de surface