Abrégé

A MEMS switch includes a latch mechanism, first and second electrical conductors, a first latch actuator, a second latch actuator, and an axial actuator. The latch mechanism may include a transfer rod and a contact member, the contact member extending radially outwardly from a position along the axial length of the transfer rod. The first and second electrical conductors may extend along, and may be radially offset from, a portion of the transfer rod. The first latch actuator may include a first latch pin, and the second latch actuator may include a second latch pin, the first and second latch actuators being configured to move toward and away from the transfer rod, and the first and second latch pins configured to engage the contact member. The at least one axial actuator may be configured to move the contact member towards and away from the first and second electrical conductors.

Classes IPC  ?

• B81B 3/00 - Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p. ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
• B81B 7/02 - Systèmes à microstructure comportant des dispositifs électriques ou optiques distincts dont la fonction a une importance particulière, p. ex. systèmes micro-électromécaniques [SMEM, MEMS]
• H01H 11/00 - Appareillages ou procédés spécialement adaptés à la fabrication d'interrupteurs électriques
• H01H 37/02 - Interrupteurs actionnés thermiquement Détails
• H01H 3/00 - Mécanismes pour actionner les contacts
• G02B 26/00 - Dispositifs ou dispositions optiques pour la commande de la lumière utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables
• H01L 21/00 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives