Abrégé

Doped silicon particles, including powder suitable for plasma spraying semiconductor devices, is formed by liquid doping applied to larger particles, which are then milled to a smaller size. Doped or undoped silicon may be milled by a roller mill including silicon rollers (12, 14) and advantageously having feed (70) and collection (92) systems formed of silicon and operated in a nitrogen ambient (100). A two-stage system includes sieving the rolled product for further size reduction in a jet mill.

Classes IPC  ?

• H01L 31/18 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
• H01L 31/042 - Modules PV ou matrices de cellules PV individuelles
• H01J 7/24 - Dispositifs de réfrigérationDispositifs de chauffageMoyens de circulation de gaz ou vapeurs à l'intérieur de l'espace de décharge

Abrégé

A hybrid nozzle (50) for use in a plasma spray gun (8), especially for plasma spraying silicon to form semiconductor devices such as solar cell. The outlet of the gun includes a two-piece annular electrode against which the plasma is ignited and through which the plasma plume exits the gun together with entrained silicon. In one embodiment, the upstream part (16) is composed of graphite to allow ignition of the plasma and the downstream part (52) is composed of pure silicon. In another aspect, the silicon feedstock is injected into the plasma plume through ports (56) formed through the silicon part.

Classes IPC  ?

• B05B 7/22 - Appareillages de pulvérisation pour débiter des liquides ou d'autres matériaux fluides provenant de plusieurs sources, p. ex. un liquide et de l'air, une poudre et un gaz comportant des moyens pour chauffer la matière à projeter par voie électrique, p. ex. par un arc
• B05B 5/06 - Pulvérisation électrostatiqueDispositifs de pulvérisation comportant des moyens pour charger électriquement le pulvérisatPulvérisation de liquides ou d'autres matériaux fluides par voies électriques utilisant un arc électrique