Provided is an actuator which has high precision and has a small dimension in the vertical direction, and with which backlash is suppressed. This actuator 1 is composed of a speed reducer section and a motor section, wherein the speed reducer section is disposed parallel to an annular fixed gear 5 and an annular output gear 4, and an oscillating gear 6 is disposed between the fixed gear 5 and the output gear 4 while inclined with respect to the fixed gear 5 and the output gear 4. The fixed gear 5 and the oscillating gear 6 are configured so as to be engaged at a first position, and the oscillating gear 6 and the output gear 4 are configured so as to be engaged at a second position. Magnetic forces produced by an electromagnet 8 of the motor section and a permanent magnet 7 fixed to the outer circumference of the oscillating gear act in the directions of pressing the engagements at both the first position and the second position to suppress backlash.
Provided is an actuator having small vertical dimensions with high accuracy. An actuator 1 comprises a decelerator section and a motor section, wherein the decelerator section has an annular fixed gear 5 and an annular output gear 4 that are disposed in parallel, and a swing gear 6 is disposed between the fixed gear 5 and the output gear 4 while the swing gear 6 is tilted with respect to the fixed gear 5 and the output gear 4. The fixed gear 5 and the swing gear 6 are engaged with each other at a first position, and the swing gear 6 and the output gear 4 are engaged with each other at a second position. Furthermore, the motor section for driving the swing gear 6 has a permanent magnet 7 coaxially disposed outside the swing gear 6 and an electromagnet 28 coaxially disposed outside the permanent magnet 7, so that the vertical dimensions of the overall actuator are suppressed.
F16H 1/32 - Transmissions à engrenages pour transmettre un mouvement rotatif avec engrenages à mouvement orbital dans lesquels l'axe central de la transmission est situé à l'intérieur de la périphérie d'un engrenage orbital
H02K 7/116 - Association structurelle avec des embrayages, des freins, des engrenages, des poulies ou des démarreurs mécaniques avec des engrenages
Provided is a workpiece-conveying robot comprising a joint equipped with a highly precise actuator that has a small size in the vertical direction. The present invention is a workpiece-conveying robot comprising a joint equipped with an actuator 1 configured from a speed reducer section and a motor section, wherein the speed reducer section is arranged parallel to a circular fixed gear 5 and a circular output gear 4, and a rocking gear 6 is arranged inclined with respect to the fixed gear 5 and the output gear 4 between the fixed gear 5 and the output gear 4. The fixed gear 5 and the rocking gear 6 are configured so as to mesh at a first position, and the rocking gear 6 and the output gear 4 are configured so as to mesh at a second position. In addition, the motor section drives the rocking gear 6 and is arranged coaxially with a permanent magnet 7 on the outside of the rocking gear 6, and the size of the joint of the workpiece-conveying robot in the vertical direction is minimized by arranging an electromagnet 28 coaxially on the outside of the permanent magnet 7.
F16H 1/32 - Transmissions à engrenages pour transmettre un mouvement rotatif avec engrenages à mouvement orbital dans lesquels l'axe central de la transmission est situé à l'intérieur de la périphérie d'un engrenage orbital
H02K 7/116 - Association structurelle avec des embrayages, des freins, des engrenages, des poulies ou des démarreurs mécaniques avec des engrenages
4.
ACTUATOR AND WORKPIECE DELIVERY ROBOT EQUIPPED WITH SAME
The present invention provides a high-precision actuator which has a small vertical size and in which backlash is suppressed. An actuator 1 comprises a reduction gear section and a motor section. In the reduction gear section, an annular fixed gear 5 and an annular output gear 4 are arranged in parallel to each other, and a rocking gear 6 is disposed between the fixed gear 5 and the output gear 4 in a state of being inclined with respect to the fixed gear 5 and the output gear 4. The fixed gear 5 and the rocking gear 6 are configured so as to mesh with each other at a first position, and the rocking gear 6 and the output gear 4 are configured so as to mesh with each other at a second position. Magnetic force, generated by an electromagnet 8 in the motor section and a permanent magnet 7 fixed to the outer circumference of the rocking gear, acts in a meshing pressing direction on both sides at the first position and the second position so as to suppress backlash.
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p. ex. pour contrôler, pour observerDispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
H02K 41/06 - Moteurs roulants, c.-à-d. moteurs ayant l'axe du rotor parallèle à l'axe du stator et suivant un parcours circulaire du fait que le rotor roule à l'intérieur ou à l'extérieur du stator
H02K 7/116 - Association structurelle avec des embrayages, des freins, des engrenages, des poulies ou des démarreurs mécaniques avec des engrenages
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
5.
WAVEFORM ANALYSIS DEVICE AND WAVEFORM ANALYSIS METHOD
The present invention prevents stoppage or a disruptive accident during operation due to a breakdown in machinery. A waveform analysis device 200 comprises: a sensor unit 300 for detecting a physical phenomenon; a discrete Fourier transform unit 208 for performing a discrete Fourier transform of a detection signal transmitted from the sensor unit 203; a later-stage weighting unit 209 for setting amplitude values at each frequency generated by the discrete Fourier transform unit 208 that exceed a prescribed upper-limit value to said prescribed upper-limit value; and an accumulation unit 210 for adding the amplitude values at each frequency weighted by the later-stage weighting unit 209. An operator console 100 sets the prescribed upper-limit value in the waveform analysis device 200.
G01D 1/18 - Dispositions pour la mesure donnant des résultats autres que la valeur instantanée d'une variable, d'application générale avec dispositions pour signaler le dépassement d'une valeur prédéterminée d'un paramètre non spécifié
6.
SUBCULTURE TIMING DETERMINATION METHOD, SUBCULTURE TIMING DETERMINATION SYSTEM, AND CELL CULTURE SYSTEM
It is demanded to perform subculture at an appropriate timing in accordance with the state of actual cells. The problem is solved by this subculture timing determination method comprising: an imaging step for imaging cells at a plurality of prescribed positions in a culture container at a first imaging time point to obtain cell images at each position of the plurality of the prescribed positions at the first imaging time point; a primary information obtaining step for obtaining primary information of cells imaged in the cell images at each position at the first imaging time point; a statistic index value obtaining step for calculating a statistic index value of the primary information of cells; and a determining step for determining an imaging time point corresponding to the time point when the statistic index value has reached a prescribed threshold value to be a time point when a subculture timing has been reached.
C12N 5/00 - Cellules non différenciées humaines, animales ou végétales, p. ex. lignées cellulairesTissusLeur culture ou conservationMilieux de culture à cet effet
C12M 1/34 - Mesure ou test par des moyens de mesure ou de détection des conditions du milieu, p. ex. par des compteurs de colonies
A load port control unit performs an opening operation of a sealable container according to a first operation procedure when a sensor has detected a normal placement of the sealable container, and retries the opening operation according to a second operation procedure for being able to more reliably perform the opening operation of the sealable container, to prevent a transfer device from stopping, when the sensor has detected a placement abnormality of the sealable container.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
8.
WAFER TRANSFER APPARATUS AND WAFER TRANSFER METHOD
An object of the invention is to realize a high transfer throughput in a wafer transfer apparatus in which a wafer transfer robot transfers a wafer via an aligner. A wafer transfer apparatus includes a wafer transfer robot, and a separation dimension between a pair of wafer holding rods forming a finger of the wafer transfer robot is set to be larger than a dimension of a body portion of an aligner in a width direction provided in the wafer transfer apparatus. In addition, an elevating mechanism provided in the wafer transfer apparatus is configured to be able to move the finger to below the body portion of the aligner, thereby achieving the object of the invention.
Provided is a FOUP transfer device for transferring FOUPs between load ports and which is capable of reducing remodeling work on a pre-installed conveyance device as much as possible. FOUP transfer devices 1-1, 1-2 are installed in the vicinity of the load ports of the conveyance device, comprising one or more load ports 18-1, 18-2, and transfer FOUPs 3 between the load ports 18-1, 18-2. The FOUP transfer devices 1-1, 1-2 have first optical I/O communication devices 31-3, 31-4 and are configured such that second optical I/O communication devices 31-1, 31-2 provided for the load ports 18-1, 18-2 are connected thereto, and so as to carry out, in place of the load ports 18-1, 18-2, the optical I/O communication carried out between the load ports 18-1, 18-2 and an OHT cart 11.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
[Problem] To provide a load port which can separate a container and a lid without causing a trouble of an error stop of the entirety of a transport device, even when a seal member is adhered or the friction of the seal member is large in the container. [Solution] According to the present invention, when a sensor has detected normal loading of a sealed container, a load port control unit causes a door opening operation of the sealed container to be executed in a first operation sequence. When the sensor has detected a loading abnormality of the sealed container, the door opening operation is retried in a second operation sequence capable of more reliably executing the door opening operation of the sealed container, thereby preventing the transport device from stopping.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
11.
WAVEFORM ANALYSIS DEVICE AND WAVEFORM ANALYSIS METHOD
The present invention prevents stoppage or a disruptive accident during operation due to a breakdown in machinery. A waveform analysis device 200 comprises: a sensor unit 203 for detecting a physical phenomenon; a discrete Fourier transform unit 208 for performing a discrete Fourier transform of a detection signal transmitted from the sensor unit 203; a later-stage weighting unit 209 for setting amplitude values at each frequency generated by the discrete Fourier transform unit 208 that exceed a prescribed upper-limit value to said prescribed upper-limit value; and an accumulation unit 210 for adding the amplitude values at each frequency weighted by the later-stage weighting unit 209. An operator console 100 sets the prescribed upper-limit value in the waveform analysis device 200.
B25J 9/06 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des bras à articulations multiples
G01H 17/00 - Mesure des vibrations mécaniques ou des ondes ultrasonores, sonores ou infrasonores non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe
G01M 99/00 - Matière non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
The purpose of the present invention is to achieve high transfer throughput in a wafer transfer device in which a wafer transfer robot transfers a wafer via an aligner. This wafer transfer device is provided with a wafer transfer robot, wherein a separation dimension between a pair of wafer holding rods constituting fingers of the wafer transfer robot is greater than the width-direction dimension of a body part of an aligner provided in the wafer transfer device. A lift mechanism provided in the wafer transfer device is configured to be able to move the fingers downward below the body part of the aligner. In this way, the aforementioned purpose is achieved.
B25J 9/06 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des bras à articulations multiples
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
The purpose of the present invention is to provide, at low cost, a transport apparatus 2 which is capable of transporting a semiconductor wafer W between a FOUP 19 and a processing apparatus 3 without exposing a surface to be processed of the semiconductor wafer to an oxidizing atmosphere. This transport apparatus 2 includes a load port 20 that has atmosphere replacing function, a transport robot 2 that has an atmosphere replacing function, an aligner 40 that has an atmosphere replacing function, and a load lock chamber 12 that has an atmosphere replacing function. The surface being processed of the semiconductor wafer has the atmosphere replaced locally while the semiconductor wafer is being moved and is being subjected to processes such as positioning.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
Provided is a FOUP transfer device for transferring FOUPs between loading ports and which is capable of reducing remodeling work on a pre-installed conveyance device as much as possible. FOUP transfer devices 1-1, 1-2 are installed in the vicinity of the loading ports of the conveyance device, comprising one or more loading ports 18-1, 18-2, and transfer FOUPs 3 between the loading ports 18-1, 18-2. The FOUP transfer devices 1-1, 1-2 have first optical I/O communication devices 31-3, 31-4 and are configured such that second optical I/O communication devices 31-1, 31-2 provided for the load ports 18-1, 18-2 are connected thereto, and so as to carry out, in place of the load ports 18-1, 18-2, the optical I/O communication carried out between the load ports 18-1, 18-2 and an OHT cart 11.
B65G 1/00 - Emmagasinage d'objets, individuellement ou avec une certaine ordonnance, dans des entrepôts ou des magasins
B65G 47/90 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
15.
Aligner and correction value calculation method for aligner
An aligner includes a driving pulley connected to a motor, a toothed belt hung with respect to a driven pulley connected to a spindle, and a pulley detection sensor detecting the rotation position of the driven pulley. Each time the driving pulley rotates the driven pulley once, the misalignment in the direction of rotation of the driven pulley is detected and a correction value of the rotational misalignment of the driven pulley is calculated based on the driving and driven pulleys having a known rotation ratio. In a case where the rotation angle information of the driving motor is lost, detection data for calibration is created so that a correction value corresponding to the current phases of the driven pulley and the toothed belt after origin search is searched for.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
16.
Switching valve and suction-discharge device including the same
A switching valve includes a rotor having a pair of rollers rotatably mounted on both ends thereof, a rotor drive unit rotationally driving the rotor, a pair of pressing members, each being provided at a position where each of the pair of pressing members cooperates with each of the pair of rollers outside a revolution orbit of each of the pair of rollers revolving by rotation of the rotor, and a pair of tubes, each being disposed between the revolution orbit of each of the pair of rollers and each of the pair of pressing members. A rotation center axis of the rotor is disposed on a straight line connecting centers of rotation of the pair of rollers, and each pressing member has the pair of pressing areas symmetrical with respect to a straight line passing through the center of rotation of the rotor and extending a vertical direction.
C12M 1/00 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie
F16K 7/06 - Dispositifs d'obturation à diaphragme, p. ex. dont un élément est déformé, sans être déplacé entièrement, pour fermer l'ouverture à diaphragme tubulaire dont l'étranglement est assuré par une force extérieure radiale par tige filetée, came ou autre moyen mécanique
B01J 4/02 - Dispositifs d'alimentationDispositifs de commande d'alimentation ou d'évacuation pour introduire des quantités mesurées de réactifs
G01N 1/00 - ÉchantillonnagePréparation des éprouvettes pour la recherche
G01N 35/10 - Dispositifs pour transférer les échantillons vers, dans ou à partir de l'appareil d'analyse, p. ex. dispositifs d'aspiration, dispositifs d'injection
Provided is a holding device 45 capable of holding securely and transporting a thin plate-shaped substrate for which surface processing has been completed without causing a natural oxide film to form on the surface to be processed thereof. This holding device 45 comprises a holding member 47 for holding the thin plate-shaped substrate, a purge plate 46 having formed therein a flow path 52 for the purpose of flowing therethrough an inert gas, and a piping member for connecting an inert gas supply source to the flow path 52. The purge plate 46 is equipped with discharged ports 51, which communicate with the flow path 52 and are provided on a surface facing the surface to be processed of the thin plate-shaped substrate held by the holding member 47, for the purpose of discharging the inert gas onto the processing surface of the thin plate-shaped substrate. In addition, the holding device 45 is equipped with a raising and lowering mechanism 48 that cause the holding member 47 and the purge plate 46 to be raised and lowered relative to each other.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65G 47/91 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux comportant des pinces pneumatiques, p. ex. aspirantes
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A pod opener includes an elevating mechanism elevating the cassette in a vertical direction, a first hook member engaging with an engagement means of the cassette and supporting the cassette, a second hook member supported by the first hook member, a forward and backward movement mechanism moving the first hook member and the second hook member forward and backward with respect to the cassette, an urging member urging the second hook member upward, and an atmosphere maintaining device maintaining an internal space having the cassette disposed therein in a predetermined atmosphere and the second hook member is displaceable with respect to the first hook member.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
B65G 47/91 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux comportant des pinces pneumatiques, p. ex. aspirantes
B67B 7/12 - Dispositifs à main ou à moteur pour ouvrir des récipients fermés pour enlever les disques d'obturation
B67B 7/20 - Dispositifs à main ou à moteur pour ouvrir des récipients fermés pour faire sauter les joints d'étanchéité sous vide entre couvercles ou opercules et le corps des récipients de préservation, p. ex. en agissant comme un coin
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
Provided is an electrostatic capacitance sensor which can remove an influence of a noise occurring from a neutralization device or a driving source and accurately perform measurement even on electrostatic capacitance detected by a thin-type detection unit which can be pasted to a finger surface of a wafer transfer robot. The present invention is provided with: an AC supply source 29 which supplies an AC voltage to a detection unit 1a; a parasitic capacitance compensation circuit 33; an operational amplifier 28; a differential amplifier 34; a phase detection means 35; and a low pass filter, wherein an operational amplification output terminal is connected to an inversion input terminal of the differential amplifier 34 through a first band pass filter 30, the AC supply source 29 is connected to a non-inversion input terminal of the differential amplifier 34 through a second band pass filter 31, an output terminal of the differential amplifier 34 is connected to an input terminal of the phase detection means 35, and the phase detection means 35 takes, as a reference signal, an AC signal output from the AC supply source 29.
G01B 7/14 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques électriques ou magnétiques pour mesurer la distance ou la marge entre des objets ou des ouvertures espacés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
20.
Thin-plate substrate holding finger and transfer robot provided with said finger
Provided is holding finger 21 with which a thin-plate substrate W that has been subjected to surface processing can be transferred without generating a natural oxide film on a surface to be processed of the thin-plate substrate W. The holding finger 21 comprises: a finger body 47 which is internally formed with a flow path for circulating an inert gas; a pipe member which provides communication between an inert gas supply source and the flow path; an ejection port for ejecting the inert gas onto the surface to be processed of the thin-plate substrate W, the ejection port communicating with the flow path and being disposed on a surface of the finger body 47 opposing the surface to be processed of the thin-plate substrate W; an abutting member 49 which is disposed on the surface of the finger body 47 on which the ejection port is formed, and which abuts a peripheral portion of the thin-plate substrate W; a clamp member 57 which is disposed to be movable forward and backward with respect to the thin-plate substrate W; and a clamp mechanism for the clamp member 57 forward and backward.
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B25J 15/08 - Têtes de préhension avec des éléments en forme de doigts
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
The purpose of the present invention is to provide, at low cost, a transport device 2 which is capable of transporting a semiconductor wafer W between a FOUP 19 and a processing device 3 without exposing a surface to be processed of the semiconductor wafer to an oxidizing atmosphere. This transport device 2 includes a load port 20 that has an atmosphere replacing function, a transport robot 30 that has an atmosphere replacing function, an aligner 40 that has an atmosphere replacing function, and a load lock chamber 12 that has an atmosphere replacing function. The surface being processed of the semiconductor wafer has the atmosphere replaced locally while the semiconductor wafer is being moved and is being subjected to processes such as positioning.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
22.
ALIGNER AND CORRECTION VALUE CALCULATION METHOD FOR ALIGNER
In order to inexpensively provide an aligner that achieves high positioning accuracy by correcting a position deviation caused by a manufacturing error in the pitch of a toothed belt, a toothed belt stretched between a drive pulley connected to a motor and a driven pulley connected to a spindle, and a pulley detection sensor for detecting the rotational position of the driven pulley are provided, a position deviation in the rotational direction of the driven pulley is detected every time a rotational operation for rotating the driven pulley once by the drive pulley is performed, and on the basis of the drive pulley and the driven pulley that have a known rotational ratio, a correction value for a rotational position deviation of the driven pulley is calculated. If rotational angle information of the drive motor has been lost, detection data for calibration is created in order to search for a correction value corresponding to the current phases of the driven pulley and the toothed belt after an origin search.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
23.
Waveform analysis device and waveform analysis method
Provided are a waveform analysis method and a waveform analysis device capable of preventing, in advance, a breakage accident during operation and preventing stoppage due to breakdown of machinery and performing efficient maintenance work by specifying a degraded part from among the parts that constitute the machinery. A waveform analysis device 30 is provided with; a signal analysis unit 31 for performing fast Fourier transform for a signal transmitted from a sensor 28 that detects a physical phenomenon in the machinery an impulse extraction unit 32 for extracting an impulse component from spectrum data generated by the signal analysis unit 31; a display unit 35 for displaying waveform data including the impulse component extracted by the impulse extraction unit 32; and a data editing unit 33 for editing, from data of a waveform including the impulse component displayed by the display unit 35, waveform data in a range selected via an input unit 36 by a worker, generating a graph displaying a frequency, a time, and the intensity of the impulse component, and displaying the graph on the display unit 35.
G01H 11/06 - Mesure des vibrations mécaniques ou des ondes ultrasonores, sonores ou infrasonores par détection des changements dans les propriétés électriques ou magnétiques par des moyens électriques
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
G01N 29/44 - Traitement du signal de réponse détecté
G01N 29/14 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi d'ondes ultrasonores, sonores ou infrasonoresVisualisation de l'intérieur d'objets par transmission d'ondes ultrasonores ou sonores à travers l'objet utilisant des techniques d'émission acoustique
G01N 29/46 - Traitement du signal de réponse détecté par analyse spectrale, p. ex. par analyse de Fourier
24.
THIN PLATE-SHAPED SUBSTRATE HOLDING DEVICE, AND HOLDING DEVICE EQUIPPED TRANSPORT ROBOT
Provided is a holding device 45 capable of holding securely and transporting a thin plate-shaped substrate for which surface processing has been completed without causing a natural oxide film to form on the surface to be processed thereof. This holding device 45 comprises a holding member 47 for holding the thin plate-shaped substrate, a purge plate 46 having formed therein a flow path 52 for the purpose of flowing therethrough an inert gas, and a piping member for connecting an inert gas supply source to the flow path 52. The purge plate 46 is equipped with discharge ports 51, which communicate with the flow path 52 and are provided on a surface facing the surface to be processed of the thin plate-shaped substrate held by the holding member 47, for the purpose of discharging the inert gas onto the processing surface of the thin plate-shaped substrate. In addition, the holding device 45 is equipped with a raising and lowering mechanism 48 that causes the holding member 47 and the purge plate 46 to be raised and lowered relative to each other.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 15/08 - Têtes de préhension avec des éléments en forme de doigts
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
Provided is an inexpensive pod opener that opens the door of a container and that places cassettes arranged in a stacked manner inside the container into a state where the cassettes can be accessed by fingers of a transportation robot. A pod opener according to the present invention is provided with: an elevating mechanism for moving a cassette up and down in the vertical direction; a first hook member that engages with an engagement means provided in the cassette and that supports the cassette; a second hook member supported by the first hook member; an advancing/retracting mechanism for advancing and retracting the first hook member and the second hook member relative to the cassette; a biasing member for biasing the second hook member upward; and an atmosphere-maintaining device for maintaining an inner space in which the cassette is disposed at a prescribed atmosphere. The second hook member is configured to be displaceable relative to the first hook member.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
26.
THIN-PLATE SUBSTRATE HOLDING FINGER AND TRANSFER ROBOT PROVIDED WITH SAID FINGER
Provided is a holding finger (21) with which a thin-plate substrate (W) that has been subjected to surface processing can be transferred without generating a natural oxide film on a surface to be processed of the thin-plate substrate (W). The holding finger (21) comprises: a finger body (47) which is internally formed with a flow path for circulating an inert gas; a pipe member which provides communication between an inert gas supply source and the flow path; an ejection opening for ejecting the inert gas onto the surface to be processed of the thin-plate substrate (W), the ejection opening communicating with the flow path and being disposed on a surface of the finger body (47) opposing the surface to be processed of the thin-plate substrate (W); an abutting member (49) which is disposed on the surface of the finger body (47) on which the ejection opening is formed, and which abuts a peripheral portion of the thin-plate substrate (W); a clamp member (57) which is disposed to be movable forward and backward with respect to the thin-plate substrate (W); and a clamp mechanism for moving the clamp member (57) forward and backward.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 15/08 - Têtes de préhension avec des éléments en forme de doigts
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
27.
Switching valve and suction-discharge device including the same
Since a drive unit is disposed in a body of a switching valve included in a suction-discharge device in the related art and a sample flows in the body of the switching valve, a treatment, such as autoclave sterilization, could not be performed. For this reason, a contamination cause, such as bacteria, could not be completely removed. Since a switching valve of the invention is formed of a mechanism for blocking tubes by pressing the tubes, in which a sample flows, from the outside, a contamination cause, such as bacteria, is not spread to the switching valve. Further, tubes and a syringe pump, which are installed on a suction-discharge device of the invention, form an assembly that can be easily replaced even though contamination is generated.
C12M 1/00 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie
F16K 7/06 - Dispositifs d'obturation à diaphragme, p. ex. dont un élément est déformé, sans être déplacé entièrement, pour fermer l'ouverture à diaphragme tubulaire dont l'étranglement est assuré par une force extérieure radiale par tige filetée, came ou autre moyen mécanique
B01J 4/02 - Dispositifs d'alimentationDispositifs de commande d'alimentation ou d'évacuation pour introduire des quantités mesurées de réactifs
G01N 1/00 - ÉchantillonnagePréparation des éprouvettes pour la recherche
G01N 35/10 - Dispositifs pour transférer les échantillons vers, dans ou à partir de l'appareil d'analyse, p. ex. dispositifs d'aspiration, dispositifs d'injection
Provided are a waveform analysis method and a waveform analysis device capable of preventing, in advance, a breakage accident during operation and preventing stoppage due to breakdown of machinery and performing efficient maintenance work by specifying a degraded part from among the parts that constitute the machinery. A waveform analysis device 30 is provided with: a signal analysis unit 31 for performing fast Fourier transform for a signal transmitted from a sensor 28 that detects a physical phenomenon in the machinery; an impulse extraction unit 32 for extracting an impulse component from spectrum data generated by the signal analysis unit 31; a display unit 35 for displaying waveform data including the impulse component extracted by the impulse extraction unit 32; and a data editing unit 33 for editing, from data of a waveform including the impulse component displayed by the display unit 35, waveform data in a range selected via an input unit 36 by a worker, generating a graph displaying a frequency, a time, and the intensity of the impulse component, and displaying the graph on the display unit 35.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
G01H 3/00 - Mesure des vibrations en utilisant un détecteur dans un fluide
G01H 17/00 - Mesure des vibrations mécaniques ou des ondes ultrasonores, sonores ou infrasonores non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe
29.
Load port and load port atmosphere replacing method
Provided is a load port capable of loading and unloading a substrate by a transfer robot in a state where a purge gas atmosphere is maintained inside a substrate storage space. After the lid of the substrate storage container is opened, an opening portion of the substrate storage container is closed by a frame sealing a peripheral edge of the opening portion of the substrate storage container and a shutter portion where a plurality of shielding plates are disposed in a vertical direction at a third position which is further moved forward from a release position. The shutter portion can locally move all or a portion of the shielding plates to form a narrow opening portion (third opening portion), and transferring of the substrate in the state where an atmosphere of the substrate storage space is replaced is performed through the narrow opening portion (third opening portion).
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
30.
SWITCHING VALVE, AND SUCTION/DISCHARGE DEVICE PROVIDED WITH SAME
For switching valves provided in conventional suction/discharge devices, driving parts are disposed inside the body and sample flows through the inside of the switching valve body. Therefore, it is not possible to perform treatments such as autoclave sterilization and it is not possible to completely remove causes of contamination such as unwanted bacteria. This switching valve has a structure in which causes of contamination such as unwanted bacteria are not propagated to the switching valve as a result of having a structure in which tubes through which sample flows are pressed from the outside to stop flow inside the tube. Moreover, the tubes and syringe pump that are installed in this suction/discharge device are assemblies that are easily exchangeable even if contamination occurs.
F16K 7/06 - Dispositifs d'obturation à diaphragme, p. ex. dont un élément est déformé, sans être déplacé entièrement, pour fermer l'ouverture à diaphragme tubulaire dont l'étranglement est assuré par une force extérieure radiale par tige filetée, came ou autre moyen mécanique
B01J 4/02 - Dispositifs d'alimentationDispositifs de commande d'alimentation ou d'évacuation pour introduire des quantités mesurées de réactifs
C12M 1/00 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie
G01N 1/00 - ÉchantillonnagePréparation des éprouvettes pour la recherche
G01N 35/10 - Dispositifs pour transférer les échantillons vers, dans ou à partir de l'appareil d'analyse, p. ex. dispositifs d'aspiration, dispositifs d'injection
31.
LOADING PORT AND LOADING PORT ATMOSHPERE SUBSTITUTION METHOD
Provided is a loading port allowing a transfer robot to transfer in and transfer out a substrate while the state inside a substrate storage space is maintained in a purging gas atmosphere. After the lid of a substrate storage container has been opened, at a third position that is further forward from the releasing position, the opening portion of the substrate storage container is shut by a frame body, which tightly seals the periphery of the opening portion of the substrate storage container, and a shutter unit, which comprises a plurality of shutter plates arranged in the vertical direction. The shutter unit is capable of forming a narrow opening portion (third opening portion) by moving all or some of the plurality of shutter plates locally. The substrate transfer with the interior of the substrate storage space in the atmosphere substituted state is performed through this narrow opening portion (third opening portion).
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
32.
Device and method for detecting position of semiconductor substrate
Provided is a position detecting device that is capable of precisely detecting the coordinates of the center of a disc-shaped substrate from image data captured by one camera, calculating the amount of positional misalignment of the disc-shaped substrate on a support member as the disc-shaped substrate is being transported during processing, and correcting the position such that the substrate can be located at the precise loading position. Isosceles right triangles, each having the radius of the disc-shaped substrate as one side, are generated from the coordinates of two places on edge data extracted from the image data and the radius on the edge data, and the coordinates of the center position of the disc-shaped substrate are detected by using the Pythagorean theorem.
G06K 9/00 - Méthodes ou dispositions pour la lecture ou la reconnaissance de caractères imprimés ou écrits ou pour la reconnaissance de formes, p.ex. d'empreintes digitales
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
G01B 11/00 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
Provided is a wafer stocker that can prevent the inflow of an external atmosphere, maintain a wafer storage space at a desired atmosphere with a relatively small amount of gas, and prevent dust from being attached to a wafer surface. A shutter portion, including multiple shield plates having the same height as an interval between shelf plates disposed in a storage container, is disposed with a slight space from a body portion, and by supplying clean gas into the storage container, a clean atmosphere of a higher pressure than an external environment is maintained, and a shutter portion is opened and closed by moving up and down the shield plate independently from the shelf plate that supports a wafer.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
E05F 15/10 - fonctionnant par électro-moteurs rotatifs
E05F 15/20 - commandés par des moyens d'action automatique, p.ex. par des cellules photo-électriques, par des ondes électriques, par des thermostats, par la pluie, par le feu
34.
DEVICE AND METHOD FOR DETECTING POSITION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
Provided is a position detecting device that is capable of precisely detecting the coordinates of the center of a disc-shaped substrate from image data captured by one camera, calculating the amount of positional misalignment of the disc-shaped substrate on a support member as the disc-shaped substrate is being transferred during processing, and correcting the position such that the substrate can be loaded at the precise loading position. Isosceles right triangles, each having the radius of the disc-shaped substrate as one side, are generated from the coordinates of two points on edge data extracted from the image data and the radius of the disc-shaped substrate or the coordinates of three points on the edge data, and the coordinates of the center position of the disc-shaped substrate are detected by using the Pythagorean theorem.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
G01B 11/00 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques
35.
Constant-temperature device provided with rotating specimen table
Provided is a constant-temperature device which comprises conveyance mechanism and which can operate stably over a long period of time even when installed in an atmosphere of a sterilization gas having strong oxidative properties, such as hydrogen peroxide gas, or a high temperature environment during dry-heat sterilization operations. A drive unit for a rotatably operated specimen table (10) on which a specimen is placed, in an incubation chamber, is arranged outside of the incubation chamber, and the drive-force from the drive unit is transmitted by means of magnetic coupling. Furthermore, ring-shaped seal packing (22), in which a lip (24) is formed, is arranged above and below a base plate (13) provided to the specimen plate (10), and a seal plate (23) is arranged along the entire perimeter of the base plate (13) at the portion which makes contact with the lip (24), thus a bearing (17) and/or a drive portion are isolated from high-temperature atmospheres and in-chamber atmospheres having strong oxidative properties, preventing damage due to high temperatures or sterilization gas.
A47B 49/00 - Meubles à tiroirs ou étagères pivotantsMeubles à tiroirs ou étagères avec des parties pivotantes
B01L 7/00 - Appareils de chauffage ou de refroidissementDispositifs d'isolation thermique
A47B 81/00 - Meubles à tiroirs, étagères ou rayonnages spécialement adaptés à d'autres usages particuliers, p. ex. pour stocker des fusils ou des skis
B01J 3/03 - Récipients sous pression, ou récipients sous vide, comportant des organes de fermeture ou des joints d'étanchéité spécialement adaptés à cet effet
B01J 3/04 - Récipients sous pression, p. ex. autoclaves
C12M 1/00 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie
H02K 49/10 - Embrayages dynamo-électriquesFreins dynamo-électriques du type à aimant permanent
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
2 sensor and an oxygen concentration sensor, a sensor unit (100) is arranged inside or close to an incubation chamber, and the internal atmosphere is measured by sucking-in the atmosphere of the incubation chamber (2) by means of an air-flow generation means (20). Furthermore, high-precision filters (23, 24) are arranged in the flow channel through which the atmosphere within the incubation chamber (2) is taken-in/discharged, preventing bacteria and/or cells from flowing in, and also preventing the diffusion of sterilization gas to the inside of a sensor unit (100) during sterilization.
Provided is a wafer stocker in which external atmosphere inflow can be prevented, a prescribed atmosphere can be maintained in a way for accommodating space with a comparatively small amount of a gas, and in which it is possible to prevent dust and grit from adhering to the surfaces of wafers. Shutter parts formed from a plurality of shielding plates having a height dimension the same as the spacing of shelves disposed within an accommodating container are disposed with a minute gap opened with a main body part. By supplying a clean gas to the inside of the accommodating container, a clean atmosphere with higher pressure than the outside environment is maintained, and also the shutter part is opened and closed by moving the shielding plates up and down independently of the shelves that support wafers.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
A robot control apparatus and a control method for moving a tool along a synthesized trajectory where at least two operations are synthesized in the middle of a desired trajectory. Control positions for a preceding operation and those for a succeeding operation are calculated from initial to terminal values, respectively. With a requirement that initial values for the succeeding operation be matched to terminal values for preceding operation, target control positions at a predetermined time for an actuator in a section where a tool is moved along the synthesized trajectory are calculated on the basis of values obtained by adding values of a difference between the predetermined time and a previous time for the preceding operation to values of a difference between the predetermined time and the previous time for the succeeding operation, and the actuator is controlled such that calculated target control positions are attained.
Provided is a constant-temperature device which comprises an automatic conveyance mechanism and which can operate stably over a long period of time even when installed in an atmosphere of a sterilization gas having strong oxidative properties, such as hydrogen peroxide gas, or a high temperature environment during dry-heat sterilization operations. A drive unit for a rotatably operated specimen table (10) on which a specimen is placed, in an incubation chamber, is arranged outside of the incubation chamber, and the drive-force from the drive unit is transmitted by means of magnetic coupling. Furthermore, ring-shaped seal packing (22), in which a lip (24) is formed, is arranged above and below a base plate (13) provided to the specimen table (10), and a seal plate (23) is arranged along the entire perimeter of the base plate (13) at the portion which makes contact with the lip (24), thus a bearing (17) and/or a drive portion are isolated from high-temperature atmospheres and in-chamber atmospheres having strong oxidative properties, preventing damage due to high temperatures or sterilization gas.
In order to enable the inside of a constant-temperature device to be sterilized using sterilization gas and prevent contamination during incubation, even when provided with an atmosphere measuring means (19) having a CO2 sensor and an oxygen concentration sensor, a sensor unit (100) is arranged inside or close to an incubation chamber, and the internal atmosphere is measured by sucking-in the atmosphere of an incubation chamber (2) by means of an air-flow generation means (20). Furthermore, high-precision filters (23, 34) are arranged in the flow channel through which the atmosphere within the incubation chamber (2) is taken-in/discharged, preventing bacteria and/or cells from flowing in, and also preventing the diffusion of sterilization gas to the inside of a sensor set (100) during sterilization.
First and second parallel link mechanisms 36, 38 are connected via a short link 35 arranged on a rotational angle transmission mechanism 29 so that a rotation applied to the first parallel link mechanism 36 is transmitted to the second parallel link mechanism 38 via the rotational angle transmission mechanism 29. The rotational angle transmission mechanism 29, the second parallel link mechanism 38 and the driven side link of the first parallel link mechanism 36 are horizontally supported by the drive side link 30 of the first parallel link mechanism 36. The rotational angle transmission mechanism 29 transmits the rotational angle applied to the drive side link 30 of the first parallel link mechanism 36 to the drive side link 32 of the second parallel link mechanism 38 supported by the drive side link 30 via the guide means that is parallel to the short link 35.
A control device and control method for dramatically reducing processing time required for the preprocessing of robot control by eliminating the necessity, while on a desired trajectory, of calculation processing to obtain a synthesized trajectory when moving a tool along a synthesized trajectory in which at least two operations are synthesized. Pre-operation control values for implementing a pre-operation are calculated from an initial value to an end value, and post-operation control values for implementing a post-operation are calculated from an initial value to an end value. A condition is added which matches the initial value of the post-operation control values to the end value of the pre-operation control values, and on the basis of the difference value between a present value and a previous value of the pre-operation control values and the difference value between the present value and the previous value of the post-operation control values, a present target control value is calculated for an actuator for the segment of the synthesized trajectory on which the tool is moving, and the actuator is controlled so as to obtain the calculated target control value.
Provided are a conveyance arm which is low cost and can maintain high conveyance accuracy even after being operated for a long period of time, and a conveyance robot provided with the conveyance arm. A conveyance arm is configured in such a manner that a first parallel link mechanism (36) and a second parallel link mechanism (38) are connected to cause the first and second parallel link mechanisms (36, 38) to have a common short link axis (35), which is disposed on a rotational angle transmission mechanism (29), to thereby allow a rotational motion applied to the first parallel link mechanism (36) to be transmitted to the second parallel link mechanism (38) through the rotational angle transmission mechanism (29). Alternatively, a conveyance arm is configured in such a manner that a rotational angle transmission mechanism (29) and driven side links of a second parallel link mechanism and a first parallel link mechanism (36) are supported in the horizontal direction by a drive side link (30) of the first parallel link mechanism (36) and that the rotational angle transmission mechanism (29) is configured in such a manner that the rotational angle applied to the drive side link (30) of the first parallel link mechanism (36) is transmitted to a drive side link (32) of the second parallel link mechanism supported by the drive side link (30) of the first parallel link mechanism (36) through a guide means disposed parallel to a short link axis (35).
B25J 9/06 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des bras à articulations multiples
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
44.
Transport apparatus, position teaching method, and sensor jig
Disclosed are a transport apparatus that holds and transports an object on a predetermined transport track using a transport portion provided at the leading end of an arm and is capable of acquiring the teaching information of a transport position using a normal transport operation, a position teaching method, and a sensor jig. A transmissive sensor (32) is provided in a sensor jig (30) such that the projection segments of an optical axis (41) and an optical axis (42) on a projection plane intersect with each other and neither the project segment of the optical axis (41) nor the projection segment of the optical axis (42) is aligned with the X-direction and the Y-direction. During a position teaching operation, the sensor jig (30) is provided so as to be held by a wafer transport portion (24), thereby detecting target members (51, 52).
G06F 7/00 - Procédés ou dispositions pour le traitement de données en agissant sur l'ordre ou le contenu des données maniées
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
B65G 1/00 - Emmagasinage d'objets, individuellement ou avec une certaine ordonnance, dans des entrepôts ou des magasins
B25J 9/22 - Systèmes d'enregistrement ou de reproduction
Provided is constant-temperature equipment wherein maintenance is facilitated with the least failure, and highly reliable culturing and testing can be carried out. Mechanical and electrical structures are eliminated from the inside of a temperature-controlled chamber (15) by using a non-contact magnetic arrangement as a drive transmission for a sample table (5) and a sample table drive (6), thus reducing failure and enhancing maintainability. In addition, a conveyor (11) is provided with a pass box to minimize change in atmosphere during conveying. The sample table drive (6) and the conveyor (11) can be attached removably to the temperature-controlled chamber (15) to permit sterilization at high temperature.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
Constant-temperature equipment wherein mechanical and electrical structures are eliminated from the inside of a temperature-controlled chamber (15) by using a non-contact magnetic arrangement as a drive transmission for a sample table (5) and a sample table drive mechanism (6), thus reducing failure and enhancing maintainability. In addition, a conveyance mechanism (11) is provided with a pass box adjacent which sliding shielding plates (9) are stacked vertically, and the shielding plates (9) are linked with the conveyance mechanism (11) by an engaging mechanism provided in the conveyance mechanism (11) to allow the plates to be opened and closed by a travel mechanism (12), thus simplifying the structure and minimizing change in atmosphere during conveying. The sample table drive mechanism (6) and the conveyance mechanism (11) can be attached removably to the temperature-controlled chamber (15) to permit sterilization at high temperature.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
Disclosed is a holding apparatus, which suppresses generation and scattering of dusts due to friction, with which conventional transfer hands can be easily replaced at low cost, and is thin and light-weight and capable of moving to even a narrow area. The holding apparatus (22) is provided therein with: a flow channel (36) for circulating a compressed gas; a transfer finger (23) having a jetting port (30), from which the compressed gas is jetted; a first holding member (26), which is fixed to the leading end of the transfer finger (23); and a second holding member (29) which is operated by means of a drive means (28). The circumferential edge portion of the thin-board-like material floated by means of the jet force of the compressed gas is held, while having a positional shift corrected by means of the first holding member (26) and the second holding member (29).
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 15/08 - Têtes de préhension avec des éléments en forme de doigts
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
An improved atmosphere replacement device configured to purge a FOUP type container by means of a purge gas. An atmosphere replacement device is provided with a non-nozzle type purge plate designed in such a manner that a laminar purge gas flow flows out of an outflow surface. The purge plate can be moved between a standby position and an operation position by a purge plate drive mechanism. During purging, the purge plate is placed at the operation position and, while facing the open surface, purges a FOUP type container by causing the laminar purge gas to flow out of the purge plate into the inside of the open surface of the FOUP type container.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
Provided is constant-temperature equipment wherein maintenance is facilitated with least failure, and highly reliable culturing and testing can be carried out. Mechanical and electrical structures are eliminated from the inside of a temperature-controlled chamber (15) by using a non-contact magnetic means as a drive transmission means for a sample table (5) and a sample table drive means (6), thus reducing failure and enhancing maintainability. In addition, a conveyance means (11) is provided with a pass box to minimize replacement of atmosphere during conveying. The sample table drive means (6) and the conveyance means (11) can be attached removably to the temperature-controlled chamber (15) to permit sterilization at high temperature.
Provided is constant-temperature equipment wherein maintenance is facilitated with least failure, and highly reliable culturing and testing can be carried out. Mechanical and electrical structures are eliminated from the inside of a temperature-controlled chamber (15) by using a non-contact magnetic means as a drive transmission means for a sample table (5) and a sample table drive mechanism (6), thus reducing failure and enhancing maintainability. In addition, a conveyance mechanism (11) is provided with a pass box in which shielding plates (9) are stacked vertically, and the shielding plates (9) are linked with the conveyance mechanism (11) by an engaging means provided in the conveyance mechanism (11) to allow the plates to be opened/closed by a traveling mechanism (12), thus simplifying the structure and minimizing replacement of atmosphere during conveying. The sample table drive mechanism (6) and the conveyance means (11) can be attached removably to the temperature-controlled chamber (15) to permit, sterilization at high temperature.
Provided are a carrier device which carries an object on a previously-set carrying track with the object held by a carrier section capable of obtaining teaching information relating to a carrying position by normal carrying operation and installed at the leading end of an arm, a position-teaching method, and a sensor jig. A light-transmitting sensor (32) is provided to the sensor jig (30) such that projected line segments of an optical axis (41) and an optical axis (42) to a projection surface intersect with each other and neither the projected line segment of the optical axis (41) nor that of the optical axis (42) is in an X-direction nor Y-direction. When teaching a position, the sensor jig (30) is installed while being gripped by the wafer carrying section (24), thereby detecting target members (51, 52).
B25J 9/22 - Systèmes d'enregistrement ou de reproduction
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
52.
SHUTTLE TYPE CONVEYING DEVICE, MICROPLATE FEEDING AND COLLECTING DEVICE, PICKUP DEVICE FOR MICROPLATE, CASSETTE FOR MICROPLATE, AND SHELF FOR RECEIVING MICROPLATE
A shuttle type conveying system capable of efficiently conveying articles, such as microplates, by a shuttle conveying part reciprocating on a conveying route. The system has a feeding and collecting device (40) capable of setting a cassette (80), in which the articles (95) to be conveyed are stacked, directly on a rotary feeding table; a pickup device (50) for taking out the articles (95) and placing them on a receiving/delivering table (R1); and a conveying device (10) for conveying the articles on the reception/delivery table to another reception/delivery table by the shuttle conveying part (11) traveling on the conveying routes (La to Lc) formed under the receiving/delivering table (R1). After the articles are raised by the shuttle conveying part and moved to the outside of the receiving/delivering table, they are lowered to below the reception/delivery table. Then, the shuttle conveying part travels under the receiving/delivering table with the articles placed on it, conveying the article to other delivery tables (R2 to R4).
A microwave plasma generator in which the generating amount of radicals can be regulated easily with higher reaction efficiency while reducing gas consumption. The microwave plasma generator comprises an outer conductor (2), an inner conductor (3) arranged in the internal space (4) of the outer conductor, a discharge tube (7) having a double tube structure consisting of an inner tube (5) and an outer tube (6) and penetrating the outer and inner conductors in the axial direction, and a cavity (1) having a means for adjusting the position of the inner tube to the outer tube in the axial direction in the discharge tube. The microwave plasma generator is further provided with a first gas supply pipe (16), which has a first flow control valve (18) and supplies first gas from a gas cylinder (14) to the outer tube of the discharge tube, a second gas supply pipe (17), which has a second flow control valve (19) and supplies second gas to the inner tube of the discharge tube, a microwave generation source (21), and a microwave supplying passage (22) for supplying microwave from the microwave generation source to the cavity.
A stator portion of a linear motor includes a U-phase coil portion (10U), a V-phase coil portion (10V), and a W-phase coil portion (10W) through which currents with phases different by 120 degrees from one another flow. Each coil portion has pairs of a first coil wound clockwise and a second coil wound counterclockwise. The pairs of coils adjoin to each other in the moving direction and are connected in series and arrayed in the moving direction. When the extension length from the first coil to the second coil is 360 degrees, the V-phase coil portion overlaps with and is shifted from the U-phase coil portion by 120 degrees, and the W-phase coil portion overlaps with and is shifted from the V-phase coil portion by 120 degrees with respect to the moving direction. A magnet portion (30) is movably combined with the U-phase, V-phase, and W-phase coil portions. The length of the magnet portion in the moving direction is less than a half of the wavelength of the magnetic flux generated with the coils. On a movable portion, a Hall element (40) is mounted at the position away from the center of the magnet portion by an integral multiple of a half of the wavelength of the magnetic flux generated with the coils. Depending on the output from the Hall element, the amplitude or phase of the current fed to each coil portion is controlled.
Provided are a container transporting apparatus and a container transporting system which can suitably transport containers corresponding to a process speed, arrangement configuration and the like of a processing apparatus. The container transporting system is provided for transporting the container which stores substrates inside, and is provided with a plurality of container transporting apparatuses. The container transporting apparatus is provided with a transporting robot having a lifting means for lifting the container being held and a linearly shifting means; and a placing table for placing at least one container.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
A transfer robot is composed of two concentrically arranged driving sources; a driving arm protruding from a side plane of each driving source; two driven arms arranged at the other end of the driving arm; and a hand arranged at a leading end of the driven arm to form a pair with another. The transfer robot advances, retracts and turns the first hand and the second hand through each arm by turning the driving sources in different directions or in the same direction. A processing apparatus provided with the transfer robot is provided with a plurality of placing chambers whose planar shapes are square, by connecting the chambers with connecting chambers, and transfer and receive substrates to and from two process chambers provided on each side wall plane of the placing chamber, by the substrate transfer robot arranged close to the center inside the placing chamber.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 9/06 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des bras à articulations multiples
B65G 49/06 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des feuilles fragiles, p. ex. en verre
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
A cassette conveyance system for conveying large-sized heavy objects such as substrates and cassettes having grown in size, where production of dust and the space the system occupies can be suppressed. A cassette (3) above a conveyance path (4, 7, 9a, 9b) is levitated by a levitation device (6) and horizontally moved along the conveyance path with the levitated cassette (3) held by a pair of cassette transfer arms (5a-5c) provided at a side of the conveyance path (4, 7, 9a, 9b). Since the cassette (3) is being levitated, production of dust by sliding friction is prevented and, in addition, a cassette movement device for moving the cassette (3) can be reduced in size.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65G 49/06 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des feuilles fragiles, p. ex. en verre
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
brevets
