- Sections
- G - Physique
- G03F - Production par voie photomécanique de surfaces texturées, p. ex. pour l'impression, pour le traitement de dispositifs semi-conducteursmatériaux à cet effetoriginaux à cet effetappareillages spécialement adaptés à cet effet
- G03F 9/02 - Mise en registre ou positionnement d'originaux, de masques, de trames, de feuilles photographiques, de surfaces texturées, p. ex. automatique combinés avec des moyens de mise au point automatique
Détention brevets de la classe G03F 9/02
Brevets de cette classe: 15
Historique des publications depuis 10 ans
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Propriétaires principaux
| Proprétaire |
Total
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Cette classe
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|---|---|---|
| Nikon Corporation | 7273 |
3 |
| TERA-print, LLC | 11 |
2 |
| FUJIFILM Corporation | 30016 |
1 |
| Cymer, LLC | 403 |
1 |
| ASML Netherlands B.V. | 7658 |
1 |
| Fujikura Ltd. | 3020 |
1 |
| Northwestern University | 3478 |
1 |
| Intevac, Inc. | 132 |
1 |
| NuFlare Technology, Inc. | 894 |
1 |
| Screen Holdings Co., Ltd. | 3009 |
1 |
| Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd. | 55 |
1 |
| Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. | 191 |
1 |
| Autres propriétaires | 0 |