A strobe head apparatus and associated components and methods. The strobe head apparatus includes a head connector, a flashlamp housing assembly, a flow tube assembly, and a flashlamp cartridge assembly. The flashlamp cartridge assembly includes a distal portion configured to be at least partially received in the flow tube assembly and a proximal portion configured to engage the head connector in electrical compliance. The flashlamp cartridge assembly includes a lamp and a plurality of electrical pathways extending along the lamp. The proximal portion includes a plurality of prongs. The head connector includes an electrical interconnect assembly configured to secure the prongs in electrical engagement and includes a fluid interconnect assembly configured to provide a supply of cooling fluid to the flashlamp housing assembly and the flow tube assembly.
H01J 61/52 - Dispositions de réfrigérationDispositions de chauffageMoyens pour faire circuler un gaz ou une vapeur à l'intérieur de l'espace de décharge
H01J 61/80 - Lampes conçues pour un fonctionnement exclusivement intermittent, p. ex. lampe-éclair
H05B 41/30 - Circuits dans lesquels la lampe est alimentée par impulsions, p. ex. lampe éclair
Temporary electronics carrier structures and associated systems and methods. A carrier structure for temporarily carrying an electronics structure to be debonded from the carrier structure. The carrier structure includes a roughened surface that has an average surface roughness between about 50nm and about 5 microns. A temporarily bonded stack includes the carrier structure, an electronics structure, and a temporary adhesive located between the carrier structure and the electronics structure. A system for debonding the temporarily bonded stack includes a light source configured to emit light into the carrier structure toward a roughened face thereof.
Apparatus and associated methods for thermally processing sets of items are disclosed. An illuminator illuminates a first set of items to thermally process the first set of items. To permit the illuminator to illuminate the full scope of the first set of items, the illuminator is moved relative to the first set of items and/or the first set of items is moved relative to the illuminator. Heat from an illuminated first item is transferred to a second item not yet illuminated. To account for the preheating of the second item, illumination of the second item is adjusted relative to illumination of the first item.
B05D 3/02 - Traitement préalable des surfaces sur lesquelles des liquides ou d'autres matériaux fluides doivent être appliquésTraitement ultérieur des revêtements appliqués, p. ex. traitement intermédiaire d'un revêtement déjà appliqué, pour préparer les applications ultérieures de liquides ou d'autres matériaux fluides par cuisson
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
4.
METHOD AND APPARATUS FOR TEMPORARILY BONDING AND DEBONDING ELECTRONICS STRUCTURES RELATIVE TO CARRIER
A temporary stack for temporarily carrying an electronics structure for processing includes a reusable carrier structure and an electronics structure carried on the carrier structure. A bonding layer temporarily bonds the electronics structure to the carrier structure. The carrier structure includes a heat-generating layer configured to generate debonding heat for weakening the bonding layer. The bonding layer comprises at least one adhesive material. A method of debonding the temporary stack includes placing the stack in operative engagement with a source of debonding energy to generate debonding heat.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
5.
METHODS AND APPARATUS FOR THERMAL PROCESSING OF MATERIALS
Apparatus and associated methods for thermally processing sets of items are disclosed. An illuminator illuminates a first set of items to thermally process the first set of items. To permit the illuminator to illuminate the full scope of the first set of items, the illuminator is moved relative to the first set of items and/or the first set of items is moved relative to the illuminator. Heat from an illuminated first item is transferred to a second item not yet illuminated. To account for the preheating of the second item, illumination of the second item is adjusted relative to illumination of the first item.
H05K 13/08 - Contrôle de la fabrication des ensembles
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
B05D 3/06 - Traitement préalable des surfaces sur lesquelles des liquides ou d'autres matériaux fluides doivent être appliquésTraitement ultérieur des revêtements appliqués, p. ex. traitement intermédiaire d'un revêtement déjà appliqué, pour préparer les applications ultérieures de liquides ou d'autres matériaux fluides par exposition à des rayonnements
H05B 41/34 - Circuits dans lesquels la lampe est alimentée par impulsions, p. ex. lampe éclair pour fournir une série d'éclairs
H05B 41/39 - Commande de l'intensité de la lumière en continuité
6.
METHOD FOR INTEGRATION THROUGH CRYSTALLOGRAPHIC GROWTH AND RELEASE FROM INORGANIC LIGHT ABSORBER
Methods and corresponding structures for fabricating an integrated electronics structure are provided. A temporary stack is provided that includes a carrier body, a bonding layer, and an electronics structure base that is crystallographically grown on the bonding layer. An electronics structure is built on the electronics structure base, defining an integrated electronics structure that includes the electronics structure base and the electronics structure. A pulse of light is used to weaken the bonding layer, and the integrated electronics structure is separated from the carrier body.
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
B32B 43/00 - Opérations spécialement adaptées aux produits stratifiés et non prévues ailleurs, p. ex. réparationAppareils pour ces opérations
C09J 5/06 - Procédés de collage en généralProcédés de collage non prévus ailleurs, p. ex. relatifs aux amorces comprenant un chauffage de l'adhésif appliqué
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
7.
CARRIER FOR DEBONDING OF BONDED STACK WITH PASSIVATION LAYER
A reusable carrier structure for temporarily carrying electronics structures to be debonded from the carrier structure by a debonding light during temporary bonding cycles. The reusable carrier structure includes a carrier body that is substantially transparent to at least some of the debonding light, a light-absorbing layer. The reusable carrier structure can include a passivation layer configured to protect the light-absorbing layer from degradation so the carrier structure can be used in multiple temporary bonding cycles in which the carrier structure is adhesively bonded to the reusable carrier structure. The reusable can include a protective interlayer configured to protect a carrying surface of the carrier body from degradation during bonding cycles.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
B81C 1/00 - Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
8.
CARRIER FOR DEBONDING OF BONDED STACK WITH PASSIVATION LAYER
A reusable carrier structure for temporarily carrying electronics structures to be debonded from the carrier structure by a debonding light during temporary bonding cycles. The reusable carrier structure includes a carrier body that is substantially transparent to at least some of the debonding light, a light-absorbing layer. The reusable carrier structure can include a passivation layer configured to protect the light-absorbing layer from degradation so the carrier structure can be used in multiple temporary bonding cycles in which the carrier structure is adhesively bonded to the reusable carrier structure. The reusable can include a protective interlayer configured to protect a carrying surface of the carrier body from degradation during bonding cycles.
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
A method for attaching and detaching electronics structures during integrated circuit manufacturing is disclosed. A stack is formed including a carrier and an electronics structure. Between the carrier and electronics structure, a broadband absorber layer is provided. The broadband absorber layer includes broadband absorber material and polymer. A layer of ultraviolet (UV) light curable adhesive is also provided between the carrier and the electronics structure. UV light is directed through the carrier in order to cure the UV curable adhesive. The electronics structure can be processed while secured to the carrier. The electronics structure is removable from the carrier by transmitting a light pulse from a flashlamp through the carrier to heat the broadband absorber layer. The heat can decompose the polymer to permit removal of the electronics structure from the carrier.
B32B 38/10 - Enlèvement de couches ou de parties de couches, mécaniquement ou chimiquement
C09J 5/06 - Procédés de collage en généralProcédés de collage non prévus ailleurs, p. ex. relatifs aux amorces comprenant un chauffage de l'adhésif appliqué
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
B32B 37/12 - Procédés ou dispositifs pour la stratification, p. ex. par polymérisation ou par liaison à l'aide d'ultrasons caractérisés par l'usage d'adhésifs
10.
METHOD AND APPARATUS FOR DEBONDING TEMPORARILY BONDED WAFERS IN WAFER-LEVEL PACKAGING APPLICATIONS
A method for debonding a wafer from a bonded wafer stack is disclosed. Initially, a light-absorbing layer is placed on a carrier. A wafer is then attached to the light-absorbing layer of the carrier via an adhesive layer to form a bonded wafer stack. After processing the wafer has been processed, a light pulse from a flashlamp is applied to a non-wafer side of the carrier to heat the light-absorbing layer and the adhesive layer in order to loosen the wafer from the bonded wafer stack. Finally, the wafer is removed from the bonded wafer stack.
A carrier for temporarily carrying an electronics structure for thermal processing and corresponding system and methods for using the same. The carrier includes an electrically conductive layer (“ECL”) that defines at least one current path through which a current can travel. The carrier is configured to be connected to a current source so pulsed current is passed through the current path to generate heat in a working area of the carrier. The carrier is configured to carry an electronics structure near the working area. When the current source is used to generate heat in the carrier, thermal processing of the electronics structure is performed. A temperature of the electronics structure and the carrier is regulated by controlling the intensity, duration, and period of the pulsed current.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
12.
METHOD AND APPARATUS FOR THERMAL PROCESSING USING PULSED RESISTANCE HEATING
A carrier for temporarily carrying an electronics structure for thermal processing and corresponding system and methods for using the same. The carrier includes an electrically conductive layer ("ECL") that defines at least one current path through which a current can travel. The carrier is configured to be connected to a current source so pulsed current is passed through the current path to generate heat in a working area of the carrier. The carrier is configured to carry an electronics structure near the working area. When the current source is used to generate heat in the carrier, thermal processing of the electronics structure is performed. A temperature of the electronics structure and the carrier is regulated by controlling the intensity, duration, and period of the pulsed current.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 23/34 - Dispositions pour le refroidissement, le chauffage, la ventilation ou la compensation de la température
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
13.
METHOD FOR BONDING ELECTRONICS STRUCTURES DURING INTEGRATED ELECTRONICS MANUFACTURING
Apparatus and associated components and methods for bonding electronics structures. First and second electronics structures are directly bonded using a plurality of light pulses from a flashlamp. In some examples, light from the flashlamp passes into and is absorbed by at least one of the first or second electronics structures to heat a bonding interface between the first and second electronics structures to cause the direct bond to form.
B32B 37/06 - Procédés ou dispositifs pour la stratification, p. ex. par polymérisation ou par liaison à l'aide d'ultrasons caractérisés par le procédé de chauffage
B32B 37/12 - Procédés ou dispositifs pour la stratification, p. ex. par polymérisation ou par liaison à l'aide d'ultrasons caractérisés par l'usage d'adhésifs
C08J 3/28 - Traitement par ondes énergétiques ou par rayonnement de particules
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
Temporary electronics carrier structures and associated systems and methods. A carrier structure for temporarily carrying an electronics structure to be debonded from the carrier structure. The carrier structure includes a roughened surface that has an average surface roughness between about 50nm and about 5 microns. A temporarily bonded stack includes the carrier structure, an electronics structure, and a temporary adhesive located between the carrier structure and the electronics structure. A system for debonding the temporarily bonded stack includes a light source configured to emit light into the carrier structure toward a roughened face thereof.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
Temporary electronics carrier structures and associated systems and methods. A carrier structure for temporarily carrying an electronics structure to be debonded from the carrier structure. The carrier structure includes a roughened surface that has an average surface roughness between about 50 nm and about 5 microns. A temporarily bonded stack includes the carrier structure, an electronics structure, and a temporary adhesive located between the carrier structure and the electronics structure. A system for debonding the temporarily bonded stack includes a light source configured to emit light into the carrier structure toward a roughened face thereof.
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
C09J 5/06 - Procédés de collage en généralProcédés de collage non prévus ailleurs, p. ex. relatifs aux amorces comprenant un chauffage de l'adhésif appliqué
H01L 21/304 - Traitement mécanique, p. ex. meulage, polissage, coupe
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
16.
METHOD FOR ATTACHING AND DETACHING WAFERS DURING INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING
A method for attaching and detaching wafers during integrated circuit manufacturing is disclosed. Initially, a reusable carrier is formed by depositing a layer of partially transparent light-absorbing material (LAM) on a transparent carrier. An ultraviolet (UV) curable adhesive is deposited on a wafer. The wafer is then placed on the reusable carrier with the partially transparent LAM layer in contact with the UV-curable adhesive to form a carrier stack. Next, an UV light is directed through the transparent carrier and the partially transparent LAM layer in order to cure the UV-curable adhesive. After the wafer has been processed, a light pulse is sent from a flashlamp through the transparent carrier in order to detach the wafer from the transparent carrier.
B32B 38/10 - Enlèvement de couches ou de parties de couches, mécaniquement ou chimiquement
C09J 5/06 - Procédés de collage en généralProcédés de collage non prévus ailleurs, p. ex. relatifs aux amorces comprenant un chauffage de l'adhésif appliqué
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
17.
METHOD FOR ATTACHING AND DETACHING WAFERS DURING INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING
A method for attaching and detaching wafers during integrated circuit manufacturing is disclosed. Initially, a reusable carrier is formed by depositing a layer of partially transparent light-absorbing material (LAM) on a transparent carrier. An ultraviolet (UV) curable adhesive is deposited on a wafer. The wafer is then placed on the reusable carrier with the partially transparent LAM layer in contact with the UV-curable adhesive to form a carrier stack. Next, an UV light is directed through the transparent carrier and the partially transparent LAM layer in order to cure the UV-curable adhesive. After the wafer has been processed, a light pulse is sent from a flashlamp through the transparent carrier in order to detach the wafer from the transparent carrier.
B32B 38/10 - Enlèvement de couches ou de parties de couches, mécaniquement ou chimiquement
C09J 5/06 - Procédés de collage en généralProcédés de collage non prévus ailleurs, p. ex. relatifs aux amorces comprenant un chauffage de l'adhésif appliqué
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
18.
METHOD FOR ATTACHING AND DETACHING WAFERS DURING INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING
A method for attaching and detaching wafers during integrated circuit manufacturing is disclosed. Initially, a reusable carrier is formed by depositing a layer of partially transparent light-absorbing material (LAM) on a transparent carrier. An ultraviolet (UV) curable adhesive is deposited on a wafer. The wafer is then placed on the reusable carrier with the partially transparent LAM layer in contact with the UV-curable adhesive to form a carrier stack. Next, an UV light is directed through the transparent carrier and the partially transparent LAM layer in order to cure the UV-curable adhesive. After the wafer has been processed, a light pulse is sent from a flashlamp through the transparent carrier in order to detach the wafer from the transparent carrier.
B32B 43/00 - Opérations spécialement adaptées aux produits stratifiés et non prévues ailleurs, p. ex. réparationAppareils pour ces opérations
B32B 37/12 - Procédés ou dispositifs pour la stratification, p. ex. par polymérisation ou par liaison à l'aide d'ultrasons caractérisés par l'usage d'adhésifs
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
Equipment used in the manufacture of electronics structures, semiconductors, and flexible printed circuits; Equipment for processing inks and thin films; Thermal processing equipment used in curing, soldering, bonding, debonding and sintering applications and Photonic and pulsed light equipment used in curing, soldering, bonding, debonding and sintering applications
A method for curing thermosetting polymers is disclosed. A thermosetting polymer precursor is deposited on a substrate. After the thermosetting polymer precursor has been preheated, the thermosetting polymer precursor is then exposed to a light pulse from a flashlamp while it is being cooled simultaneously in order to maintain an average temperature of the thermosetting polymer precursor at below its maximum working temperature. After the thermosetting polymer precursor has been exposed to the light pulse, a by-product is allowed to dissipate from the thermosetting polymer precursor. The light pulse exposure step and the by-product dissipation step are repeated multiple times until a thermosetting polymer thin film is formed.
A method for curing thermosetting polymers on a glass substrate is disclosed. A light-absorbing layer is deposited on a glass substrate, and a thermosetting polymer precursor is then deposited on the light-absorbing layer in liquid form. After the thermosetting polymer precursor has been preheated, the thermosetting polymer precursor is then exposed to a light pulse from a flashlamp while it is being cooled simultaneously in order to maintain an average temperature of the thermosetting polymer precursor at below its maximum working temperature. After the thermosetting polymer precursor has been exposed to the light pulse, a gaseous by-product is allowed to dissipate from the thermosetting polymer precursor. The light pulse exposure step and the by-product dissipation step are repeated multiple times until a thermosetting polymer thin film is formed. Afterwards, the thermosetting polymer film is released from the light-absorbing layer.
A method for curing thermosetting polymers on a glass substrate is disclosed. A light-absorbing layer is deposited on a glass substrate, and a thermosetting polymer precursor is then deposited on the light-absorbing layer in liquid form. After the thermosetting polymer precursor has been preheated, the thermosetting polymer precursor is then exposed to a light pulse from a flashlamp while it is being cooled simultaneously in order to maintain an average temperature of the thermosetting polymer precursor at below its maximum working temperature. After the thermosetting polymer precursor has been exposed to the light pulse, a gaseous by-product is allowed to dissipate from the thermosetting polymer precursor. The light pulse exposure step and the by-product dissipation step are repeated multiple times until a thermosetting polymer thin film is formed. Afterwards, the thermosetting polymer film is released from the light-absorbing layer.
A method for curing thermosetting polymers is disclosed. A thermosetting polymer precursor is deposited on a substrate. After the thermosetting polymer precursor has been preheated, the thermosetting polymer precursor is then exposed to a light pulse from a flashlamp while it is being cooled simultaneously in order to maintain an average temperature of the thermosetting polymer precursor at below its maximum working temperature. After the thermosetting polymer precursor has been exposed to the light pulse, a by-product is allowed to dissipate from the thermosetting polymer precursor. The light pulse exposure step and the by-product dissipation step are repeated multiple times until a thermosetting polymer thin film is formed.
A method for debonding a wafer from a bonded wafer stack is disclosed. Initially, a light-absorbing layer is placed on a carrier. A wafer is then attached to the light-absorbing layer of the carrier via an adhesive layer to form a bonded wafer stack. After processing the wafer has been processed, a light pulse from a flashlamp is applied to a non-wafer side of the carrier to heat the light-absorbing layer and the adhesive layer in order to loosen the wafer from the bonded wafer stack. Finally, the wafer is removed from the bonded wafer stack.
A method for debonding a wafer from a bonded wafer stack is disclosed. Initially, a light-absorbing layer is placed on a carrier. A wafer is then attached to the light-absorbing layer of the carrier via an adhesive layer to form a bonded wafer stack. After processing the wafer has been processed, a light pulse from a flashlamp is applied to a non-wafer side of the carrier to heat the light-absorbing layer and the adhesive layer in order to loosen the wafer from the bonded wafer stack. Finally, the wafer is removed from the bonded wafer stack.
A method for transferring microLEDs from a growth wafer to a display substrate is disclosed. MicroLEDs on the growth wafer are bonded to an adhesive layer on a transparent carrier coated with a light-absorbing layer. After aligning the carrier to a display substrate, the transparent carrier is exposed to light pulses from a flashlamp to heat the light-absorbing layer in order to separate the adhesive layer for the purpose of transferring the microLEDs onto the display substrate. MicroLEDs may be bonded to the display substrate prior to or after transfer to the display substrate. Bonding of the microLEDs to the display substrate, such as soldering, may also be performed with light pulses from the flashlamp by exposing the transparent carrier to heat the light-absorbing layer and the adjacent microLEDs to heat them and bond them to the display substrate.
A method for removing particles from a semiconductor wafer surface is disclosed. A liquid is placed on a surface of a semiconductor wafer on which particles may adhere. A light pulse is then applied to the surface of the semiconductor wafer through the liquid. The liquid containing the particles is then removed from the surface of the semiconductor wafer.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
30.
Method and apparatus for removing particles from the surface of a semiconductor wafer
A method for removing particles from a semiconductor wafer surface is disclosed. A wafer is being spun on a spin coater contained within a condensing environment. Liquid vapor is then infused into the condensing environment to allow some of the liquid vapor to be condensed onto a surface of the wafer on which particles may adhere while the wafer is being spun. Next, a set of light pulses is applied to the surface of the spinning wafer. Finally, an air stream is utilized to carry the particles off the surface of the wafer.
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
B08B 3/04 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide
B08B 7/00 - Nettoyage par des procédés non prévus dans une seule autre sous-classe ou un seul groupe de la présente sous-classe
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B08B 7/04 - Nettoyage par des procédés non prévus dans une seule autre sous-classe ou un seul groupe de la présente sous-classe par une combinaison d'opérations
B08B 3/08 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide le liquide ayant un effet chimique ou dissolvant
B08B 5/02 - Nettoyage par la force de jets, p. ex. le soufflage de cavités
31.
Method and apparatus for removing particles from the surface of a semiconductor wafer
A method for removing particles from a semiconductor wafer surface is disclosed. A wafer is being spun on a spin coater contained within a condensing environment. Liquid vapor is then infused into the condensing environment to allow some of the liquid vapor to be condensed onto a surface of the wafer on which particles may adhere while the wafer is being spun. Next, a set of light pulses is applied to the surface of the spinning wafer. Finally, an electric grid is utilized to remove the particles off the surface of the wafer.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B08B 7/00 - Nettoyage par des procédés non prévus dans une seule autre sous-classe ou un seul groupe de la présente sous-classe
32.
METHOD FOR ATTACHING AND DETACHING SUBSTRATES DURING INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING
A method for attaching and detaching a substrate from a bonded stack is disclosed. A broadband light-absorbing material is combined with an adhesive material to form a broadband light-absorbing adhesive. A layer of the broadband light-absorbing adhesive is then applied on one side of a transparent carrier. A substrate is placed on the broadband light-absorbing adhesive and the transparent carrier to form a bonded stack. The substrate can be a wafer or a polymeric film. At this point, processing steps can be performed on the substrate. After the processing steps have been completed, a light pulse from a flashlamp is utilized to heat up the broadband light-absorbing adhesive in order to loosen the substrate from the bonded stack such that the substrate can be easily detached from the bonded stack.
B62B 5/00 - Accessoires ou détails spécialement adaptés aux voitures à bras
B62B 3/16 - Voitures à bras ayant plus d'un essieu portant les roues servant au déplacementDispositifs de direction à cet effetAppareillage à cet effet caractérisées par des moyens pour l'emboîtement ou l'empilage, p. ex. chariots pour achats empilables verticalement
33.
Method for attaching and detaching substrates during integrated circuit manufacturing
A method for attaching and detaching a substrate from a bonded stack is disclosed. A broadband light-absorbing material is combined with an adhesive material to form a broadband light-absorbing adhesive. A layer of the broadband light-absorbing adhesive is then applied on one side of a transparent carrier. A substrate is placed on the broadband light-absorbing adhesive and the transparent carrier to form a bonded stack. The substrate can be a wafer or a polymeric film. At this point, processing steps can be performed on the substrate. After the processing steps have been completed, a light pulse from a flashlamp is utilized to heat up the broadband light-absorbing adhesive in order to loosen the substrate from the bonded stack such that the substrate can be easily detached from the bonded stack.
B32B 43/00 - Opérations spécialement adaptées aux produits stratifiés et non prévues ailleurs, p. ex. réparationAppareils pour ces opérations
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
B32B 38/10 - Enlèvement de couches ou de parties de couches, mécaniquement ou chimiquement
34.
Method for connecting surface-mount electronic components to a circuit board
A method for connecting an electronic component to a circuit board is disclosed. Initially, a substrate and an electronic component having solder located between them are placed under a flashlamp. Multiple light pulses from the flashlamp are applied to the electronic component, substrate and solder until the solder reflows. During the application of the light pulses, the power of one of the light pulses from the flashlamp and the temperature of the electronic component are measured, the measured power is converted to radiant exposure, and in response to the measured temperature of the electronic component, the duty cycle of a next light pulse is adjusted adaptively according to the radiant exposure of the one light pulse.
A method for curing solder paste on a thermally fragile substrate is disclosed. An optically reflective layer and an optically absorptive layer are printed on a thermally fragile substrate. Multiple conductive traces are selectively deposited on the optically reflective layer and on the optically absorptive layer. Solder paste is then applied on selective locations that are corresponding to locations of the optically absorptive layer. After a component has been placed on the solder paste, the substrate is irradiated from one side with uniform pulsed light. The optically absorptive layer absorbs the pulsed light and becomes heated, and the heat is subsequently transferred to the solder paste and the component via thermal conduction in order to heat and melt the solder paste.
H05K 3/00 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés
H05K 3/10 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H05K 3/02 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué à la surface du support isolant et est ensuite enlevé de zones déterminées de la surface, non destinées à servir de conducteurs de courant ou d'éléments de blindage
36.
Method for reducing thin films on low temperature substrates
A method for producing an electrically conductive thin film on a substrate is disclosed. Initially, a reducible metal compound and a reducing agent are dispersed in a liquid. The dispersion is then deposited on a substrate as a thin film. The thin film along with the substrate is subsequently exposed to a pulsed electromagnetic emission to chemically react with the reducible metal compound and the reducing agent such that the thin film becomes electrically conductive.
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
B41M 3/00 - Procédés d'impression pour des travaux imprimés d'un genre particulier, p. ex. motifs
C23C 18/16 - Revêtement chimique par décomposition soit de composés liquides, soit de solutions des composés constituant le revêtement, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtementDépôt par contact par réduction ou par substitution, p. ex. dépôt sans courant électrique
B29C 35/08 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire
B29C 35/10 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire pour fabriquer des objets de longueur indéfinie
B41M 7/00 - Traitement ultérieur des travaux imprimés, p. ex. chauffage, irradiation
C23C 18/14 - Décomposition par irradiation, p. ex. par photolyse, rayonnement corpusculaire
B22F 1/00 - Poudres métalliquesTraitement des poudres métalliques, p. ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre ou d'améliorer leurs propriétés
C23C 30/00 - Revêtement avec des matériaux métalliques, caractérisé uniquement par la composition du matériau métallique, c.-à-d. non caractérisé par le procédé de revêtement
C09D 1/04 - Compositions de revêtement, p. ex. peintures, vernis ou vernis-laques, à base de substances inorganiques silicates de métaux alcalins avec des adjuvants organiques
B41M 5/00 - Procédés de reproduction ou méthodes de reproduction ou de marquageMatériaux en feuilles utilisés à cet effet
H05K 1/09 - Emploi de matériaux pour réaliser le parcours métallique
37.
Method for performing delamination of a polymer film
A method and apparatus for delaminating a polymer film from a carrier plate is disclosed. The carrier plate is at least partially transparent and has deposited on it a pixelated pattern layer of light-absorptive material, upon which is deposited a layer of light-reflective material. A polymer film, which is to be delaminated, is deposited on the light-reflecting material layer. Next, a pulsed light source is utilized to irradiate through the carrier plate from the side opposite the polymer film to heat the light-absorptive material layer. The heated areas of the light-absorptive material layer, in turn, heat the polymer film through conduction at the interface between the light-absorptive material layer and the polymer film, thereby generating gas from the polymer film by its thermal decomposition, which allows the polymer film to be released from the carrier plate.
B29C 41/42 - Démoulage des objets formés, des moules, des noyaux ou d'autres supports
B29C 41/02 - Façonnage par revêtement d'un moule, noyau ou autre support, c.-à-d. par dépôt de la matière à mouler et démoulage de l'objet forméAppareils à cet effet pour la fabrication d'objets de longueur définie, c.-à-d. d'objets séparés
B32B 7/00 - Produits stratifiés caractérisés par la relation entre les couchesProduits stratifiés caractérisés par l’orientation relative des éléments caractéristiques entre les couches, ou par les valeurs relatives d’un paramètre mesurable entre les couches, c.-à-d. produits comprenant des couches ayant des propriétés physiques, chimiques ou physicochimiques différentes Produits stratifiés caractérisés par la jonction entre les couches
B32B 7/06 - Liaison entre couches permettant une séparation sans difficultés
B29L 7/00 - Objets plats, p. ex. pellicules ou feuilles
B29L 31/34 - Appareils électriques, p. ex. bougies ou leurs parties constitutives
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
38.
Method for curing solder paste on a thermally fragile substrate
A method for curing solder paste on a thermally fragile substrate is disclosed. An optically reflective layer and an optically absorptive layer are printed on a thermally fragile substrate. Multiple conductive traces are selectively deposited on the optically reflective layer and on the optically absorptive layer. Solder paste is then applied on selective locations that are corresponding to locations of the optically absorptive layer. After a component has been placed on the solder paste, the substrate is irradiated from one side with uniform pulsed light. The optically absorptive layer absorbs the pulsed light and becomes heated, and the heat is subsequently transferred to the solder paste and the component via thermal conduction in order to heat and melt the solder paste.
H05K 3/00 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés
H05K 3/10 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
H05K 3/02 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué à la surface du support isolant et est ensuite enlevé de zones déterminées de la surface, non destinées à servir de conducteurs de courant ou d'éléments de blindage
39.
Apparatus for curing thin films on a moving substrate
An apparatus for curing thin films is disclosed. The apparatus includes a computer control system, a conveyance system, a flashlamp controller, and a flashlamp. The curing apparatus also includes a high average power, low-inductance cable connected between the flashlamp controller and the flashlamp. The low-inductance cable is smaller in diameter and is more flexible than the prior art and includes at least one liquid cooling line and multiple forward and return path wires interleaved in a regular hexagonal closed packed configuration such that every wire is adjacent to at least one cooling line and at least one wire of opposite polarity.
F26B 3/30 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets impliquant l'utilisation de chaleur par radiation, p. ex. du soleil à l'aide d'éléments émettant des rayons infrarouges
F26B 13/12 - Commande du mouvement, de la tension ou de la position du matériau
H01B 7/42 - Conducteurs ou câbles isolés caractérisés par la forme avec des dispositions pour la dissipation ou la conduction de la chaleur
B29C 35/08 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire
40.
Method for reducing thin films on low temperature substrates
A method for producing an electrically conductive thin film on a substrate is disclosed. Initially, a reducible metal compound and a reducing agent are dispersed in a liquid. The dispersion is then deposited on a substrate as a thin film. The thin film along with the substrate is subsequently exposed to a pulsed electromagnetic emission to chemically react with the reducible metal compound and the reducing agent such that the thin film becomes electrically conductive.
C23C 18/14 - Décomposition par irradiation, p. ex. par photolyse, rayonnement corpusculaire
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
B41M 7/00 - Traitement ultérieur des travaux imprimés, p. ex. chauffage, irradiation
C23C 18/16 - Revêtement chimique par décomposition soit de composés liquides, soit de solutions des composés constituant le revêtement, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtementDépôt par contact par réduction ou par substitution, p. ex. dépôt sans courant électrique
B41M 3/00 - Procédés d'impression pour des travaux imprimés d'un genre particulier, p. ex. motifs
B22F 1/00 - Poudres métalliquesTraitement des poudres métalliques, p. ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre ou d'améliorer leurs propriétés
C09D 1/04 - Compositions de revêtement, p. ex. peintures, vernis ou vernis-laques, à base de substances inorganiques silicates de métaux alcalins avec des adjuvants organiques
C23C 30/00 - Revêtement avec des matériaux métalliques, caractérisé uniquement par la composition du matériau métallique, c.-à-d. non caractérisé par le procédé de revêtement
B22F 3/105 - Frittage seul en utilisant un courant électrique, un rayonnement laser ou un plasma
B22F 9/24 - Fabrication des poudres métalliques ou de leurs suspensionsAppareils ou dispositifs spécialement adaptés à cet effet par un procédé chimique avec réduction de mélanges métalliques à partir de mélanges métalliques liquides, p. ex. de solutions
C09D 1/00 - Compositions de revêtement, p. ex. peintures, vernis ou vernis-laques, à base de substances inorganiques
C09D 7/61 - Adjuvants non macromoléculaires inorganiques
C23C 18/40 - Revêtement avec du cuivre en utilisant des agents réducteurs
H05K 3/10 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché
B41M 5/00 - Procédés de reproduction ou méthodes de reproduction ou de marquageMatériaux en feuilles utilisés à cet effet
B29C 35/10 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire pour fabriquer des objets de longueur indéfinie
H05K 1/03 - Emploi de matériaux pour réaliser le substrat
41.
Method for performing delamination of a polymer film
A method and apparatus for delaminating a polymer film from a carrier plate is disclosed. The carrier plate is at least partially transparent and has deposited on it a pixelated pattern layer of light-absorptive material, upon which is deposited a layer of light-reflective material. A polymer film, which is to be delaminated, is deposited on the light-reflecting material layer. Next, a pulsed light source is utilized to irradiate through the carrier plate from the side opposite the polymer film to heat the light-absorptive material layer. The heated areas of the light-absorptive material layer, in turn, heat the polymer film through conduction at the interface between the light-absorptive material layer and the polymer film, thereby generating gas from the polymer film by its thermal decomposition, which allows the polymer film to be released from the carrier plate.
A composite film is disclosed. The composite film includes a substrate, a thermal barrier layer located on top of the substrate, wherein the thermal barrier layer has a higher decomposition temperature than the substrate, and a thin film located on top of the thermal barrier layer, wherein the thin film is to be thermally processed by a pulsed light from a flashlamp.
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
B05D 3/06 - Traitement préalable des surfaces sur lesquelles des liquides ou d'autres matériaux fluides doivent être appliquésTraitement ultérieur des revêtements appliqués, p. ex. traitement intermédiaire d'un revêtement déjà appliqué, pour préparer les applications ultérieures de liquides ou d'autres matériaux fluides par exposition à des rayonnements
H05B 41/38 - Commande de l'intensité de la lumière
H05B 41/34 - Circuits dans lesquels la lampe est alimentée par impulsions, p. ex. lampe éclair pour fournir une série d'éclairs
H05K 1/09 - Emploi de matériaux pour réaliser le parcours métallique
F26B 3/34 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets impliquant l'utilisation de chaleur par dégagement de chaleur dans le matériau ou les objets à sécher utilisant des effets électriques
43.
Method for deposting a functional material on a substrate
A method for depositing a functional material on a substrate is disclosed. A plate having a first surface and a second surface is provided. A layer of light scattering material is applied onto the first surface of the plate, and a layer of reflective material is applied onto the second surface of the plate. After a group of wells has been formed on the second surface of the plate, a layer of light-absorbing material is applied on the second surface of the plate. Next, the wells are partially filled with a functional material. The plate is then irradiated with a pulse of light to heat the light-absorbing material between the bottom of the well and the functional material. This heats the gas in the ullage between the light absorbing material and the functional material to increase the pressure in gas to expel the functional material from the wells onto a receiving substrate.
H05K 3/04 - Élimination du matériau conducteur par voie mécanique, p. ex. par poinçonnage
H05K 3/20 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché par apposition d'un parcours conducteur préfabriqué
44.
Method for depositing a functional material on a substrate
A method for depositing a functional material on a substrate is disclosed. An optically transparent plate having a first surface and a second surface with one or more wells is provided. After coating the second surface with a thin layer of light-absorbing material, the wells are filled with a functional material. The plate is then irradiated with a pulsed light to heat the layer of light-absorbing material in order to generate gas at an interface between the layer of light-absorbing material and the functional material to release the functional material from the wells onto a receiving substrate located adjacent to the plate.
H05K 3/04 - Élimination du matériau conducteur par voie mécanique, p. ex. par poinçonnage
H05K 3/20 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché par apposition d'un parcours conducteur préfabriqué
45.
Electrical, plating and catalytic uses of metal nanomaterial compositions
This invention relates generally to uses of novel nanomaterial composition and the systems in which they are used, and more particularly to nanomaterial compositions generally comprising carbon and a metal, which composition can be exposed to pulsed emissions to react, activate, combine, or sinter the nanomaterial composition. The nanomaterial compositions can alternatively be utilized at ambient temperature or under other means to cause such reaction, activation, combination, or sintering to occur.
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
B41M 3/00 - Procédés d'impression pour des travaux imprimés d'un genre particulier, p. ex. motifs
C23C 18/14 - Décomposition par irradiation, p. ex. par photolyse, rayonnement corpusculaire
C23C 18/16 - Revêtement chimique par décomposition soit de composés liquides, soit de solutions des composés constituant le revêtement, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtementDépôt par contact par réduction ou par substitution, p. ex. dépôt sans courant électrique
C23C 30/00 - Revêtement avec des matériaux métalliques, caractérisé uniquement par la composition du matériau métallique, c.-à-d. non caractérisé par le procédé de revêtement
B29C 35/08 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire
B29C 35/10 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire pour fabriquer des objets de longueur indéfinie
C09D 1/04 - Compositions de revêtement, p. ex. peintures, vernis ou vernis-laques, à base de substances inorganiques silicates de métaux alcalins avec des adjuvants organiques
B41M 5/00 - Procédés de reproduction ou méthodes de reproduction ou de marquageMatériaux en feuilles utilisés à cet effet
B41M 7/00 - Traitement ultérieur des travaux imprimés, p. ex. chauffage, irradiation
46.
Method for providing lateral thermal processing of thin films on low-temperature substrates
A method for thermally processing a minimally absorbing thin film in a selective manner is disclosed. Two closely spaced absorbing traces are patterned in thermal contact with the thin film. A pulsed radiant source is used to heat the two absorbing traces, and the thin film is thermally processed via conduction between the two absorbing traces. This method can be utilized to fabricate a thin film transistor (TFT) in which the thin film is a semiconductor and the absorbers are the source and the drain of the TFT.
H01L 21/428 - Bombardement par des radiations par des radiations d'énergie élevée les radiations étant électromagnétiques, p. ex. des rayons laser
B29C 35/02 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
H01L 27/12 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant autre qu'un corps semi-conducteur, p.ex. un corps isolant
B29C 35/08 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire
47.
Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds
A curing apparatus for thermally processing thin films on low-temperature substrates at high speeds is disclosed. The curing apparatus includes a strobe head, a strobe control module and a conveyor control module. The strobe control module controls the power, duration and repetition rate of a set of pulses generated by a flash lamp on the strobe head. The conveyor control module along with the strobe control module provide real-time synchronization between the repetition rate of the set of pulses and the speed at which the substrate is being moved under the strobe head, according to the speed information.
B05D 3/06 - Traitement préalable des surfaces sur lesquelles des liquides ou d'autres matériaux fluides doivent être appliquésTraitement ultérieur des revêtements appliqués, p. ex. traitement intermédiaire d'un revêtement déjà appliqué, pour préparer les applications ultérieures de liquides ou d'autres matériaux fluides par exposition à des rayonnements
F26B 3/34 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets impliquant l'utilisation de chaleur par dégagement de chaleur dans le matériau ou les objets à sécher utilisant des effets électriques
H05B 41/34 - Circuits dans lesquels la lampe est alimentée par impulsions, p. ex. lampe éclair pour fournir une série d'éclairs
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
H05K 1/09 - Emploi de matériaux pour réaliser le parcours métallique
48.
Substrate for printed electronics and photonic curing process
A coating layer 12 is formed on a base film 10 by heat resistant resin having a Tg (glass transition temperature) of 120° C. or more, and more preferably 200° C. or more, and a functional thin film 14 is produced by printing ink composite including conductive particles on a surface of the coating layer 12 and thereby forming an ink layer. This functional thin film 14 is sintered by heating performed by photo irradiation, and a conductive layer is formed thereby.
B32B 3/02 - Caractérisés par des caractéristiques de forme en des endroits déterminés, p. ex. au voisinage des bords
C23C 30/00 - Revêtement avec des matériaux métalliques, caractérisé uniquement par la composition du matériau métallique, c.-à-d. non caractérisé par le procédé de revêtement
B41M 3/00 - Procédés d'impression pour des travaux imprimés d'un genre particulier, p. ex. motifs
H05K 1/03 - Emploi de matériaux pour réaliser le substrat
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
H05K 1/09 - Emploi de matériaux pour réaliser le parcours métallique
49.
Method for reducing thin films on low temperature substrates
A method for producing an electrically conductive thin film on a substrate is disclosed. Initially, a reducible metal compound and a reducing agent are dispersed in a liquid. The dispersion is then deposited on a substrate as a thin film. The thin film along with the substrate is subsequently exposed to a pulsed electromagnetic emission to chemically react with the reducible metal compound and the reducing agent such that the thin film becomes electrically conductive.
C23C 18/14 - Décomposition par irradiation, p. ex. par photolyse, rayonnement corpusculaire
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
B41M 3/00 - Procédés d'impression pour des travaux imprimés d'un genre particulier, p. ex. motifs
C23C 18/16 - Revêtement chimique par décomposition soit de composés liquides, soit de solutions des composés constituant le revêtement, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtementDépôt par contact par réduction ou par substitution, p. ex. dépôt sans courant électrique
C23C 30/00 - Revêtement avec des matériaux métalliques, caractérisé uniquement par la composition du matériau métallique, c.-à-d. non caractérisé par le procédé de revêtement
B29C 35/08 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire
B29C 35/10 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire pour fabriquer des objets de longueur indéfinie
C09D 1/04 - Compositions de revêtement, p. ex. peintures, vernis ou vernis-laques, à base de substances inorganiques silicates de métaux alcalins avec des adjuvants organiques
B41M 5/00 - Procédés de reproduction ou méthodes de reproduction ou de marquageMatériaux en feuilles utilisés à cet effet
B41M 7/00 - Traitement ultérieur des travaux imprimés, p. ex. chauffage, irradiation
50.
Apparatus for providing transient thermal profile processing on a moving substrate
A method and apparatus for thermally processing material on a low-temperature substrate using pulsed light from a flash lamp is disclosed. Material is conveyed past the flash lamp. The pulses of light are formed by Pulse Width Modulation to tailor the shape of the pulses to generate a thermal gradient in the substrate that enables the material to be heated beyond the maximum working temperature of the substrate without damage. Its shaped pulse rate is synchronized to the conveyance speed of a conveyance system. By using the information from a feedback sensor, the thermal gradient is recalculated to alter the shape of the pulses in real time for optimizing subsequent curings in real time without powering down the curing apparatus. The combined pulse shaping and synchronization allow a temperature profile to be tailored in the sample that is uniformly cured in the conveyance direction.
B29C 35/10 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire pour fabriquer des objets de longueur indéfinie
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
F26B 13/10 - Aménagements pour l'alimentation, le chauffage ou la tenue du matériauCommande du mouvement, de la tension ou de la position du matériau
F26B 3/28 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets impliquant l'utilisation de chaleur par radiation, p. ex. du soleil
A method for forming thin film conductors is disclosed. A thin film precursor material is initially deposited onto a porous substrate. The thin film precursor material is then irradiated with a light pulse in order to transform the thin film precursor material to a thin film such that the thin film is more electrically conductive than the thin film precursor material. Finally, compressive stress is applied to the thin film and the porous substrate to further increase the thin film's electrical conductivity.
H01B 13/00 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de conducteurs ou câbles
H05K 1/03 - Emploi de matériaux pour réaliser le substrat
H05K 3/10 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché
H05K 1/09 - Emploi de matériaux pour réaliser le parcours métallique
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
H05K 3/14 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de la vaporisation pour appliquer le matériau conducteur
52.
Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds
A curing apparatus for thermally processing thin films on low-temperature substrates at high speeds is disclosed. The curing apparatus includes a strobe head, a strobe control module and a conveyor control module. The strobe control module controls the power, duration and repetition rate of a set of pulses generated by a flash lamp on the strobe head. The conveyor control module along with the strobe control module provide real-time synchronization between the repetition rate of the set of pulses and the speed at which the substrate is being moved under the strobe head, according to the speed information.
B05D 3/06 - Traitement préalable des surfaces sur lesquelles des liquides ou d'autres matériaux fluides doivent être appliquésTraitement ultérieur des revêtements appliqués, p. ex. traitement intermédiaire d'un revêtement déjà appliqué, pour préparer les applications ultérieures de liquides ou d'autres matériaux fluides par exposition à des rayonnements
F26B 3/34 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets impliquant l'utilisation de chaleur par dégagement de chaleur dans le matériau ou les objets à sécher utilisant des effets électriques
H05B 41/34 - Circuits dans lesquels la lampe est alimentée par impulsions, p. ex. lampe éclair pour fournir une série d'éclairs
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
H05K 1/09 - Emploi de matériaux pour réaliser le parcours métallique
53.
Method for providing lateral thermal processing of thin films on low-temperature substrates
A method for thermally processing a minimally absorbing thin film in a selective manner is disclosed. Two closely spaced absorbing traces are patterned in thermal contact with the thin film. A pulsed radiant source is used to heat the two absorbing traces, and the thin film is thermally processed via conduction between the two absorbing traces. This method can be utilized to fabricate a thin film transistor (TFT) in which the thin film is a semiconductor and the absorbers are the source and the drain of the TFT.
H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
B29C 35/02 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
B29C 35/08 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire
H01L 27/12 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant autre qu'un corps semi-conducteur, p.ex. un corps isolant
54.
Method for depositing and curing nanoparticle-based ink
An apparatus for forming a pattern of a nanoparticle-based ink on a substrate has a printing apparatus that is energizable to deposit the nanoparticle-based ink in a pattern on a surface of the substrate. An illumination apparatus is energizable to direct a patterned illumination to cure the deposited ink pattern on the substrate, the illumination apparatus having an array having at least a first and a second laser diode, each laser diode coupled to a channel in a laser light coupling element through an optical fiber and having an illumination lens disposed to direct illumination from the coupling element onto the surface of the substrate. A transport apparatus is energizable to provide relative motion between the substrate and the illumination apparatus.
C23C 16/48 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement par irradiation, p. ex. par photolyse, radiolyse ou rayonnement corpusculaire
55.
Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds
A curing apparatus for thermally processing thin films on low-temperature substrates at high speeds is disclosed. The curing apparatus includes a strobe head, a strobe control module and a conveyor control module. The strobe control module controls the power, duration and repetition rate of a set of pulses generated by a flash lamp on the strobe head. The conveyor control module along with the strobe control module provide real-time synchronization between the repetition rate of the set of pulses and the speed at which the substrate is being moved under the strobe head, according to the speed information.
A method for drying a thin film stack having a thin film located on a substrate is disclosed. The thin film stack is conveyed past a flashlamp during which the thin film stack is irradiated with a composite light pulse from the flashlamp. The composite light pulse is composed of multiple micropulses. The time duration of the composite light pulse is shorter than a total thermal equilibration time of the thin film stack. In addition, when the thin film stack is being conveyed past the flashlamp, the thin film stack should move less than 10% of the length of the irradiating area in the conveyance direction during the delivery of the composite light pulse.
H05B 6/10 - Appareils de chauffage par induction, autres que des fours, pour des applications spécifiques
B29C 35/08 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire
B29B 13/02 - Conditionnement ou traitement physique de la matière à façonner par chauffage
B29B 13/06 - Conditionnement ou traitement physique de la matière à façonner par séchage
B29B 13/08 - Conditionnement ou traitement physique de la matière à façonner par utilisation de l'énergie ondulatoire ou par rayonnement corpusculaire
B29C 35/10 - Chauffage ou durcissement, p. ex. réticulation ou vulcanisation utilisant l'énergie ondulatoire ou un rayonnement corpusculaire pour fabriquer des objets de longueur indéfinie
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
57.
Method for forming and stabilizing printed conductors on a flexible substrate
A method for forming printed conductors on a flexible substrate is disclosed. Initially, an inorganic matrix precursor is printed onto a flexible substrate. The inorganic precursor is then cured with a light pulse to form a porous inorganic matrix thin film. A polymer is subsequently infused into the porous inorganic matrix thin film to form a polymer infused inorganic matrix thin film.
H05B 41/34 - Circuits dans lesquels la lampe est alimentée par impulsions, p. ex. lampe éclair pour fournir une série d'éclairs
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
H05B 33/08 - Circuits pour faire fonctionner des sources lumineuses électroluminescentes
H05K 1/09 - Emploi de matériaux pour réaliser le parcours métallique
58.
Light curing apparatus having a modular lamp housing
A curing apparatus is disclosed. The curing apparatus includes a flash lamp and a lamp housing for containing the flash lamp with the flash lamp's longitudinal axis in parallel with the direction of motion of a moving substrate irradiated by the flash lamp. The lamp housing is capable of attaching to a second lamp housing to form a concatenated lamp housing having a common reflector cavity. The second lamp housing also holds a second flash lamp with the second flash lamp's longitudinal axis in parallel with the direction of the moving substrate under the second flash lamp.
B05D 3/06 - Traitement préalable des surfaces sur lesquelles des liquides ou d'autres matériaux fluides doivent être appliquésTraitement ultérieur des revêtements appliqués, p. ex. traitement intermédiaire d'un revêtement déjà appliqué, pour préparer les applications ultérieures de liquides ou d'autres matériaux fluides par exposition à des rayonnements
F26B 13/10 - Aménagements pour l'alimentation, le chauffage ou la tenue du matériauCommande du mouvement, de la tension ou de la position du matériau
B05D 3/00 - Traitement préalable des surfaces sur lesquelles des liquides ou d'autres matériaux fluides doivent être appliquésTraitement ultérieur des revêtements appliqués, p. ex. traitement intermédiaire d'un revêtement déjà appliqué, pour préparer les applications ultérieures de liquides ou d'autres matériaux fluides
F26B 3/28 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets impliquant l'utilisation de chaleur par radiation, p. ex. du soleil
59.
Method for providing lateral thermal processing of thin films on low-temperature substrates
A method for thermally processing a minimally absorbing thin film in a selective manner is disclosed. Two closely spaced absorbing traces are patterned in thermal contact with the thin film. A pulsed radiant source is used to heat the two absorbing traces, and the thin film is thermally processed via conduction between the two absorbing traces. This method can be utilized to fabricate a thin film transistor (TFT) in which the thin film is a semiconductor and the absorbers are the source and the drain of the TFT.
A method and apparatus for thermally processing material on a low-temperature substrate using pulsed light from a flash lamp is disclosed. Material is conveyed past the flash lamp. The pulses of light are formed by Pulse Width Modulation to tailor the shape of the pulses to generate a thermal gradient in the substrate that enables the material to be heated beyond the maximum working temperature of the substrate without damage. Its shaped pulse rate is synchronized to the conveyance speed of a conveyance system. By using the information from a feedback sensor, the thermal gradient is recalculated to alter the shape of the pulses in real time for optimizing subsequent curings in real time without powering down the curing apparatus. The combined pulse shaping and synchronization allow a temperature profile to be tailored in the sample that is uniformly cured in the conveyance direction.
This invention relates generally to uses of novel nanomaterial composition and the systems in which they are used, and more particularly to nanomaterial compositions generally comprising carbon and a metal, which composition can be exposed to pulsed emissions to react, activate, combine, or sinter the nanomaterial composition. The nanomaterial compositions can alternatively be utilized at ambient temperature or under other means to cause such reaction, activation, combination, or sintering to occur.
F01N 3/20 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour rendre les gaz d'échappement inoffensifs par conversion thermique ou catalytique des composants nocifs des gaz d'échappement caractérisés par les méthodes d'opérationCommande spécialement adaptés à la conversion catalytique
B82Y 30/00 - Nanotechnologie pour matériaux ou science des surfaces, p. ex. nanocomposites
F23C 13/08 - Appareils dans lesquels la combustion a lieu en présence de matériau catalytique caractérisé par le matériau catalytique
H05K 3/12 - Appareils ou procédés pour la fabrication de circuits imprimés dans lesquels le matériau conducteur est appliqué au support isolant de manière à former le parcours conducteur recherché utilisant la technique de l'impression pour appliquer le matériau conducteur
B01J 35/00 - Catalyseurs caractérisés par leur forme ou leurs propriétés physiques, en général
B01J 37/34 - Irradiation ou application d'énergie électrique, magnétique ou ondulatoire, p. ex. d'ondes ultrasonores
A curing apparatus for thermally processing thin films on low-temperature substrates at high speeds is disclosed. The curing apparatus includes a strobe head, a strobe control module and a conveyor control module. The strobe control module controls the power, duration and repetition rate of a set of pulses generated by a flash lamp on the strobe head. The conveyor control module along with the strobe control module provide real-time synchronization between the repetition rate of the set of pulses and the speed at which the substrate is being moved under the strobe head, according to the speed information.
A method for producing an electrically conductive thin film on a substrate is disclosed. Initially, a reducible metal compound and a reducing agent are dispersed in a liquid. The dispersion is then deposited on a substrate as a thin film. The thin film along with the substrate is subsequently exposed to a pulsed electromagnetic emission to chemically react with the reducible metal compound and the reducing agent such that the thin film becomes electrically conductive.
B41M 3/00 - Procédés d'impression pour des travaux imprimés d'un genre particulier, p. ex. motifs
C23C 18/14 - Décomposition par irradiation, p. ex. par photolyse, rayonnement corpusculaire
C23C 18/16 - Revêtement chimique par décomposition soit de composés liquides, soit de solutions des composés constituant le revêtement, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtementDépôt par contact par réduction ou par substitution, p. ex. dépôt sans courant électrique
This invention relates generally to uses of novel nanomaterial composition and the systems in which they are used, and more particularly to nanomaterial compositions generally comprising carbon and a metal, which composition can be exposed to pulsed emissions to react, activate, combine, or sinter the nanomaterial composition. The nanomaterial compositions can alternatively be utilized at ambient temperature or under other means to cause such reaction, activation, combination, or sintering to occur.
B22F 9/24 - Fabrication des poudres métalliques ou de leurs suspensionsAppareils ou dispositifs spécialement adaptés à cet effet par un procédé chimique avec réduction de mélanges métalliques à partir de mélanges métalliques liquides, p. ex. de solutions