The method of loading the semiconductor device having the fine bumps into the insert according to an embodiment of the disclosure comprises: by a first vision module, capturing a bottom image of the semiconductor device picked up by a picker; by a second vision module, capturing a top image of the insert; and by the picker, loading the semiconductor device into the insert, based on the bottom image and the top image.
A test tray for testing a semiconductor product according to an embodiment of the disclosure may include a tray and an insert comprising an accommodating portion configured to accommodate the semiconductor product and inserted into the tray. The accommodating portion may have a first posture at a first angle to the tray to accommodate the semiconductor product, and a second posture at a second angle to the tray to test the semiconductor product.
An automated mounting test system for testing a semiconductor product in a standing state according to one embodiment of the present disclosure includes a test tray including a plurality of inserts and having a tray groove into which each insert is inserted, a handler configured to load a semiconductor product to be tested into an empty insert and collect the tested semiconductor product from the insert, a tester including a plurality of socket modules, each facing one of the inserts, in a state where the test tray is seated, and a rack master configured to transport the test tray between the handler and the tester.
Disclosed is an insert module for test tray, including: a pitch adjuster configured to seat the electronic device thereon, and including a first side electrically connected to connection pins of the electronic device, and a second side provided with electrical contact means at a second pitch wider than a first pitch of the connection pins; and a holder configured to hold the seated electronic device. According to the disclosure, the insert module for test tray and the test tray including the same are capable of the accurate contact corresponding to the fine pitch of the electronic device, and maintain the precise contact during the test, thereby improving the accuracy of the test.
The present disclosure relates to a handler control method capable of performing transfer inside a test handler in a state in which an electronic component having fine-pitch contact terminals is in contact with the test handler. Rapid and efficient testing for an electronic component having fine contact terminals can be secured according to the present disclosure. In addition, damage to an electronic component die before packaging is prevented, and thus stability is secured.
Disclosed is a test tray to which a semiconductor device is mounted according to an embodiment of the disclosure, the test tray including: a plurality of inserts to which the semiconductor devices are mounted; and a frame which supports the inserts in arrangement respectively corresponding to sockets of a test apparatus and has a length in a first axis and a width in a second axis.
Disclosed is a test for a semiconductor device, including: a test board that has a preparation surface on which a test tray with the semiconductor device mounted to an insert is prepared, and performs a test on the semiconductor device mounted to the insert; and a pressing unit that is positioned to face the preparation surface and presses the insert of the test tray prepared on the preparation surface toward the test board.
A semiconductor device transport unit according to an embodiment of the present disclosure may include a transport shaft disposed in an internal space formed by a chamber and extended along a transport direction of a semiconductor device, a moving holder mounted on the transport shaft with an allowable spacing and transporting a carrier having the semiconductor device loaded thereinto along the transport direction, and a temperature adjuster that adjusts a temperature of at least one of the moving holder and the transport shaft so that the moving holder is prevented from being fixed to the transport shaft in a temperature atmosphere.
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p. ex. pour contrôler, pour observerDispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
9.
System for testing performance of device in temperature load test
A system for testing the performance of a device includes: a tester including a plurality of sockets capable of making electrical contact with a plurality of devices inserted therein, that tests the performance of the devices; a pusher including a plurality of push bodies for pushing the devices in a direction of the sockets, by which the plurality of devices are inserted into the plurality of sockets; a first temperature regulator which maintains the temperature of a first region within a predetermined temperature range during the test on the plurality of devices, the first region being a space between some of the plurality of sockets and the pusher; and a second temperature regulator which maintains the temperature of a second region within a predetermined temperature range during the test on the plurality of devices, the second region being a space between some other sockets and the pusher.
A system for a memory module mounting test according to an embodiment of the present disclosure includes: a test tray on which a memory module array in which a plurality of memory modules are positioned in a predetermined pattern is loaded; a tester in which the test tray is able to be seated and a socket corresponding to the predetermined pattern is formed to perform a test on the memory module array; a transfer for transferring the test tray from an initial position to a seating position where the test tray is seated in the tester; and a mounter for mounting the memory module array transferred to the seating position in the socket.
A test board for semiconductor devices is provided which contains a plurality of semiconductor devices and is loaded into a testing apparatus. The test board includes: a receiving part formed with a plurality of semiconductor device receiving grooves that respectively receive a plurality of semiconductor devices; and a lid part removably attached to the receiving part, wherein the lid part includes a heat transfer portion having a first heat transfer end portion, which is exposed on the outside of the lid part while the lid part is attached to the receiving part, and a second heat transfer end portion, which extends from the first heat transfer end portion and is exposed to a temperature regulating region defined to include at least one of the plurality of semiconductor device receiving grooves.
A memory module system level tester device provides contact between the motherboard and the memory modules by using a test tray, thereby minimizing a time required for attaching and detaching the memory modules and omitting an additional configuration for attaching and detaching the memory modules. Accordingly, space limitations can be minimized, and as a result, test units can be arranged in two or more stages in the vertical direction to configure a compact layout to thereby increase space efficiency.
The present disclosure related to a stacker of an electric device test hander comprising an upper stacker and a lower stacker. Stacker modules provided in the upper stacker can be opened and closed by being moved horizontally from the frame, and each of stacker modules can give and receive a plurality of user trays to and from the lower stacker in closed position.
According to present disclosure when goods are being transferred to and from the outside, the user trays can move freely between the loading parts disposed on the upper and lower sides. Thus, the dependence on the visitation cycle of an external robot and the replacement amounts of the user trays can be lowered to improve ease of operation.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
14.
Electronic component test handler having hand teaching function and hand teaching method using same
The present invention relates to a test handler having a hand teaching function and a hand teaching method using same, the test handler comprising: a plurality of sites where devices are picked up or placed; reference points disposed adjacent to the plurality of sites, respectively; and a hand configured to transfer a device and including a sensor unit configured to calculate the position of a reference point in a non-contact manner. By the electronic component test handler having a hand teaching function and the hand teaching method using same, according to the present invention, an error which may occur due to repeated use or a position error required to be corrected according to exchange of kits can be automatically corrected using a reference groove, so that a separate work for position correction is not required and thus convenience and efficiency can be improved.
G01B 11/06 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur pour mesurer l'épaisseur
15.
Electronic component test handler having flying scan function
The present invention relates to an electronic component test handler comprising: a hand configured to pick up and transfer a plurality of devices; and a scanner configured to scan a region of a movement path of a device picked up by the hand at a predetermined angle. The electronic component test handler having a flying scan function according to the present invention is capable of scanning during a transfer process without a change in position after picking up a device, and thus, operations and time required for the scanning may be reduced, thereby improving efficiency.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
G06K 7/14 - Méthodes ou dispositions pour la lecture de supports d'enregistrement par radiation électromagnétique, p. ex. lecture optiqueMéthodes ou dispositions pour la lecture de supports d'enregistrement par radiation corpusculaire utilisant la lumière sans sélection des longueurs d'onde, p. ex. lecture de la lumière blanche réfléchie
A test tray, according to the present invention, for supporting at least one semiconductor module in order to test the semiconductor module, comprises: a tray body in which a support groove for supporting the semiconductor module is formed; and an insert which is installed in the support groove and by which the semiconductor module inserted into the support groove is fixed to the support groove. The insert includes: an insert body installed in the support groove and having an insertion groove into which the semiconductor module is inserted; a support clip extending downward from the insertion groove and supporting the lower end of the semiconductor module; a pressing clip accommodated in a side wall of the insertion body; and an elastic body which is installed inside the insert body and exerts an elastic force toward the insertion groove so that the pressing clip presses the semiconductor module. Thus, the present invention has the effect of allowing a significant reduction in equipment investment costs.
G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
The present invention relates to a memory mounting test device comprising: a handler configured to pick up and place memory modules; a test cell which comprises a motherboard provided with sockets configured to have the memory modules electrically connected thereto, and in which a plurality of sockets are configured to be arranged toward one side; a test tray configured so that a plurality of memory modules can be arranged and loaded in correspondence with the arrangement of the sockets; a transfer unit configured to transfer the test tray; and a press for pressing the plurality of memory modules to electrically contact the plurality of sockets, respectively, while being loaded on the test tray. A memory module mounting tester device according to the present invention makes the motherboard and the memory modules be in contact with each other by using the test tray, thereby minimizing a time required for attaching and detaching the memory modules and omitting an additional configuration for attaching and detaching the memory modules. Accordingly, space limitations can be minimized, and as a result, test units can be arranged in two or more stages in the vertical direction to configure a compact layout to thereby increase space efficiency.
The present invention relates to an electronic component test handler comprising: a hand configured to pick up and transfer a plurality of devices; and a scanner configured to scan a region of a movement path of a device picked up by the hand at a predetermined angle. The electronic component test handler having a flying scan function according to the present invention is capable of scanning during a transfer process without a change in position after picking up a device, and thus, operations and time required for the scanning may be reduced, thereby improving efficiency.
G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
G06K 7/14 - Méthodes ou dispositions pour la lecture de supports d'enregistrement par radiation électromagnétique, p. ex. lecture optiqueMéthodes ou dispositions pour la lecture de supports d'enregistrement par radiation corpusculaire utilisant la lumière sans sélection des longueurs d'onde, p. ex. lecture de la lumière blanche réfléchie
19.
STACKER OF ELECTRONIC COMPONENT TEST HANDLER AND ELECTRONIC COMPONENT TEST HANDLER COMPRISING SAME
The present invention relates to a stacker of an electronic component test handler, and an electronic component test handler comprising same, the stacker comprising: a frame; a plurality of stacker modules configured to be opened and closed by moving horizontally from the frame; a first loading unit provided in each of the plurality of stacker modules and configured to enable a plurality of user trays to be stacked and loaded; a buffer stacker provided on the upper side of the plurality of stacker modules; and a plurality of second loading units provided in the buffer stacker, configured to exchange a user tray with the first loading unit in the vertical direction, and configured to enable distribution of the user trays inside the buffer stacker even when the stacker module is opened. The stacker of an electronic component test handler according to the present invention and the electronic component test handler including same can continuously supply user trays even while exchanging the user trays with the outside, thereby preventing the test handler from being stopped due to exhaustion of the user trays so as to be stably operated.
G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
20.
ELECTRONIC COMPONENT TEST HANDLER HAVING HAND TEACHING FUNCTION AND HAND TEACHING METHOD USING SAME
The present invention relates to a test handler having a hand teaching function and a hand teaching method using same, the test handler comprising: a plurality of sites where devices are picked up or placed; reference points disposed adjacent to the plurality of sites, respectively; and a hand configured to transfer a device and including a sensor unit configured to calculate the position of a reference point in a non-contact manner. By the electronic component test handler having a hand teaching function and the hand teaching method using same, according to the present invention, an error which may occur due to repeated use or a position error required to be corrected according to exchange of kits can be automatically corrected using a reference groove, so that a separate work for position correction is not required and thus convenience and efficiency can be improved.
G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
An electronic component test handler according to an embodiment of the present invention comprises: a push plate having at least one first through-hole formed therein through which a test gas is supplied; a support block which is elastically supported on one surface of the push plate and has a second through-hole formed therein that corresponds to the first through-hole; and a matching block which is supported on the support block so as to be minutely movable, and has a discharge flow path formed therein that is provided corresponding to the second through-hole to allow the test gas to be discharged to the outside.
G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
A test tray transfer apparatus according to an embodiment of the present invention comprises: a fixed frame; a transfer frame provided to be movable in the transverse direction to the fixed frame; a transfer driving unit for transferring the transfer frame in the transverse direction; a push-pull frame provided to be movable forward and backward relative to the transfer frame; a push-pull driving unit for moving the push-pull frame forward or backward; and a support arm which is inserted into a test tray to support the test tray when the push-pull driving unit moves the push-pull frame forward, is transferred in the transverse direction along with the push-pull frame and the transfer frame when the transfer driving unit transfers the transfer frame in the transverse direction, and is moved away from the test tray when the push-pull driving unit moves the push-pull frame backward.
G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
The present invention relates to an electronic component test handler comprising: a test tray provided with a plurality of inserts configured to selectively secure a device; an insert opening module configured to open the plurality of inserts disposed in a partition region of the test tray; a hand configured to pick up a device from the plurality of inserts and sort the same; and a control unit for controlling the insert opening module and the hand so as to open the plurality of inserts disposed in different partition regions when the classification of the device has been completed in the partition region. When a device is classified, an electronic component test handler according to the present invention divides a flat region in a test tray into a partition region, transfers the test tray to each partition region, and performs classification, thereby minimizing the waiting time for classification of a hand. Accordingly, the efficiency of classification can be maximized.
G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
24.
ELECTRONIC COMPONENT TEST HANDLER HAVING TEST TRAY VISION INSPECTION FUNCTION
The present invention may provide an electronic component test handler comprising: an insert opening unit configured to be capable of opening an insert of a test tray; a reverser configured to be capable of receiving a test tray, loaded with a device, from the insert opening unit, and switching the conveyance direction of the test tray; and a vision inspection part configured to be capable of capturing an image of the test tray which is positioned in an inspection area along a conveyance path from the reverser to a buffer chamber. The electronic component test handler according to the present invention has the effect of enabling vision inspection while maximizing space efficiency.
G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux
G01R 31/308 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
G01N 21/88 - Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
G01N 21/95 - Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
25.
STACKER OF ELECTRONIC COMPONENT TEST HANDLER, AND ELECTRONIC COMPONENT TEST HANDLER INCLUDING SAME
The present invention comprises: a frame; an upper stacker provided with a plurality of stacker modules which can be opened and closed by being moved horizontally from the frame; a lower stacker provided below the upper stacker and provided with a plurality of first loading parts configured to enable the loading of a plurality of user trays; and second loading parts configured such that each of the stacker modules can have a plurality of the user trays loaded thereon. The stacker modules include the second loading parts which, in a closed position, can give and receive the plurality of user trays to and from the first loading parts respectively disposed below the second loading parts. Also, when goods are being transferred to and from the outside, the user trays can move freely between the loading parts disposed on the upper and lower sides. Thus, the dependence on the visitation cycle of an external robot and the replacement amounts of the user trays can be lowered to improve ease of operation.
G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
brevets
