Embodiments relate to a one-piece sealing gasket for sealing in multiple planes in a vacuum pump. The sealing gasket comprises: a first sealing member (11a) defining a closed shape, a second sealing member (11b) defining a closed shape, a first longitudinal sealing member (12a) interconnecting the first and the second sealing member, and a second longitudinal sealing member (12b) interconnecting the first and the second sealing member. The first and second longitudinal sealing members each comprise a plurality of longitudinally staggered protrusions (13) extending in a first plane from the first and second longitudinal sealing members, the first plane being defined by the first and second longitudinal sealing members. When the first and second longitudinal sealing members are received within a respective groove of the vacuum pump, each of the plurality of protrusions is configured to engage a side wall of the respective groove such that the first and second longitudinal sealing members are deformed to adopt a tortuous path within the respective groove.
F16J 15/06 - Joints d'étanchéité entre surfaces immobiles entre elles avec garniture solide comprimée entre les surfaces à joindre
F04C 27/00 - Systèmes d'étanchéité dans les pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F16J 15/10 - Joints d'étanchéité entre surfaces immobiles entre elles avec garniture solide comprimée entre les surfaces à joindre par garniture non métallique
A vacuum pump comprising: a pumping mechanism (20) and a lubricated drive mechanism (10). The drive mechanism has a housing (11), a lubricant thrower (16) for distributing lubricant around the drive mechanism, and at least one partitioning means (18) for partitioning the drive mechanism into at least two regions. The lubricant thrower is located within a lubricant thrower region (32) and at least one inlet to a leakage path between the drive mechanism and the pumping mechanism is located in at least one other region (22). The at least one partitioning means is configured such that a flow path (36) is provided between the lubricant thrower region and the at least one other region, the flow path being configured to allow a flow of at least one of gas or liquid lubricant and to impede a flow of foam.
A fan for circulating gas for cooling a vacuum pump is disclosed. The fan comprises: an annular hub configured for mounting on a motor shaft of the vacuum pump; and a plurality of blades extending radially out from said hub. A radially outer portion of the blades is curved in a direction of rotation of the blades such that, in use, the blades direct the gas towards a direction perpendicular to the direction of rotation.
F04D 29/52 - Carters d'enveloppeTubulures pour le fluide énergétique pour pompes axiales
F04D 29/54 - Moyens de guidage du fluide, p. ex. diffuseurs
F04D 29/58 - RefroidissementChauffageRéduction du transfert de chaleur
F04D 29/70 - Grilles d'aspirationFiltresSéparateurs de poussièreNettoyage
H02K 9/06 - Dispositions de refroidissement ou de ventilation par l'air ambiant s'écoulant à travers la machine comportant des moyens pour établir la circulation d'un agent de refroidissement avec des ventilateurs ou des dispositifs d'entraînement mûs par l'arbre de la machine
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04D 17/16 - Pompes centrifuges pour déplacement sans compression notable
F04D 19/04 - Pompes multiétagées spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p. ex. pompes moléculaires
The present disclosure relates to a rotor assembly 102 for a turbomolecular pump 100. The rotor assembly 102 comprises a rotor shaft 116, a plurality of rotor blades 126 extending from the rotor shaft 116, and a balancing member 130 fitted within the rotor shaft 116 with an interference fit. The rotor shaft 116 extends along a longitudinal axis 122 about which the rotor assembly 102 is configured to rotate. The interference fit is such that the balancing member 130 is retained in compression by the rotor assembly 102. The present disclosure also relates to a turbomolecular pump 100 including the rotor assembly 102 and a method of assembling a rotor assembly 102 for the same.
A scroll pump seal for inhibiting fluid flow into and out of a pumping chamber defined between a first scroll and a second scroll of a scroll pump is disclosed. The first and second scroll are configured for relative orbital motion. The scroll pump seal comprises: an annular body adapted to be mounted about a shaft of the scroll pump and fixed relative to one of the first scroll and the second scroll; and a first sealing element comprising an inner annular protrusion and an outer annular protrusion extending from an axial end surface of the annular body, the inner annular protrusion and the outer annular protrusion being configured to contact the other one of the first scroll and the second scroll that the annular body is not fixed relative to. In this way, the scroll pump seal can provide an improved seal to inhibit fluid flow into and out of a pumping chamber. Accordingly, leakage can be reduced and pumping performance of the scroll pump improved.
F01C 19/00 - Dispositions relatives à l'étanchéité dans les "machines" ou machines motrices à piston rotatif
F04C 18/02 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement, c.-à-d. avec un mouvement de translation circulaire des organes coopérants, chaque organe possédant le même nombre de dents ou de parties équivalentes de prise
F04C 27/00 - Systèmes d'étanchéité dans les pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles
The present invention provides a method of ceasing rotation of a rotor of a vacuum pump. The method comprises the steps of rotating the rotor at an intermediate RPM, at which there is substantially no probability of the rotor clashing with the stator, for a dwell time sufficient for the vacuum pump to be at or below a threshold temperature, and subsequently coasting down the rotation of the rotor until cessation of rotation.
F04C 28/06 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles spécialement adaptées pour arrêter, pour démarrer, pour le ralenti ou pour un fonctionnement à charge nulle
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
7.
Bearing assembly for a pump and a pump comprising the bearing assembly
A bearing assembly for mounting a rotatable shaft of a pump and the pump are disclosed. The bearing assembly comprises: a bearing comprising an outer ring and an inner ring; a bearing support configured to support the outer ring of the bearing, the bearing support surrounding at least a portion of an outer surface of the outer ring extending across at least a portion of one end surface of the outer ring; and a shield extending from the bearing support towards the inner ring to thereby obscure at least a portion of an annular gap between the inner and outer ring.
F16C 19/06 - Paliers à contact de roulement pour mouvement de rotation exclusivement avec roulements à billes essentiellement du même calibre, en une ou plusieurs rangées circulaires pour charges radiales principalement avec une seule rangée de billes
F16C 33/78 - Dispositifs d'étanchéité pour roulements à billes ou à rouleaux avec diaphragme, disque ou bague, avec ou sans parties élastiques
F16C 33/80 - Dispositifs d'étanchéité pour roulements à billes ou à rouleaux à labyrinthes
F16C 35/077 - Leur fixation sur l'arbre ou dans la carcasse d'enveloppe avec interposition d'un organe entre la carcasse d'enveloppe et la bague extérieure de roulement
F04D 19/04 - Pompes multiétagées spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p. ex. pompes moléculaires
The present invention provides a stator assembly for a single pump stage of a vacuum pump. The stator assembly comprises a plurality of substantially axially aligned stator arrays. The stator assembly further comprises a first sector (14, 30) comprising a first quotient of the stator blade arrays, and a second sector (15, 31) comprising a second quotient of the stator blade arrays. The first sector has a first tolerance stack, and the second sector has a second tolerance stack. The stator assembly is configured such that the first tolerance stack and second tolerance stack are separate. The present invention also provides a vacuum pump comprising such a stator assembly, and a method of designing a stator assembly.
A bearing assembly for mounting a rotatable shaft of a pump and a pump having such a bearing assembly are disclosed. The bearing assembly comprises: a bearing comprising an inner ring and an outer ring; a shield extending between the inner and the outer ring and obscuring at least a portion of an annular gap between the inner and outer ring. The shield is configured to extend axially into the annular gap between the inner and the outer ring, an axial length of the shield extending between the inner and outer ring comprising more than 20% of an axial length of at least one of the inner or outer ring.
F16C 39/02 - Allégement de la charge appliquée aux paliers par moyens mécaniques
F16C 19/52 - Paliers à contact de roulement pour mouvement de rotation exclusivement avec dispositifs affectés par des conditions anormales ou indésirables
F16C 27/04 - Roulements à billes ou à rouleaux, p. ex. à organes de roulement élastiques
F16C 33/78 - Dispositifs d'étanchéité pour roulements à billes ou à rouleaux avec diaphragme, disque ou bague, avec ou sans parties élastiques
F04D 29/042 - Rotors pouvant se déplacer dans le sens axial
A bearing assembly for mounting a rotatable shaft of a pump and the pump are disclosed. The bearing assembly comprises: a bearing comprising an outer ring and an inner ring; a bearing support configured to support the outer ring of the bearing, the bearing support surrounding at least a portion of an outer surface of the outer ring extending across at least a portion of one end surface of the outer ring; and a shield extending from the bearing support towards the inner ring to thereby obscure at least a portion of an annular gap between the inner and outer ring.
F16C 33/78 - Dispositifs d'étanchéité pour roulements à billes ou à rouleaux avec diaphragme, disque ou bague, avec ou sans parties élastiques
F16C 35/077 - Leur fixation sur l'arbre ou dans la carcasse d'enveloppe avec interposition d'un organe entre la carcasse d'enveloppe et la bague extérieure de roulement
F16C 27/04 - Roulements à billes ou à rouleaux, p. ex. à organes de roulement élastiques
F04D 19/04 - Pompes multiétagées spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p. ex. pompes moléculaires
F04D 29/66 - Lutte contre la cavitation, les tourbillons, le bruit, les vibrations ou phénomènes analoguesÉquilibrage
F16C 19/52 - Paliers à contact de roulement pour mouvement de rotation exclusivement avec dispositifs affectés par des conditions anormales ou indésirables
F16C 39/02 - Allégement de la charge appliquée aux paliers par moyens mécaniques
The present invention provides a method of ceasing rotation of a rotor of a vacuum pump. The method comprises the steps of rotating the rotor at an intermediate RPM, at which there is substantially no probability of the rotor clashing with the stator, for a dwell time sufficient for the vacuum pump to be at or below a threshold temperature, and subsequently coasting down the rotation of the rotor until cessation of rotation.
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 28/06 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles spécialement adaptées pour arrêter, pour démarrer, pour le ralenti ou pour un fonctionnement à charge nulle
F04C 28/08 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles caractérisées par une variation de la vitesse de rotation
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
The present disclosure relates to a rotor assembly (102) for a turbomolecular pump (100). The rotor assembly (102) comprises a rotor shaft (116), a plurality of rotor blades (126) extending from the rotor shaft (116), and a balancing member (130) fitted within the rotor shaft (116) with an interference fit. The rotor shaft (116) extends along a longitudinal axis (122) about which the rotor assembly (102) is configured to rotate. The interference fit is such that the balancing member (130) is retained in compression by the rotor assembly (102). The present disclosure also relates to a turbomolecular pump (100) including the rotor assembly 102 and a method of assembling a rotor assembly (102) for the same.
Aspects of the present invention relate to method of controlling a supply of purge gas to reduce leakage past a dynamic seal (10). The dynamic seal (10) comprising at least a first sealing member (12-1) having opposing first and second sides (12-1A, 12-1B). A pressure differential (ΔP) is determined between a first operating pressure (P1) on the first side of the first sealing member (12-1) and a second operating pressure (P2) on the second side of the first sealing member (12-1). The supply of purge gas to the second side of the first sealing member (12-1) is controlled in dependence on the determined pressure differential (ΔP). Aspects of the invention relate to a controller (23) for controlling a supply of purge gas; a dynamic sealing system (1) for a vacuum system (2); and a vacuum system (2).
A vacuum pump exhaust coupling is disclosed. The exhaust coupling comprises: an exhaust conduit extending between an inlet aperture for receiving a fluid from the vacuum pump and an outlet aperture for exhausting the fluid from the exhaust conduit, the outlet aperture having a restrictor operable to change a cross- sectional area of the outlet aperture, wherein the restrictor comprises a removable annual insert placeable within the outlet aperture which is dimensioned to reduce the cross-sectional area of the outlet aperture and wherein the exhaust conduit comprises at least one flexible section. In this way, the noise emitted by the exhaust can be varied by varying the area of the outlet aperture.
F04B 39/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou de systèmes de pompage spécialement adaptés aux fluides compressibles, non prévus dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes
F01N 1/16 - Silencieux caractérisés par leur principe de fonctionnement par utilisation de parties mobiles
F04B 39/12 - Carcasses d'enveloppeCylindresCulassesConnexions des tubulures pour fluide
A multi-stage vacuum pump is disclosed. The multistage vacuum pump has a plurality of stages, comprising: at least one higher vacuum stage which is operable to receive fluid from a high vacuum device to be compressed; at least one lower vacuum stage which is operable to receive compressed fluid from the at least one higher vacuum stage; and an over-pressure device operable to selectively couple the at least one lower vacuum stage with the at least one higher vacuum stage. In this way, when required, the over-pressure device may be actuated to couple the lower vacuum stage with the higher vacuum stage in order to prevent incorrect operation of the multistage pump.
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 28/02 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles spécialement adaptées pour plusieurs pompes connectées en série ou en parallèle
F04C 28/26 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles caractérisées par l'utilisation des soupapes pour commander la pression ou le débit, p. ex. soupapes de décharge utilisant des canaux de dérivation
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
F04C 28/24 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles caractérisées par l'utilisation des soupapes pour commander la pression ou le débit, p. ex. soupapes de décharge
16.
PUMP CONFIGURED TO MITIGATE THE EFFECT OF ANY ROTOR AND STATOR CLASH AND ITS METHOD OF MANUFACTURE
A multiple stage roots-type vacuum pump and method of manufacturing a pump are disclosed. The pump comprises: a rotor rotatably mounted within a stator; the stator being formed of a material that is softer than a material of the rotor. At least a portion of the surface of the stator is treated to harden the surface. The rotor and stator are configured such that clashing will preferentially occur between the rotor and the at least a portion of the stator surface that has been treated. Said stator and said rotor are configured such that axial clearance tolerances are selected to be lowest between said rotor and a higher vacuum side of one of said vacuum stages of said stator and between said rotor and a lower vacuum side of another one of said vacuum stages of said stator, such that clashes preferentially occur between the rotor and these selected sides of these stages.
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F01C 21/10 - Organes externes coopérant avec des pistons rotatifsCarcasses d'enveloppes
F04C 28/02 - Commande, surveillance ou dispositions de sécurité pour les pompes ou les installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles spécialement adaptées pour plusieurs pompes connectées en série ou en parallèle
17.
SEALING BETWEEN A COVER PLATE AND THE PUMPING CHAMBER OF A MULTIPLE STAGE PUMP
A multiple stage pump, a gasket and a method of servicing the pump are disclosed. The pump comprises: a stator, having a stator bore for receiving a rotor, the stator comprising multiple inter-stage walls for forming multiple pumping stages within the stator and a rotor rotatably mounted within the stator bore. The pump further comprises a cover plate covering an upper surface of the stator, the surface including end surfaces of the inter-stage walls. The pump has a gasket mounted between the surface of the stator and the cover plate, the gasket being configured to inhibit leakage between the multiple stages by providing sealing between the inter-stage walls and the cover plate.
F01C 21/10 - Organes externes coopérant avec des pistons rotatifsCarcasses d'enveloppes
F04C 18/08 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés
F04C 23/00 - Combinaisons de plusieurs pompes, chacune étant du type à piston rotatif ou oscillant spécialement adaptées pour les fluides compressiblesInstallations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressiblesPompes multiétagées spécialement adaptées pour les fluides compressibles
F04C 27/00 - Systèmes d'étanchéité dans les pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles
A vacuum pump is disclosed. The pump comprises: an enclosure having a pumping chamber which houses a pair of inter-engaging lobed rotors, each carried by respective bearings located within bearing apertures defined by a head plate; and a secondary chamber separated from the pumping chamber by the head plate, wherein the at least one of the rotors defines a conduit configured for fluid communication between the secondary chamber and a discharge aperture in the pumping chamber through which fluid from within the secondary chamber is drawn into the pumping chamber, the discharge aperture being positioned at a location which is offset from a sealing region between the lobed rotors. In this way, the fluid within the secondary chamber can be pumped from the secondary chamber into the pumping chamber via the conduit and discharge aperture to equalize the pressure between the secondary chamber and the pumping chamber, which helps prevent drawing in contaminants into the pumping chamber from the secondary chamber whilst also ensuring that the presence of the discharge aperture does not compromise the sealing integrity of the rotors by providing a bypass leakage route between a higher pressure side of the pumping chamber and a lower pressure side of the pumping chamber. The discharge aperture is defined by a groove extending along said head plate and extends between bearing apertures.
F01C 21/10 - Organes externes coopérant avec des pistons rotatifsCarcasses d'enveloppes
F04C 18/12 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés d'un autre type qu'à axe interne
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
F04C 18/08 - Pompes à piston rotatif spécialement adaptées pour les fluides compressibles du type à engrènement extérieur, c.-à-d. avec un engagement des organes coopérants semblable à celui d'engrenages dentés
A vacuum chamber module and an apparatus are disclosed. The vacuum chamber module comprises: a pump wall defining a recess shaped to receive a multi-stage vacuum pump; a plurality of vacuum chambers, each vacuum chamber being configured to be pumped by a respective stage of the multi-stage vacuum pump, each vacuum chamber being defined at least partially by a portion of the pump wall, each vacuum chamber having an pumping port located at a different circumferential position on the pump wall for fluid communication with the respective stage of the multi-stage vacuum pump. In this way, a module is provided which shares components, with the multi-stage pump at least partially accommodated within space otherwise occupied by the vacuum chambers and with the vacuum chambers located around the pump wall, which provides for a simpler and more compact arrangement.
Aspects of the present invention relate to method of controlling a supply of purge gas to reduce leakage past a dynamic seal (10). The dynamic seal (10) comprising at least a first sealing member (12-1) having opposing first and second sides (12-1A, 12-1B). A pressure differential (ΔP) is determined between a first operating pressure (P1) on the first side of the first sealing member (12-1) and a second operating pressure (P2) on the second side of the first sealing member (12-1). The supply of purge gas to the second side of the first sealing member (12-1) is controlled in dependence on the determined pressure differential (ΔP). Aspects of the invention relate to a controller (23) for controlling a supply of purge gas; a dynamic sealing system (1) for a vacuum system (2); and a vacuum system (2).
The present invention provides a method for cleaning a component for use in an ultra-high vacuum. The method may comprise the steps of placing the component to be cleaned in a vacuum furnace chamber; plasma cleaning the component at a temperature of greater than about 80° C.; and evacuating the chamber to a pressure of less than about 10E-5 mbar. Apparatus for performing such methods and kits comprising said components are also provided.
B08B 7/00 - Nettoyage par des procédés non prévus dans une seule autre sous-classe ou un seul groupe de la présente sous-classe
B08B 5/00 - Nettoyage par des procédés impliquant l'utilisation d'un courant d'air ou de gaz
F04C 25/02 - Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles pour produire un vide élevé
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
The present invention provides a method for cleaning a component for use in an ultra-high vacuum. The method may comprise the steps of placing the component to be cleaned in a vacuum furnace chamber; plasma cleaning the component at a temperature of greater than about 80oC; and evacuating the chamber to a pressure of less than about 10E-5 mbar. Apparatus for performing such methods and kits comprising said components are also provided.
H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
C23C 16/44 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement
F04C 29/00 - Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou d'installations de pompage spécialement adaptées pour les fluides compressibles non couverts dans les groupes
brevets
