Abrégé

A three-dimensional flash memory that improves leakage current is disclosed. A three-dimensional flash memory according to one embodiment comprises: word lines formed to extend in a horizontal direction on a substrate and stacked while being spaced apart from each other in a vertical direction; vertical channel structures formed to extend in the vertical direction on the substrate through the word lines, wherein each of the vertical channel structures includes a vertical channel pattern formed to extend in the vertical direction and a data storage pattern formed covering an outer wall of the vertical channel pattern, and the data storage pattern and the vertical channel pattern constitute memory cells corresponding to the word lines; a drain region located at the top of each of the vertical channel structures; and a source region located at the bottom of the vertical channel structures, wherein the drain region and the source region are formed of different materials.

Classes IPC  ?

• H10B 41/30 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la région noyau de mémoire
• H10B 43/30 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région noyau de mémoire
• H10B 41/27 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U
• H10B 43/27 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U
• H10B 41/10 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la configuration vue du dessus
• H10B 43/10 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la configuration vue du dessus

Abrégé

A three-dimensional flash memory for improving cell current distribution is disclosed. A three-dimensional flash memory according to one embodiment comprises: word lines which are formed to extend in a horizontal direction on a substrate and are stacked while being spaced apart from each other in a vertical direction; and vertical channel structures formed to extend in the vertical direction on the substrate while penetrating the word lines, wherein each of the vertical channel structures comprises a composite vertical channel pattern formed to extend in the vertical direction and a data storage pattern formed to cover an outer wall of the composite vertical channel pattern, and the data storage pattern and the composite vertical channel pattern constitute memory cells corresponding to the word lines, wherein the complex vertical channel pattern is characterized by comprising a first vertical channel pattern that contacts the data storage pattern and is formed of a polycrystalline material, and a second vertical channel pattern that contacts an inner wall of the first vertical channel pattern and is formed of a material that does not have grain boundary characteristics.

Classes IPC  ?

• H10B 43/35 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p. ex. NON-ET
• H10B 43/10 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la configuration vue du dessus
• H10B 43/27 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U
• H01L 29/792 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à isolant de grille à emmagasinage de charges, p.ex. transistor de mémoire MNOS
• H10B 41/30 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la région noyau de mémoire
• H10B 43/30 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région noyau de mémoire
• H10B 41/27 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U

Abrégé

Disclosed is a three-dimensional flash memory having a structure that improves cell current. The three-dimensional flash memory, according to one embodiment, is characterized by having a structure including a composite vertical channel pattern, or a structure in which an N-type dopant is diffused in a vertical channel pattern, so as to improve cell current.

Classes IPC  ?

• H10B 43/27 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U
• H10B 41/27 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U
• H10B 43/50 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région limite entre la région noyau et la région de circuit périphérique
• H10B 41/50 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la région limite entre la région noyau et la région de circuit périphérique
• G11C 16/08 - Circuits d'adressageDécodeursCircuits de commande de lignes de mots
• G11C 16/14 - Circuits pour effacer électriquement, p. ex. circuits de commutation de la tension d'effacement
• H10B 41/30 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la région noyau de mémoire
• H10B 43/30 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région noyau de mémoire

Abrégé

Disclosed is a three-dimensional memory having a structure including separate write wires and read wires. According to an embodiment, the three-dimensional memory may comprise: gate electrodes that are formed on a substrate to extend in the horizontal direction and are stacked and spaced apart from each other in the vertical direction; vertical channel structures that pass through the gate electrodes and extend in the vertical direction, wherein each of the vertical channel structures includes a data storage pattern, a vertical channel pattern, and a back gate; write wires for a write operation of the three-dimensional memory, each of which is arranged on top of each of the vertical channel structures and connected to the vertical channel patterns; and read wires for a read operation of the three-dimensional memory, each of which is arranged below each of the vertical channel structures and connected to the back gates.

Classes IPC  ?

• H10B 41/27 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U
• H10B 41/50 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la région limite entre la région noyau et la région de circuit périphérique
• G11C 16/26 - Circuits de détection ou de lectureCircuits de sortie de données
• G11C 16/10 - Circuits de programmation ou d'entrée de données

Abrégé

Disclosed is a three-dimensional memory having a dual junction structure. According to an embodiment, the three-dimensional memory may comprise: gate electrodes spaced apart and stacked in a vertical direction while extending in the horizontal direction on a substrate; and vertical channel structures passing through the gate electrodes and extending in the vertical direction, wherein each of the vertical channel structures comprises a vertical channel pattern and a data storage pattern and has, on the upper end thereof, a dual junction of a double structure doped with different types of impurities from each other.

Classes IPC  ?

• H10B 43/27 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U
• H10B 43/35 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p. ex. NON-ET
• G11C 16/30 - Circuits d'alimentation
• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p. ex. FAMOS

Abrégé

Disclosed is a three 3D flash memory having an improved structure and a method for manufacturing the same.

Classes IPC  ?

• H10B 43/27 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U

Abrégé

Disclosed are a three-dimensional flash memory aimed at integration, and a method for manufacturing same. According to an embodiment, a three-dimensional flash memory comprises: multiple memory cell strings formed on a substrate so as to extend in a direction, each of the multiple memory cell strings comprising a channel layer and an electric charge storage layer surrounding the channel layer; multiple word lines connected perpendicularly to the multiple memory cell strings; and at least one intermediate wire layer formed at an intermediate point with regard to the direction in which the multiple memory cell strings are formed to extend, the at least one intermediate wire layer being selectively available as a source electrode or as a drain electrode with regard to each of the multiple memory cell strings. At least one of the multiple memory cell strings is formed in a free area secured among the multiple word lines as a result of inclusion of the at least one intermediate wire layer in the three-dimensional flash memory.

Classes IPC  ?

• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p. ex. FAMOS
• H01L 27/11556 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec grilles flottantes caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. des canaux en forme de U
• H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U

Abrégé

Disclosed is a three-dimensional flash memory having a structure which includes an air gap, a method for manufacturing same, and a method for improving vertical hole defects in a three-dimensional flash memory. In order to form the air gap, a step for preparing a hole formed to extend in the vertical direction inside a channel layer, and a step for forming the air gap inside the channel layer by forming a cap that seals the top of the hole, are included. In addition, in order to improve vertical hole defects, a sacrificial film is deposited on an inner wall of at least one vertical hole so as to be filled by a spike generated on the inner wall of the at least one vertical hole, and while maintaining the sacrificial layer that is deposited on the spike, the sacrificial film that is deposited on the inner wall of the at least one vertical hole, excluding the spike, is removed.

Classes IPC  ?

• H01L 27/1157 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
• G11C 16/14 - Circuits pour effacer électriquement, p. ex. circuits de commutation de la tension d'effacement
• G11C 16/08 - Circuits d'adressageDécodeursCircuits de commande de lignes de mots
• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p. ex. FAMOS
• H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
• H01L 27/1159 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par la région noyau de mémoire
• H01L 27/11597 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur

Abrégé

Disclosed is a three-dimensional flash memory comprising a back gate. According to an embodiment, a three-dimensional flash memory comprises: multiple word lines extending in a horizontal direction on a substrate and consecutively stacked on one another; and multiple strings extending to pass through the multiple word lines in one direction on the substrate, wherein the multiple strings each comprise a channel layer extending in the one direction and a charge storage layer extending in the one direction to surround the channel layer, and the channel layer and the charge storage layer constitute multiple memory cells corresponding to the multiple word lines. The channel layer comprises; a back gate extending in the one direction while at least a part thereof is surrounded by the channel layer; and an insulation film extending in the one direction between the back gate and the channel layer.

Classes IPC  ?

• H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
• H01L 27/11556 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec grilles flottantes caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. des canaux en forme de U
• H01L 29/788 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à grille flottante
• H01L 29/792 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à isolant de grille à emmagasinage de charges, p.ex. transistor de mémoire MNOS
• H01L 27/11568 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par la région noyau de mémoire
• H01L 27/11521 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec grilles flottantes caractérisées par la région noyau de mémoire
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter

Abrégé

Disclosed is a three-dimensional flash memory including a back gate, which includes word lines extended and formed in a horizontal direction on a substrate so as to be sequentially stacked, and strings penetrating the word lines and extended and formed in one direction on the substrate. Each of the strings includes a channel layer extended and formed in the one direction, and a charge storage layer extended and formed in the one direction to surround the channel layer, the channel layer and the charge storage layer constitute memory cells corresponding to the word lines, and the channel layer includes a back gate extended and formed in the one direction, with at least a portion of the back gate surrounded by the channel layer, and an insulating layer extended and formed in one direction between the back gate and the channel layer.

Classes IPC  ?

• G11C 11/34 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliersÉléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs
• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p. ex. FAMOS
• G11C 16/08 - Circuits d'adressageDécodeursCircuits de commande de lignes de mots
• G11C 16/16 - Circuits pour effacer électriquement, p. ex. circuits de commutation de la tension d'effacement pour effacer des blocs, p. ex. des réseaux, des mots, des groupes
• G11C 16/24 - Circuits de commande de lignes de bits
• G11C 16/26 - Circuits de détection ou de lectureCircuits de sortie de données
• G11C 16/30 - Circuits d'alimentation
• H10B 41/10 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la configuration vue du dessus
• H10B 41/27 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U
• H10B 41/35 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la région noyau de mémoire avec un transistor de sélection de cellules, p. ex. NON-ET
• H10B 41/41 - Dispositifs de mémoire morte reprogrammable électriquement [EEPROM] comprenant des grilles flottantes caractérisés par la région de circuit périphérique de régions de mémoire comprenant un transistor de sélection de cellules, p. ex. NON-ET
• H10B 43/10 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la configuration vue du dessus
• H10B 43/27 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p. ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p. ex. des canaux en forme de U
• H10B 43/35 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p. ex. NON-ET
• H10B 43/40 - Dispositifs EEPROM avec des isolants de grille à piégeage de charge caractérisés par la région de circuit périphérique

Abrégé

Disclosed are a ferroelectric material-based two-dimensional (2D) flash memory and a semiconductor film forming system for manufacturing same. The ferroelectric material-based 2D flash memory comprises: a substrate including a channel region extending in a horizontal direction thereof; a ferroelectric layer formed of a ferroelectric material on the upper portion of the channel region and extending in the horizontal direction to implement a plurality of memory cells in regions in contact with the channel region and a plurality of gate metal layers so as to be used as a data storing place; and the plurality of gate metal layers arranged on the ferroelectric layer. The semiconductor film forming system comprises: a film forming chamber for forming a ferroelectric thin film on a substrate; and a rapid cooling chamber for rapidly cooling the ferroelectric thin film while being connected to an output terminal of the film forming chamber.

Classes IPC  ?

• H01L 27/1159 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par la région noyau de mémoire
• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p. ex. FAMOS
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• C23C 16/56 - Post-traitement
• C23C 14/58 - Post-traitement

Abrégé

The present invention relates to a three-dimensional flash memory having an improved structure. The three-dimensional flash memory comprises: a substrate; at least one string extending in one direction on the substrate; at least two intermediate wires disposed at an intermediate point in a direction in which the at least one string is extended, and connected to the at least one string; at least one selection line vertically connected to the top or bottom of the string; a plurality of word lines positioned above or below the at least one selection line and vertically connected to the string; at least one plug wiring formed on top of the at least one string; and at least one bit line connected to the at least one string through the at least one plug wiring.

Classes IPC  ?

• H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
• H01L 27/1157 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
• H01L 27/1159 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par la région noyau de mémoire
• H01L 27/11597 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 27/11565 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par la configuration vue du dessus
• H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion

Abrégé

Disclosed are a three-dimensional flash memory aimed at integration, and a method for manufacturing same. According to an embodiment, a three-dimensional flash memory comprises: multiple memory cell strings formed on a substrate so as to extend in a direction, each of the multiple memory cell strings comprising a channel layer and an electric charge storage layer surrounding the channel layer; multiple word lines connected perpendicularly to the multiple memory cell strings; and at least one intermediate wire layer formed at an intermediate point with regard to the direction in which the multiple memory cell strings are formed to extend, the at least one intermediate wire layer being selectively available as a source electrode or as a drain electrode with regard to each of the multiple memory cell strings. At least one of the multiple memory cell strings is formed in a free area secured among the multiple word lines as a result of inclusion of the at least one intermediate wire layer in the three-dimensional flash memory.

Classes IPC  ?

• H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
• H01L 27/1157 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par la région noyau de mémoire avec transistors de sélection de cellules, p.ex. NON-ET
• H01L 29/792 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à isolant de grille à emmagasinage de charges, p.ex. transistor de mémoire MNOS
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes