Provided is a pod opening/closing device connected to a substrate transfer chamber, wherein the pod opening/closing device has a configuration that enables control of the height dimension of the substrate transfer chamber. A pod opening/closing device 4 comprises: a placement section 44 on which an SMIF pod 100 having a bottom plate 101 and a cover 102 can be placed; a base 41; an opening 92 formed in the base 41; a shutter 42 that is arranged on the opposite side of the placement section 44 across from the base 41 and is able to close off and open up the opening 92; a cover movement mechanism 81; and a shutter opening/closing mechanism 82. The cover movement mechanism 81 is capable of moving the cover 102 between a lower position for covering a cassette C placed on the bottom plate 101, and an upper position that is higher than the lower position and exposes the cassette C. The shutter opening/closing mechanism 82 is capable of moving the shutter 42 between a closed position at which the opening 92 is closed, and an opened position which is below the closed position and on the inside of a substrate transfer chamber 2 connected to the pod opening/closing device 4, and at which the opening 92 is open.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65B 31/02 - Remplissage, fermeture, ou remplissage et fermeture, de réceptacles dans des chambres maintenues en dépression ou en surpression ou contenant une atmosphère spéciale, p. ex. du gaz inerte
The present invention more reliably suppresses erroneous determinations pertaining to the accommodation state of a substrate by using a simple means. A load port 4 can detect information pertaining to the accommodation state of a substrate S accommodated in a FOUP 100 having an opening 114 in a side surface. The load port 4 has lighting 62 and a camera 61. The camera is 61 is positioned such that, when imaging an imaging region 200, a virtual line VL passing through a light reception point RP and a detection target point SP intersects a non-facing surface, which is a surface other than a back surface 113B facing the opening 114 side.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
Provided is a power conversion device in which, even when divided input torque command values for a plurality of power conversion units are corrected so that the DC input voltages of the plurality of power conversion units become equal, torque can be accurately controlled so that the total of torque command values input to the plurality of power conversion units coincide with an input torque command value for the entire system including the plurality of power conversion units. A power conversion device 1 has: an input voltage adjustment unit 50 that corrects a divided input torque command value input to each of a plurality of power conversion units 10, 20, 30 in accordance with an input torque command value Trq_ref so that voltages on the input sides of the plurality of power conversion units 10, 20, 30 become equal to each other; and a torque command adjustment unit 60 that corrects the divided input torque command values using a second torque command correction value obtained on the basis of the total of the correction amounts of the divided input torque command values by the input voltage adjustment unit 50.
H02P 27/06 - Dispositions ou procédés pour la commande de moteurs à courant alternatif caractérisés par le type de tension d'alimentation utilisant une tension d’alimentation à fréquence variable, p. ex. tension d’alimentation d’onduleurs ou de convertisseurs utilisant des convertisseurs de courant continu en courant alternatif ou des onduleurs
H02M 7/48 - Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu en une puissance de sortie en courant alternatif sans possibilité de réversibilité par convertisseurs statiques utilisant des tubes à décharge avec électrode de commande ou des dispositifs à semi-conducteurs avec électrode de commande
Provided is a technology that makes it possible to correct the position of a tape frame on the basis of either a frame part or a substrate. A controller 150 can perform position correction either by first position correction processing that corrects the position of a frame part F of a tape frame TF installed on a stage 100 on the basis of a captured image captured of the frame part F by a camera 120 or second position correction processing that corrects the position of a wafer W on a tape part T of the tape frame TF installed on the stage 100 on the basis of a captured image captured of the wafer W by the camera 120.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
According to the present invention, the amount of deflection of a substrate in a container is calculated without rotating the container. A load port 4 comprises: a support frame 43; a placement unit 44 on which a FOUP 100, in which a plurality of wafers W are accommodated, is placed; a scanner unit 45; and a control unit 46. The scanner unit 45 detects a first portion Wb1, a second portion Wb2, and a third portion Wb3 of an end surface Wb of a wafer W while maintaining a fixed state in which the FOUP 100 is placed on the placement unit 44 and the angle of the FOUP 100 around a vertical axis with respect to the support frame 43 is fixed. The control unit 46 determines whether each wafer W is normally accommodated in the FOUP 100 by using information of a first position of the first portion Wb1 and information of a second position of the second portion Wb2. The control unit 46 calculates the amount of deflection in the vertical direction of the wafer W normally stored in the FOUP 100 by using the information of the first position and/or the information of the second position, and information of the third position of the third portion Wb3.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
G01B 11/00 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques
A cell dispensing device capable of efficiently dispensing cells while reducing the risk of mixing of bacteria or the like is provided. The cell dispensing device includes a first tube configured to connect a container and a dispensing container to each other, a syringe pump attached to a second tube connected to a branch portion formed in the first tube, and a buffer tank provided between the syringe pump and the branch portion. The cell suspension stored in the container is temporarily stored in the buffer tank and is delivered to the dispensing container by the syringe pump.
An EFEM includes a housing having a substantially closed substrate transfer space in the housing and a control part configured to perform a control of supplying an inert gas into at least the housing. The control part includes an inert gas total supply amount setting part configured to set a total supply amount of the inert gas to be supplied into the housing; a door open/purge determination part configured to determine whether a container door of a substrate storage container is in an open state and whether a purge device is performing a purge process; and an in-housing inert gas supply amount calculation part configured to calculate a supply amount of the inert gas to be supplied into the housing. The supply amount of the inert gas to be supplied into the housing is determined according to an inert gas supply amount command value determined based on a calculation result.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
[Problem] To provide a technology that makes it possible to determine the accommodation state of a substrate with sufficient accuracy. [Solution] A mapping device 60 comprises: a first mapping sensor 61a that is disposed on one side in the extension direction of end faces We of rectangular substrates W accommodated in an accommodation container 9, and that, while moving in the array direction of the substrates W, outputs an ON signal in the case of having detected an end face We at a first detection point Pa; a second mapping sensor 61b that is disposed on the other side in the extension direction of the end faces We, and that, while moving in the array direction, outputs an ON signal in the case of having detected an end face We at a second detection point Pb located on the downstream side of the first detection point Pa in the moving direction; and a mapping processing unit 65 that determines the accommodation state of the substrates W on the basis of a first input signal Qa inputted from the first mapping sensor 61a and a second input signal Qb inputted from the second mapping sensor 61b via an off-delay timer 62b that delays an OFF signal.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
An EFEM includes: a housing including a transfer chamber where a processing object is transferred; and a connection module provided between the transfer chamber and a front chamber of a processing apparatus configured to perform a predetermined process on the processing object, and connect the transfer chamber and the front chamber, wherein the housing includes a rear member formed with a housing side opening through which the processing object is capable of passing, wherein the connection module includes: a first connection member arranged around the housing side opening when viewed from a depth direction in which the housing and the front chamber are arranged, and attached to the rear member; and a second connection member arranged around a front chamber side opening formed in the front chamber so as to allow the processing object to pass therethrough when viewed from the depth direction, and attached to the front chamber.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
[Problem] To provide a technique with which a housing state of a substrate can be determined with sufficient accuracy, while ensuring safety. [Solution] A load port 1 includes: a mounting part 20 having mounted thereon a housing container 9 in which a plurality of rectangular substrates W are housed; a mapping sensor 61 that detects an end surface We of each of the substrates W from a position facing the end surface We, while moving in the arrangement direction of the substrates W housed in the housing container 9 mounted on the mounting part 20; an end-surface-side protrusion sensor 62 that detects, from a position facing the end surface We, a separation distance Dw to the end surface We of each of the substrates W, while moving in the arrangement direction ahead of the mapping sensor 61; and a control unit 70 that determines the presence or absence of a substrate W that protrudes to a position interfering with the mapping sensor 61, on the basis of an output from the end-surface-side protrusion sensor 62, and determines the housing state of the substrates W in the housing container 9 on the basis of an output from the mapping sensor 61.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
11.
LUBRICATING OIL SUPPLY DEVICE AND ROTATION TEST APPARATUS EQUIPPED THEREWITH
A lubricating oil supply device includes: a supplier provided with a temporary storage for storing a lubricating oil temporarily, and configured to supply the lubricating oil stored in the temporary storage to a bearing together with compressed air; a lubricating oil supply path having one end portion connected to the temporary storage and the other end portion connected to a lubricating oil storage for storing the lubricating oil; a deliverer provided in the lubricating oil supply path, and configured to deliver the lubricating oil stored in the lubricating oil storage via the lubricating oil supply path to fill the temporary storage with the lubricating oil; an air supply path having one end portion connected to the supplier and the other end portion connected to a compressed air supplier for supplying the compressed air; and a pressure accumulator provided in the air supply path and configured to accumulate the compressed air.
Provided is a power feeding device capable of preventing supply of power to a load from being stopped even when a switching element fails. A power feeding device 1 supplies power to a track circuit 2. The power feeding device 1 comprises: a plurality of power supply circuits 11, 12 that have a plurality of switching elements SW1-SW4, and that are electrically connected to a power source and to the track circuit 2 and are electrically connected in parallel with each other; and a driving control unit 130 that controls supply of power to the track circuit 2 by the power supply circuits 11, 12 through control of driving of the switching elements SW1-SW4.
H02M 7/493 - Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu en une puissance de sortie en courant alternatif sans possibilité de réversibilité par convertisseurs statiques utilisant des tubes à décharge avec électrode de commande ou des dispositifs à semi-conducteurs avec électrode de commande les convertisseurs statiques étant agencés pour le fonctionnement en parallèle
H02M 7/48 - Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu en une puissance de sortie en courant alternatif sans possibilité de réversibilité par convertisseurs statiques utilisant des tubes à décharge avec électrode de commande ou des dispositifs à semi-conducteurs avec électrode de commande
Particles in an accommodation chamber are also easily discharged while facilitating replacement of an atmosphere in the accommodation chamber with an inert gas. An EFEM includes a load port 4, a housing configured to define, in the housing, a transfer chamber closed by connecting the load port 4 to an opening provided in a partition wall, a supply pipe for supplying nitrogen to a transfer chamber, and a discharge pipe 49 for discharging a gas in the transfer chamber. The load port 4 includes an opening/closing mechanism 54 capable of opening and closing a lid 101 of a mounted FOUP 100, and an accommodation chamber 60 kept in communication with the transfer chamber via a slit 51b and configured to accommodate a part of the opening/closing mechanism 54. The discharge pipe 49 is connected to the accommodation chamber 60 to discharge the gas in the transfer chamber via the accommodation chamber 60.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B01D 46/00 - Filtres ou procédés spécialement modifiés pour la séparation de particules dispersées dans des gaz ou des vapeurs
B01D 46/10 - Séparateurs de particules utilisant des plaques, des feuilles ou des tampons filtrants à surface plane, p. ex. appareils de précipitation de poussières
14.
MAPPING DEVICE AND SUBSTRATE ACCOMMODATION STATE DETERMINATION METHOD
The load port includes a FOUP configured to accommodate a plurality of substrates in multiple stages, cameras configured to image each of the substrates accommodated in the FOUP and including a low-magnification camera with a wide horizontal angle of view and a high-magnification camera with a narrow horizontal angle of view, and a CPU configured to detect the accommodation state of each of the substrates based on the imaging data acquired from the low-magnification camera and the high-magnification camera, respectively.
H04N 23/45 - Caméras ou modules de caméras comprenant des capteurs d'images électroniquesLeur commande pour générer des signaux d'image à partir de plusieurs capteurs d'image de type différent ou fonctionnant dans des modes différents, p. ex. avec un capteur CMOS pour les images en mouvement en combinaison avec un dispositif à couplage de charge [CCD] pour les images fixes
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
15.
RECTANGULAR SUBSTRATE INVERSION DEVICE, SUBSTRATE TRANSPORT SYSTEM COMPRISING SAME, RECTANGULAR SUBSTRATE ALIGNMENT DEVICE, TRANSPORT SYSTEM, AND ALIGNMENT METHOD
[Problem] To achieve a substrate inversion device that makes it possible to perform a stable inversion action regardless of, for example, differences in the thicknesses of rectangular substrates. [Solution] The present invention comprises a hand 21 that grips a rectangular substrate W and inverts the same. The hand 21 is provided with: contactless vacuum part 22 that contactlessly holds the surface of the rectangular substrate W; and regulating parts 23 that regulate displacement of the rectangular substrate W in the thickness direction and in the opposing direction of two opposing ends WA, WA of the rectangular substrate.
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
B25J 15/06 - Têtes de préhension avec moyens de retenue magnétiques ou fonctionnant par succion
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
[Problem] To achieve a motor comprising a structure that prevents damage to magnets and magnet-holding parts even if the magnet-holding parts thermally contract. [Solution] The present invention comprises: a rotor core 21; a plurality of magnets 22 disposed on the surface of the rotor core 21 along a thrust generation direction (S direction); and magnet-holding parts 23 disposed between the magnets 22, 22. The magnet-holding parts 23 are constituted by including: protrusions 23a that extend from the rotor core 21 and pass between the magnets 22 in the radial direction (T direction), which is a direction orthogonal to the thrust generation direction (S direction); and claw parts 23b that extend from the tips of the protrusions 23a to positions overlapping the magnets 22. A compressed layer 24, which has a lower elastic modulus than the magnets 22, is provided at a position where the magnet-holding parts 23 are compressed when being thermally contracted.
The present invention effectively checks whether a lid on a container has been properly closed without exposing the internal space of the container to gas in the external space of the container. A load port 4 opens and closes a FOUP 100 having a FOUP body 101 and a lid 102. The load port 4 is provided with a base 41, a door mechanism 42, and a control unit 47. The door mechanism 42 has a door body 50, a suction holding unit 51, latch keys 65, 66, a motor 57, and an open sensor 93. The control unit 47 executes a closing process for moving the door body 50 to a closed position, and a checking process. The checking process is a process for moving the door body 50 back to an opening position side from the closed position in a state in which the lid 102 is held by the suction holding unit 51 and for determining, on the basis of information acquired by the open sensor 93, whether the lid 102 has been properly closed.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
18.
LOAD PORT AND METHOD FOR SENSING INCLINATION OF LID
The present invention suppresses the occurrence of false detection as to whether or not a lid of a container is normally closed. A load port 4 comprises a base 41, a placement portion 44 on which a FOUP 100 is placed, and a door mechanism 42 that attaches and detaches a lid 102 to and from a FOUP body 101 of the FOUP 100. The door mechanism 42 includes a door body 50, a suction-holding portion 51, and an inclination sensing portion 70. The inclination sensing portion 70 includes a plurality of contact sensors 80 each configured to sense information about the distance between the lid 102 and the door body 50. The plurality of contact sensors 80 include contact sensors 80LU, 80RU that are disposed in a first position, attached to the door body 50, and opposed to the lid 102. The plurality of contact sensors 80 further include contact sensors 80LD, 80RD that are disposed in a second position, attached to the door body 50, and opposed to the lid 102.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
An EFEM includes a housing including a transfer chamber in which a processing target object is transferred, and a connection module provided between the transfer chamber and a front chamber, wherein the housing includes a rear member having a housing-side opening through which the processing target object is capable of passing, the connection module includes a first frame part arranged around the housing-side opening and pressed by a transfer chamber-side surface of the rear member, a second frame part provided in the front chamber and arranged around a front chamber-side opening, and connected to the first frame part, and a sealing part configured to seal the second frame part and the front chamber, and the sealing part includes a flexible portion capable of expanding and contracting at least in a predetermined direction, and an enclosure portion connected to the flexible portion and configured to enclose the front chamber-side opening.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A load port includes: a plate-shaped base member having an opening via which a transfer target object is loaded and unloaded; a door member capable of opening and closing the opening; a link mechanism including a link member having one end rotatably connected to the door member; a guide roller configured to move together with the door member; a guide surface bent to extend from a first direction to a second direction and configured to guide the guide roller; a drive member to which the other end of the link member is rotatably connected; and a driver configured to move the drive member in the second direction.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
The EFEM comprises: a transfer chamber in which a transfer robot is disposed, a first fan that forms a downward air flow in the transfer chamber, a gas return space that circulates the gas flowing downward in the transfer chamber above the first fan, a box that communicates with the transfer chamber and is provided with a gas outlet, and a connecting and disconnecting means configured to switch connection and disconnection of the box to and from the transport chamber. A circulation path in which gas circulates is formed by the transfer chamber, the gas return space, and the box. When the transfer chamber and the box are separated by the connecting and disconnecting means, a shortened circulation path is formed in which the gas circulates without passing through the box.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
F24F 7/06 - Ventilation avec réseau de gaines à circulation d'air forcée, p. ex. par un ventilateur
B01D 53/04 - Séparation de gaz ou de vapeursRécupération de vapeurs de solvants volatils dans les gazÉpuration chimique ou biologique des gaz résiduaires, p. ex. gaz d'échappement des moteurs à combustion, fumées, vapeurs, gaz de combustion ou aérosols par adsorption, p. ex. chromatographie préparatoire en phase gazeuse avec adsorbants fixes
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
F24F 3/167 - Salles blanches, c.-à-d. enceintes closes dans lesquelles un flux uniforme d’air filtré est distribué
F24F 7/08 - Ventilation avec réseau de gaines à circulation d'air forcée, p. ex. par un ventilateur avec conduits séparés pour l'air fourni et l'air expulsé
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
F24F 7/003 - Ventilation combinée avec le nettoyage de l'air
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
As a load port mounting position adjustment mechanism T that can adjust the mounting position of a load port 1 on a wall surface 2F of a conveyance chamber 2 that internally constitutes a substantially closed substrate conveyance space, this load port mounting position adjustment mechanism comprises an X axis direction adjustment unit T1 for adjusting the position of the load port 1 in a width direction W of the wall surface 2F, a Y axis direction adjustment unit T2 for adjusting the position of the load port 1 in a thickness direction D of the wall surface 2F, and a Z axis direction adjustment unit T3 for adjusting the position of the load port 1 in a height direction H of the wall surface 2F. Adopting a configuration in which a three-axis direction adjustment mechanism T4 that integrates the X axis direction adjustment unit T1, the Y axis direction adjustment unit T2, and the Z axis direction adjustment unit T3 us mounted on a wall surface via a mounting hole 2t formed on the upper level of the wall surface 2F improves workability in regard to accurately mounting the load port 1 on the wall surface of the conveyance chamber 2.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
23.
CELL CULTURE DEVICE AND METHOD FOR CALCULATING CELL NUMBER
The purpose of the present invention is to accurately calculate the number of cells. A cell culture device 1 comprises a sensor 26 for measuring the lactic acid concentration in a medium. The sensor 26 measures the concentration of lactic acid in a medium in a culture container 21 during the cultivation of cells as a first physical quantity. The sensor 26 also measures the output value of the lactic acid concentration in the medium in a supply bag 23, i.e., the output value of the lactic acid concentration in the medium supplied to the culture container 21, as an error output value. Further, the cell culture device 1 comprises a calculation unit 14 that calculates the number of cells in the culture container 21 on the basis of the value of the corrected physical quantity that is calculated by subtracting the error output value from the value of the first physical quantity.
C12M 1/00 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie
C12M 1/34 - Mesure ou test par des moyens de mesure ou de détection des conditions du milieu, p. ex. par des compteurs de colonies
C12N 1/00 - Micro-organismes, p. ex. protozoairesCompositions les contenantProcédés de culture ou de conservation de micro-organismes, ou de compositions les contenantProcédés de préparation ou d'isolement d'une composition contenant un micro-organismeLeurs milieux de culture
A load port connected to a transport part includes: a base constituting a portion of a wall of the transport part; a stage on which a storage container is mounted; a stage driving mechanism configured to move the stage in a direction toward or away from the base; a door configured to be capable of opening/closing an opening of the base at a position facing a lid of the storage container mounted on the stage and to be capable of holding the lid disposed to face the opening in a state of closing the opening; a door driving mechanism configured to move the door between an opening position and a closing position; and a movement restricting part configured to restrict a movement of the stage in the direction away from the base by abutting against the stage.
B65B 7/16 - Fermeture de réceptacles ou récipients semi-rigides ou rigides, non déformés par le contenu ou n'en prenant pas la forme, p. ex. boîtes ou cartons
B65B 69/00 - Déballage des objets ou matériaux non prévu ailleurs
A load port for loading and unloading substrates between a transport chamber and a storage container includes: a plate-like portion constituting a wall surface of the transport chamber and including an opening in communication with an interior of the transport chamber; a stage configured to mount the storage container thereon such that a lid of the storage container faces a door of the opening; and a controller configured to control a driving device that moves the stage forward and rearward with respect to the plate-like portion, wherein the controller is further configured to control, when moving the stage toward the plate-like portion, the driving device to: apply a first thrust directed toward the plate-like portion to the stage until immediately before the stage reaches a predetermined position; and then apply a second thrust, which is greater than the first thrust and directed toward the plate-like portion, to the stage.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
According to the present invention, a detection method of a wafer W detects that the wafer W is a double wafer on the basis of first image data obtained by imaging, from above, the wafer W accommodated in a slot SL within FOUP 7 and second image data obtained by imaging the wafer W from below. When the wafer W is a double wafer, a state where an upper wafer WA protrudes from a lower wafer WB, and a state where the lower wafer WB protrudes from the upper wafer WA can be considered. However, in either state, the upper wafer WA and the lower wafer WB may be imaged together in at least one of the first image data and the second image data. Accordingly, on the basis of the first image data and the second image data, double wafers can be accurately detected for each wafer W by, for example, image analysis.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
27.
MAGNET, ELECTRIC MOTOR, AND METHOD OF MANUFACTURING MAGNET
Provided is a magnet that allows the orientation direction of main and auxiliary pole pieces to be set precisely and enables easy fabrication of flux focusing permanent magnet units having a high magnetic flux density A magnet 22 includes permanent magnet units 22a each including a main pole piece 221 and auxiliary pole pieces 222. The main pole piece 221 is composed of permanent magnet sheets 221a with substantially the same thickness stacked in the thickness direction. The auxiliary pole pieces 222 are composed of permanent magnet sheets 222a with substantially the same thickness stacked in the thickness direction and arranged at positions adjacent to the main pole piece 221 with orientation directions different from the orientation direction of the main pole piece 221 thereby to focus the magnetic flux at the main pole piece 221.
H02K 1/276 - Aimants encastrés dans le noyau magnétique, p. ex. aimants permanents internes [IPM]
H02K 1/2783 - Aimants montés en surfaceAimants sertis le noyau étant muni d’aimants disposés en réseaux de Halbach
H01F 41/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication ou à l'assemblage des aimants, des inductances ou des transformateursAppareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des matériaux caractérisés par leurs propriétés magnétiques pour la fabrication de noyaux, bobines ou aimants
An arm unit of a transfer robot includes an R-axis motor configured to relatively rotate a second arm with respect to a first arm. The R-axis motor is fixed to the first arm so as to protrude to below an arm axis holding portion of the first arm with an output shaft thereof facing upward. The output shaft is configured to penetrate the first arm from below. The output shaft is fixed to the second arm by a shaft fixing portion.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/12 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs électriques
A wafer stocker capable of further improving an environment around wafers is provided. The wafer stocker includes a housing, a loading device provided on a front surface of the housing, a wafer cassette shelf arranged in the housing, a wafer transfer robot configured to move the wafers from a transfer container mounted on the loading device to a wafer cassette in the wafer cassette shelf, a wafer cassette delivery device configured to move the wafer cassette in the wafer cassette shelf to a stage having a different height, and a fan filter unit configured to generate a laminar flow in a wafer transfer space and in a wafer cassette transfer space.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
F24F 13/06 - Bouches pour diriger ou distribuer l'air dans des pièces ou enceintes, p. ex. diffuseur d'air de plafond
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
The purpose of the present invention is to suppress the occurrence of biases in ground support equipment to be used and to reduce working time when allocating ground support equipment in an airport. An automatic allocation system 10 comprises: a schedule acquisition unit 32 which acquires a flight schedule of an aircraft 100; an equipment state information acquisition unit 33 which acquires equipment state information including information relating to the usage frequencies of multiple GSEs 13; a priority level setting unit 35 which, on the basis of the usage frequencies, sets an equipment priority level indicating which GSE 13 is prioritised for use when there are multiple identical GSEs 13; and an allocation unit 36 which carries out equipment allocation in which the GSEs 13 to be used for the aircraft included in the flight schedule are allocated in order from the GSE 13 with the highest equipment priority level.
A cell collection method of collecting cells includes a culture medium movement process, a detachment liquid supply process, and a mixing process, wherein in the culture medium movement process, a used culture medium in a culture container is moved to a collection container, wherein in the detachment liquid supply process after the culture medium movement process, a detachment liquid for detaching the cells from an inner surface of the culture container is supplied to the culture container, and wherein in the mixing process after the detachment liquid supply process, the detachment liquid and the used culture medium are mixed with each other.
b and configured to accommodate a part of the opening/closing mechanism 54. The discharge pipe 49 is connected to the accommodation chamber 60 to discharge the gas in the transfer chamber via the accommodation chamber 60.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B01D 46/00 - Filtres ou procédés spécialement modifiés pour la séparation de particules dispersées dans des gaz ou des vapeurs
B01D 46/10 - Séparateurs de particules utilisant des plaques, des feuilles ou des tampons filtrants à surface plane, p. ex. appareils de précipitation de poussières
An EFEM is provided with a circulation path including a substrate transfer space formed inside a housing and a return path configured to return gas flowing from one side to the other side of the substrate transfer space, the EFEM including: a partition wall configured to separate the substrate transfer space and the return path; a capture part provided in the return path having a higher pressure than the substrate transfer space in a state in which the gas circulates through the circulation path, and configured to capture particles contained in the gas flowing through the return path; and a connecting pipe configured to guide the gas flowing inside a predetermined device arranged in the substrate transfer space to the return path, wherein the connecting pipe is connected to the return path on an upstream side of the capture part in a gas flow direction.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
In a resonance suppression control device that controls suppression of vibrations in a resonance frequency in each vibration mode of a control target having a plurality of vibration modes, a configuration that is simple, and can suppress vibrations in a resonance frequency in the plurality of vibration modes is provided. A control device is a resonance suppression control device that controls suppression of vibrations in a resonance frequency in each vibration mode of a control target having a plurality of vibration modes. The control device includes a plurality of feedback loops that provide negative feedback of output of the control target corresponding to the plurality of vibration modes to an input side. The plurality of feedback loops respectively include band-pass filters that extract one or more vibration modes from the plurality of vibration modes, phase compensators, and amplitude adjusters. The band-pass filters and the phase compensators function as differentiators.
G05B 5/01 - Dispositions pour éliminer l'instabilité électriques
H02P 23/04 - Dispositions ou procédés pour la commande de moteurs à courant alternatif caractérisés par un procédé de commande autre que la commande par vecteur spécialement adaptés pour amortir les oscillations des moteurs, p. ex. pour la réduction du pompage
An EFEM includes a housing having a substantially closed substrate transfer space in the housing and a control part configured to perform a control of supplying an inert gas into at least the housing. The control part includes an inert gas total supply amount setting part configured to set a total supply amount of the inert gas to be supplied into the housing; a door open/purge determination part configured to determine whether a container door of a substrate storage container is in an open state and whether a purge device is performing a purge process; and an in-housing inert gas supply amount calculation part configured to calculate a supply amount of the inert gas to be supplied into the housing. The supply amount of the inert gas to be supplied into the housing is determined according to an inert gas supply amount command value determined based on a calculation result.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
There is provided a load port, including: a frame including an opening via which a transfer target object is capable of passing in a substantially horizontal posture; a load port door configured to engage with a container door capable of opening and closing a loading/unloading port of a storage container including slots capable of accommodating the transfer target object in a multi-stage manner, and to open and close the opening of the frame; and a mapping mechanism configured to map information on an accommodation state including presence or absence of the transfer target object in each of the slots in the storage container via the opening and the loading/unloading port.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A conveyance system discriminates the front and back of a frame wafer without human intervention. A frame is partially formed asymmetrically with respect to a predetermined center line when viewed in a direction orthogonal to a surface of a wafer. The conveyance system includes a hand configured to hold the frame so that the frame extends in a predetermined virtual plane, a first sensor configured to detect a portion of the frame held on the hand and located in a predetermined first region in the virtual plane, a second sensor configured to detect a portion of the frame held on the hand and located in a second region opposite to the first region across the center line, and a controller configured to determine the front and back of the frame wafer based on a detection result obtained by the first sensor and a detection result obtained by the second sensor.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65G 47/90 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
38.
CONTROL DEVICE FOR VIBRATORY TRANSPORT DEVICES, AND SYSTEM FOR PROCESSING OBJECT TO BE TRANSPORTED
[Problem] To provide a control device for vibratory transport devices, capable of continuously controlling the drive of the vibratory transport device in an optimal state without stopping the operation of the vibratory transport device. [Solution] A control device 1 for vibratory transport devices controls the drive of a vibratory transport device 100 that transports an object M to be transported. The control device 1 for vibratory transport devices comprises: an operational state data acquisition unit 11 that acquires the operational state data of the vibratory transport device 100; a surrounding environment data acquisition unit 12 that acquires the surrounding environment data of the vibratory transport device 100; a data storage unit 13 that stores the operational state data and the surrounding environment data; a data comparison unit 14 that compares the data stored in the data storage unit 13 with the operational state data acquired by the operational state data acquisition unit 11 and the surrounding environment data acquired by the surrounding environment data acquisition unit 12; and a control signal generation unit 15 that generates control signals for driving the vibratory transport device 100 according to the comparison results of the data comparison unit 14.
B65G 43/00 - Dispositifs de commande, p. ex. de sécurité, d'alarme ou de correction des erreurs
F26B 17/26 - Machines ou appareils à mouvement progressif pour le séchage d'un matériau en vrac, à l'état plastique ou sous forme fluidisée, p. ex. granulés, fibres brutes le mouvement étant réalisé par des transporteurs à mouvement alternatif ou oscillant propulsant le matériau sur des surfaces fixesMachines ou appareils à mouvement progressif pour le séchage d'un matériau en vrac, à l'état plastique ou sous forme fluidisée, p. ex. granulés, fibres brutes le mouvement étant réalisé par des tablettes, tamis ou plateaux à mouvement alternatif ou oscillant
The purpose of the present invention is to efficiently dispense cells while reducing the risk of incorporating bacteria, etc. A cell dispensing device 1 includes: a first tube 23a which connects a container 21 and a dispensing container 22; a syringe pump 24 attached to a second tube 23b connected to a branching portion 31 formed on the first tube 23a; and a buffer tank 25 provided between the syringe pump 24 and the branching portion 31. In addition, a cell suspension contained in the container 21 is temporarily stored in the buffer tank 25 by means of the syringe pump 24, and the cell suspension stored in the buffer tank 25 is delivered to the dispensing container 22.
It is possible to reduce a rise in temperature of a rotor by reducing the temperature of a stator. The motor 1 includes a stator 5, and a rotor 4, which is disposed with a gap from the stator 5, being arranged in a housing 2, in which the stator 5 is provided with an annular yoke and a plurality of teeth protruding from an inner peripheral portion of the yoke toward the rotor 4; slots in which coils 6 wound around the teeth are arranged are respectively formed between the teeth that are adjacent to each other; a mold resin portion 30 in which the stator 5 and the coils 6 are molded is provided; the mold resin portion 30 includes a flow path 32 formed within at least one slot among a plurality of slots; and the flow path 32 is supplied with a cooling medium.
H02K 15/12 - Imprégnation, chauffage ou séchage des bobinages, des stators, des rotors ou des machines
H02K 3/12 - Enroulements caractérisés par la configuration, la forme ou le genre de construction du conducteur, p. ex. avec des conducteurs en barre disposés dans des encoches
H02K 3/24 - Enroulements caractérisés par la configuration, la forme ou le genre de construction du conducteur, p. ex. avec des conducteurs en barre avec des canaux ou des conduits pour un agent de refroidissement entre les conducteurs
H02K 3/28 - Schémas d'enroulements ou de connexions entre enroulements
H02K 9/197 - Dispositions de refroidissement ou de ventilation pour machines avec enveloppe fermée et circuit fermé de refroidissement utilisant un agent de refroidissement liquide, p. ex. de l'huile dans lesquels l'espace du rotor ou du stator est étanche au fluide, p. ex. pour pourvoir le rotor et le stator d'agents de refroidissement différents
The purpose of the present invention is to suppress variation in time for cells to be immersed in a peeling liquid when the cells are peeled from culture layers. A multilayer culture vessel 1 has an internal space that is divided by a boundary surface 10 into a culture space 11 on one side and a buffer space 12 on the other side in a direction parallel to a bottom plate 2. The multilayer culture vessel 1 includes at least one intermediate plate 5 that extends in the culture space along the direction parallel to the bottom plate 2 and divides the culture space 11 into a plurality of culture layers 21, wall portions 13 that respectively extend from the bottom plate 2 and the at least one intermediate plate 5 toward a top plate 3 at the boundary surface 10, communication portions 14 that bring the buffer space 12 into communication with the culture layers 21, and a liquid supply/drainage port 6 that is formed in the top plate 3 at a location facing the buffer space 12.
A cell culture device for culturing cells in a closed container kept in an aseptic state includes: a chamber including an opening/closing part capable of being opened and closed; a connection path configured to connect closed containers accommodated in the chamber to each other and each having an inside kept in an aseptic state; a driving part configured to move cells from one closed container to the other closed container via the connection path; and a container attachment/detachment device. After the cells are moved from one closed container to the other closed container, the container attachment/detachment device is configured to remove one closed container from the connection path while maintaining an aseptic state inside the other closed container and the connection path, and connect a new closed container loaded into the chamber to the connection path while maintaining an aseptic state inside the new closed container.
C12M 1/00 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie
C12M 1/34 - Mesure ou test par des moyens de mesure ou de détection des conditions du milieu, p. ex. par des compteurs de colonies
C12M 1/06 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie avec des moyens d'introduction de gaz avec agitateur, p. ex. avec agitateur à turbine
C12M 1/36 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie comportant une commande sensible au temps ou aux conditions du milieu, p. ex. fermenteurs commandés automatiquement
There is provided a cell recovery method for recovering cells which are cultured in at least one container containing a liquid medium and adhere to an inner surface of the container, the method including performing: a medium discharge step of discharging the liquid medium from the container; a peeling liquid supply step of supplying a peeling liquid for peeling the cells from the inner surface of the container to the container; a peeling liquid discharge step of discharging the peeling liquid from the container before the cells are completely peeled from the inner surface of the container; a waiting step of waiting until the cells are peeled by action of a residual peeling liquid; and a recovery liquid supply step of supplying a recovery liquid for recovering the cells to the container.
C12M 1/00 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie
C12M 3/06 - Appareillage pour la culture de tissus, de cellules humaines, animales ou végétales, ou de virus avec des moyens de filtration, d'ultrafiltration, d'osmose inverse ou de dialyse
C12M 3/00 - Appareillage pour la culture de tissus, de cellules humaines, animales ou végétales, ou de virus
An EFEM includes a circulation path including a transfer chamber configured to form a transfer space where a substrate is transferred and a return path configured to return a gas flowing from one side to the other side of the transfer chamber, the EFEM including: a capture part provided in the return path and configured to electrically capture particles contained in the gas flowing through the return path, wherein the return path and the transfer chamber are provided such that a partition wall is interposed therebetween, and a differential pressure is generated on both sides of the partition wall such that a pressure on the side of the return path becomes higher than a pressure on the side of the transfer chamber in a state in which the gas circulates through the circulation path.
B03C 3/017 - Combinaison de la séparation par effet électrostatique avec d'autres procédés, non prévue ailleurs
B03C 3/47 - Électrodes collectrices planes, p. ex. en forme d'assiettes, de disques, de grilles
B08B 6/00 - Nettoyage par des moyens électrostatiques
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
To provide a transfer chamber capable of replacing a chemical filter without affecting an internal atmosphere, and shortening or eliminating stop time of a transfer process of a wafer (W) associated with replacement of the chemical filter.
The transfer chamber transfers the wafer (W) to or from a processing device (6) by using a transfer robot (2) provided thereinside, and includes a circulation path (CL1) formed inside of a transfer chamber (1) to circulate gas, a chemical filter unit (7) provided in the midstream of the circulation path (CL1), and a connecting and disconnecting means (8) which switches connection and disconnection of the chemical filter unit (7) to and from the circulation path (CL1).
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
F24F 7/06 - Ventilation avec réseau de gaines à circulation d'air forcée, p. ex. par un ventilateur
B01D 53/04 - Séparation de gaz ou de vapeursRécupération de vapeurs de solvants volatils dans les gazÉpuration chimique ou biologique des gaz résiduaires, p. ex. gaz d'échappement des moteurs à combustion, fumées, vapeurs, gaz de combustion ou aérosols par adsorption, p. ex. chromatographie préparatoire en phase gazeuse avec adsorbants fixes
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
F24F 3/167 - Salles blanches, c.-à-d. enceintes closes dans lesquelles un flux uniforme d’air filtré est distribué
F24F 7/08 - Ventilation avec réseau de gaines à circulation d'air forcée, p. ex. par un ventilateur avec conduits séparés pour l'air fourni et l'air expulsé
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
F24F 7/003 - Ventilation combinée avec le nettoyage de l'air
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A transport system for transporting a plurality of objects between a storage container configured to store the plurality of objects and a processing apparatus configured to collectively process the plurality of objects held on a tray, including a mounting part on which the storage container is mounted, a stage on which the plurality of objects are mounted, a tray support part configured to support the tray, a first transport device configured to transport the plurality of objects between the storage container mounted on the mounting part and the stage, and a second transport device configured to transport the plurality of objects between the stage and the tray supported by the tray support part.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65G 47/248 - Dispositifs pour influencer la position relative ou l'orientation des objets pendant le transport par transporteurs présentant les objets selon un orientement donné en les retournant ou en les intervertissant
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
b and to be inserted between turns of the coil conductor 31 to define a gap G between the turns, and a cooling medium supply section 6 configured to distribute a cooling medium in the gap G. A notched section 421 cut out in such a manner that a widthwise dimension of the spacer section 42 is relatively short is provided in a middle of an extension of the spacer section 42.
H02K 1/16 - Noyaux statoriques à encoches pour enroulements
H02K 1/20 - Parties fixes du circuit magnétique avec des canaux ou des conduits pour l'écoulement d'un agent de refroidissement
H02K 3/24 - Enroulements caractérisés par la configuration, la forme ou le genre de construction du conducteur, p. ex. avec des conducteurs en barre avec des canaux ou des conduits pour un agent de refroidissement entre les conducteurs
A cell culture device includes: a base; a rotary table attached to the base; a container holding member attached to the rotary table and configured to hold a cell culture container; and a drive mechanism configured to rotatably drive the rotary table around a first axis and the container holding member around a second axis, wherein a liquid port to which a liquid tube is connected is arranged on an outer peripheral surface of the cell culture container, wherein a first predetermined portion of the liquid tube is positioned on the container holding member by a first positioning member, wherein a second predetermined portion of the liquid tube is positioned on the rotary table by a second positioning member, and wherein the first positioning member is rotatably attached to the container holding member.
C12M 3/04 - Appareillage pour la culture de tissus, de cellules humaines, animales ou végétales, ou de virus comportant des moyens fournissant des couches minces
C12M 3/00 - Appareillage pour la culture de tissus, de cellules humaines, animales ou végétales, ou de virus
There is provided motor, including: a stator including a plurality of laminated plates; and a rotor arranged inside the stator with a gap between the rotor and the stator, wherein the stator further includes an annular yoke located outside of the stator and a plurality of teeth protruding from an inner peripheral surface of the yoke toward the rotor, wherein slots in which coils wound around the teeth are arranged are formed between the teeth that are adjacently arranged, wherein gaps to which a cooling medium is supplied are formed between bottom portions of the slots and the coils, and wherein the stator further includes end plate members arranged so as to face the laminated plates.
H02K 3/24 - Enroulements caractérisés par la configuration, la forme ou le genre de construction du conducteur, p. ex. avec des conducteurs en barre avec des canaux ou des conduits pour un agent de refroidissement entre les conducteurs
H02K 1/16 - Noyaux statoriques à encoches pour enroulements
H02K 1/20 - Parties fixes du circuit magnétique avec des canaux ou des conduits pour l'écoulement d'un agent de refroidissement
H02K 9/19 - Dispositions de refroidissement ou de ventilation pour machines avec enveloppe fermée et circuit fermé de refroidissement utilisant un agent de refroidissement liquide, p. ex. de l'huile
50.
SMOOTHING CIRCUIT FOR INVERTER AND INVERTER FOR AIRCRAFT
A smoothing circuit 2 for an inverter includes a parallel flat plate 21, a plurality of capacitors 22 arranged in a matrix and mounted on the parallel flat plate 21, and a thermal conductive sheet 23 interposed between the parallel flat plate 21 and a housing 4 in an area overlapping a mounting area 21c of the plurality of capacitors 22 when viewed along a normal direction of the parallel flat plate 21. The plurality of capacitors 22 are arranged in such a manner that adjacent terminals 221 of adjacent capacitors 22 have a same polarity in a row direction and a column direction.
H02M 7/00 - Transformation d'une puissance d'entrée en courant alternatif en une puissance de sortie en courant continuTransformation d'une puissance d'entrée en courant continu en une puissance de sortie en courant alternatif
H02M 1/14 - Dispositions de réduction des ondulations d'une entrée ou d'une sortie en courant continu
51.
LUBRICATING OIL SUPPLY DEVICE AND ROTATION TEST APPARATUS EQUIPPED THEREWITH
Provided is a technique that can prevent a bearing from being damaged by the inertial rotation of a shaft when a power supply is stopped due to a power outage etc. A lubricating oil supply device 6 that supplies lubricating oil to a bearing comprises: a supply unit 61 that little by little supplies a lubricating oil stored in a temporary storage unit 611, which temporarily stores the lubricating oil, to a bearing together with compressed air; a lubricating oil supply path 621 that is connected at one end to the temporary storage unit 611 and connected at the other end to a lubricating oil storage unit 620 that stores the lubricating oil; a delivery unit 622 that is provided in the lubricating oil supply path 621 and delivers the lubricating oil stored in the lubricating oil storage unit 620 via the lubricating oil supply path 621 to fill the temporary storage unit 611; an air supply path 631 that is connected at one end to the supply unit 61 and connected at the other end to a compressed air supply unit 630 that supplies compressed air; and a pressure accumulation unit 633 provided in the air supply path 631 for accumulating compressed air.
A wafer stocker is capable of further improving an environment around wafers. The wafer stocker includes a housing, a loading device provided on a front surface of the housing, a wafer cassette shelf arranged in the housing, a wafer transfer robot configured to move the wafers from a transfer container mounted on the loading device to a wafer cassette in the wafer cassette shelf, a wafer cassette delivery device configured to move the wafer cassette in the wafer cassette shelf to a stage having a different height, and a fan filter unit configured to generate a laminar flow in a wafer transfer space and in a wafer cassette transfer space.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
F24F 13/06 - Bouches pour diriger ou distribuer l'air dans des pièces ou enceintes, p. ex. diffuseur d'air de plafond
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
In the present invention, if force is applied laterally to a trough having a linear conveyance surface, the trough is prevented from vibrating in the lateral direction. A vibrating conveyance device according to the present invention conveys an object to be conveyed on a linear conveyance surface by means of vibration, and comprises: a first mass body which comprises the linear conveyance surface; a second mass body which vibrates in the opposite phase from the first mass body; a drive elastic body which connects the first mass body and the second mass body; a base which, on an upstream side in the conveyance direction and a downstream side in the conveyance direction in terms of a vibrating body containing the first mass body, the second mass body and the drive elastic body, comprises a support surface disposed above the center of the vibrating body in the height direction; and an anti-vibration elastic body which connects the vibrating body to the support surface.
B65G 27/16 - Utilisation de dispositifs pour créer ou transmettre les secousses de vibrateurs, c.-à-d. de dispositifs pour produire des mouvements de haute fréquence et de petite amplitude
In this resonance suppression control device that performs vibration suppression control of the respective resonance frequencies of a plurality of vibration modes of a control target having the plurality of vibration modes, a configuration that is simple and enables easy mounting of the resonance suppression control device and that enables suppression of vibrations at the respective resonance frequencies of the plurality of vibration modes, is provided. A control device (2) is a resonance suppression control device that performs vibration suppression control at the respective resonance frequencies of the plurality of vibration modes of a control target (P) having the vibration modes. The control device (2) is provided with a plurality of feedback loops (11, 12) that cause negative feedback of output of the control target (P) corresponding to the plurality of vibration modes, to the input side. The plurality of feedback loops (11, 12) respectively have: band-pass filters (51, 61) that extract some vibration modes from the plurality of vibration modes; phase compensation units (52, 62); and amplitude adjustment units (53, 63). The band-pass filters (51, 61) and the phase compensation units (52, 62) function as differentiators.
H02P 29/02 - Protection contre les surcharges sans interruption automatique de l’alimentation
G05B 13/02 - Systèmes de commande adaptatifs, c.-à-d. systèmes se réglant eux-mêmes automatiquement pour obtenir un rendement optimal suivant un critère prédéterminé électriques
09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques
10 - Appareils et instruments médicaux
Produits et services
Automated cell removal device for laboratory use; cell
culture instruments for laboratory use; laboratory
experimental machines and apparatus; laboratory apparatus
and instruments; computer programs for use in cell culturing
and cell analysis; computer programs; electronic machines,
apparatus and their parts. Apparatus for the regeneration of stem cells for medical
purposes; automated cell culture devices for medical use;
medical apparatus and instruments.
A method of diagnosing a load port includes identifying a plurality of entities for a plurality of substrate storage containers by a plurality of load ports capable of transferring a substrate into and out of the plurality of substrate storage containers; detecting directly or indirectly a plurality of states of the plurality of substrate storage containers by a plurality of sensors provided at the plurality of load ports; associating the plurality of load ports, the plurality of entities and a plurality of sensor values, with each other; accumulating, in a database, data associated in the act of associating the plurality of load ports, the plurality of entities, and the plurality of sensor values; and analyzing the data in the database and determining a state of each of the plurality of load ports.
G01R 31/26 - Test de dispositifs individuels à semi-conducteurs
G01R 31/00 - Dispositions pour tester les propriétés électriquesDispositions pour la localisation des pannes électriquesDispositions pour tests électriques caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques
10 - Appareils et instruments médicaux
Produits et services
(1) Automated cell removal device for laboratory use; cell culture instruments for laboratory use; automated laboratory experimental machines used to monitor cell culture status, to analyze the fluctuations in the status of cell culture changes and to analyze the variation in the quality of cells and cell cultures; laboratory apparatus and instruments, namely, cell processing system comprised of a refrigerator, computer hardware and computer software, enclosed as a unit, that are used to preserve cell culture media and reagents in a refrigeration module, to monitor temperature and carbon dioxide levels, to seed, grow, and harvest cells, and to monitor, collect, and analyze information on cell cultivation; computer programs for use in cell culturing and cell analysis; downloadable software for operating laboratory equipment, namely, cell processing systems comprised of electronic control devices used to preserve cell culture media and reagents, electronic sensors that monitor temperature and carbon dioxide levels, automated cell culture incubators that seed, grow, and harvest cells, and electronic sensors that monitor, collect, and analyze data on cell cultivation, all for the purpose of manufacturing cell products; downloadable computer software used in cell culturing, and for recording and analyzing cell information; communication software to access data stored on cell processing systems and transfer data to the user or to parts of the cell processing system
(2) Apparatus for the regeneration of stem cells for medical purposes; automated cell culture devices for medical use, namely, cell processing systems composed of cell culture flasks, cell culture dishes, cell culture chambers, cell culture trays, cell culture plates, cell culture incubators, liquid mixers and liquid aerators for medical use, thermostatic chambers for medical use, liquid feed pumps and control valves for medical use, mobile flask holders, cell seeding and harvesting bags, cell media and reagent bags, cell collection bags for medical purposes, chemical sensors for cell media analysis, and cameras for imaging for medical purposes; medical apparatus and instruments, namely, cell processing systems that preserve cell culture media and reagents in a refrigeration module, that monitor temperature and carbon dioxide levels, that seed, grow, and harvest cells, and that monitor, collect, and analyze data on cell cultivation, all for the purpose of manufacturing cell products for medical use
09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques
10 - Appareils et instruments médicaux
Produits et services
automated cell removal device for laboratory use; automated cell culture incubator component parts for laboratory use in the form of cell culture dishes, cell culture chambers, cell culture trays, cell culture plates, cell culture incubators, multi-well plates, microtiter plates, liquid mixers and liquid aerators, thermostatic chambers, CO2 dispensers, liquid feed pumps and control valves, cell culture flasks, mobile flask holders, cell seeding and harvesting bags, media and reagent bags, sampling bags, chemical sensors for media analysis, and cameras for imaging; laboratory apparatus and instruments, namely, cell processing systems comprised of electronic control devices used to preserve cell culture media and reagents, electronic sensors that monitor temperature and carbon dioxide levels, automated cell culture incubators that seed, grow, and harvest cells, and electronic sensors that monitor, collect, and analyze data on cell cultivation, all for the purpose of manufacturing cell products; downloadable computer programs for operating laboratory equipment used in cell culturing and for analyzing cell data; computer programs, namely, downloadable computer software that collects data in which cell culture process has been recorded and outputs the same apparatus for the regeneration of stem cells for medical purposes; automated cell culture incubator component parts for medical use in the form of cell culture dishes, cell culture chambers, cell culture trays, cell culture plates, cell culture incubators, multi-well plates, microtiter plates, liquid mixers and liquid aerators, thermostatic chambers, CO2 dispensers, liquid feed pumps and control valves, cell culture flasks, mobile flask holders, cell seeding and harvesting bags, media and reagent bags, sampling bags, chemical sensors for media analysis, and cameras for imaging; medical apparatus and instruments, namely, cell processing systems comprised of storage bags used to store and preserve cell culture media and reagents, and cell culture chambers that seed, grow, and harvest cells, all for the purpose of manufacturing cell products for medical use
This conveyance system identifies the front and back of a framed wafer without human assistance. A frame 102 is formed such that a portion thereof is asymmetrical in relation to a prescribed central line 202 when viewed from a direction orthogonal to the surface of a wafer 101. This conveyance system 1 comprises: a hand 43 for holding the frame 102 such that the same extends within a prescribed imaginary plane 203, a first sensor 55 for detecting a portion of the frame 102 held by the hand 43 that is positioned in a prescribed first area 111 within the imaginary plane 203, a second sensor 56 for detecting a portion of the frame 102 held by the hand 43 that is positioned in a second area 112 on the opposite side of the central line 202 from the first area 111, and a control unit 16. The control unit 16 identifies the front and back of the framed wafer 100 on the basis of a detection result from the first sensor 55 and a detection result from the second sensor 56.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
This air control device for mounter is to solve a problem of realizing an air control device for a mounter capable of providing a secured holding state by a nozzle without damaging a part by adjusting, during vacuum suction, an amount of air to be drawn suitably for the part and the nozzle.
This air control device for mounter is configured such that a nozzle n detachably attached to a head module HM of a mounter is connected to a negative pressure region, and a part is suctioned at a distal end of the nozzle n. The head module HM is mounted with a variable throttle mechanism 4, and by using the variable throttle mechanism 4, an amount of air to be drawn into the negative pressure region from the nozzle is adjustable.
B25B 11/00 - Porte-pièces ou dispositifs de mise en position non couverts par l'un des groupes , p. ex. porte-pièces magnétiques, porte-pièces utilisant le vide
B65G 47/84 - Roues en forme d'étoiles ou dispositifs à courroies ou chaînes sans fin, les roues ou dispositifs étant dotés d'éléments venant en prise avec les objets
F04B 49/22 - Commande des "machines", pompes ou installations de pompage ou mesures de sécurité les concernant non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes par clapets
There is provided a mechanical paradox planetary gear mechanism, including: a sun gear configured to be rotatable together with rotation of an input shaft; a plurality of first planetary gears arranged around the sun gear at equal intervals, and configured to rotate about their own axes while revolving around the sun gear in a state in which the first planetary gears mesh with the sun gear; a first internal gear arranged around the plurality of first planetary gears, and configured to mesh with the plurality of first planetary gears; a second internal gear arranged in the same axis as the first internal gear; and a plurality of second planetary gears respectively arranged on the same axes as the plurality of first planetary gears, and configured to mesh with the second internal gear.
F16H 1/28 - Transmissions à engrenages pour transmettre un mouvement rotatif avec engrenages à mouvement orbital
F16H 1/32 - Transmissions à engrenages pour transmettre un mouvement rotatif avec engrenages à mouvement orbital dans lesquels l'axe central de la transmission est situé à l'intérieur de la périphérie d'un engrenage orbital
B64C 13/34 - Dispositifs de transmission sans amplification de puissance ou dans les cas où l'amplification de puissance est sans objet mécaniques utilisant des engrenages
62.
SYSTEM FOR DETECTING POSITION OF DETECTION TARGET OBJECT AT PERIPHERY OF WORKING MACHINE, AND PROGRAM FOR DETECTING POSITION OF DETECTION TARGET OBJECT AT PERIPHERY OF WORKING MACHINE
[Problem] To provide a system for detecting the position of a peripheral detection target object that can be applied to a working machine. [Solution] A system X for detecting the position of a detection target object at the periphery of a working machine, capable of detecting the position of a detection target object W in the vicinity of a working machine H by means of detection processing that employs detection frames F having a plurality of sizes and that is performed with respect to video captured by an image capturing device I attached to the working machine H, is provided with a weighting unit C4 which, for each of a plurality of regions into which a detection target image from within the video is divided, performs weighting in accordance with a count of detection target object specifying coordinates FL capable of specifying the position of the detection target object W within the detection frame F, wherein the configuration is such that the position of the detection target object W in the detection target image is calculated as detected coordinates on the basis of the processing result obtained by the weighting unit C4, thereby providing a system capable of highly accurately detecting the position of a detection target object shown by the image capturing device even in a working machine that does not have a dedicated sensor or laser radar for measuring distances.
[Problem] To provide a feature by which it is possible to efficiently transport objects between a storage container for storing objects and a processing device for carrying out a batch process on a plurality of objects. [Solution] A transport system 1 for transporting objects between a storage container 9 for storing a plurality of objects and a processing device 2 for carrying out a batch process on a plurality of objects retained on a tray 8, said system comprising: a mounting part 31 on which the storage container 9 is mounted; a stage 41 on which the plurality of objects are mounted; a tray support part 51 which supports the tray 8; a first transport device 44 which transports the objects between the storage container 9 mounted on the mounting part 31 and the stage 41; and a second transport device 53 which transports the objects between the stage 41 and the tray 8 supported by the tray support part 51.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
The purpose of the present invention is to enable good agitation of a cell suspension using an inexpensive structure in a centrifuge-free cell culture device. A cell culture device in which a plurality of culture containers 11 and 12 being sterile inside are connected via a connection tube 32 while maintaining the sterility so that a cell suspension can be transferred between the plurality of culture containers 11 and 12, wherein a plurality of agitation containers 13 and 14 which are sterile inside and connected to the connection tube 32, an agitation connection tube 33 connecting the plurality of agitation containers 13 and 14 while maintaining the sterility of the plurality of agitation containers 13 and 14, and a driving unit 20 transferring the cell suspension between the plurality of agitation containers 13 and 14 via the agitation connection tube 33 are further provided.
The present invention is characterized by being provided with: a support part which is capable of supporting a vessel in which cells are cultured; an irradiation unit which irradiates the vessel with illumination light; and a detection part which is capable of detecting the amount of illumination light that has been reflected on the vessel or has transmitted through the vessel, wherein the illumination light is parallel light, and the detection part and the vessel being supported by the support part are arranged on the optical axis of the illumination light.
There is provided an EFEM, including: at least one load port; a housing closed by connecting the at least one load port to an opening provided on a side wall of the housing and configured to define, in the housing, a transfer chamber for transferring a substrate; a substrate transfer device disposed in the transfer chamber and configured to transfer the substrate; an inert gas supply unit configured to supply an inert gas to the transfer chamber; and a gas discharge unit configured to discharge a gas in the transfer chamber, wherein the at least one load port includes: an opening/closing mechanism capable of opening and closing a lid of a mounted FOUP; and an accommodation chamber kept in communication with the transfer chamber and configured to accommodate a part of the opening/closing mechanism.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B01D 46/00 - Filtres ou procédés spécialement modifiés pour la séparation de particules dispersées dans des gaz ou des vapeurs
B01D 46/10 - Séparateurs de particules utilisant des plaques, des feuilles ou des tampons filtrants à surface plane, p. ex. appareils de précipitation de poussières
In an inert-gas circulating type EFEM, generation of any constraints on installation of incidental equipment, a maintenance door, or the like is inhibited, and the need for changing the placement position, etc. of a feedback path according to the specifications, etc. of a substrate processing device connected thereto is eliminated. An EFEM 1 is provided with: a transfer chamber 41 in which a wafer W is conveyed; a unit installation chamber 42 in which a FFU 44 for feeding nitrogen to the transfer chamber 41 is installed; and a return path 43 for feeding the nitrogen having flown through the transfer chamber 41, back to the unit installation chamber 42. A substrate processing apparatus 6 is connected to the rear-side end of the transfer chamber 41. The return path 43 is disposed at the front-side end of the transfer chamber 41.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
In the present disclosure, when a supply flow rate of an inert gas is changed, a pressure fluctuation in a circulation path is suppressed. An EFEM includes a supply valve configured to be capable of changing a supply flow rate of the inert gas supplied to the circulation path, a discharge valve configured to be capable of changing a discharge flow rate of a gas discharged from the circulation path, a concentration detection part configured to detect a change in an atmosphere inside the circulation path, a pressure detection part configured to detect a pressure in the circulation path, and a control part configured to control the supply valve and the discharge valve. The control part is configured to determine an opening degree of the discharge valve to a predetermined value based on a detection result obtained by the concentration detection part.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
A housing is made sealable even when the rigidity of a frame member and a cover member is not high. In an EFEM, a pressure difference having a predetermined value or less exists between an internal space of a housing and an external space of the housing. The housing includes a frame member assembled so as to form an opening, a cover member attached to the frame member so as to cover the opening, and a seal member sandwiched between the frame member and the cover member and configured to extend so as to surround the opening. The frame member and the cover member are formed of a sheet metal. The seal member is an elastic member having a hollow cross section orthogonal to an extension direction of the seal member.
B23P 19/00 - Machines effectuant simplement l'assemblage ou la séparation de pièces ou d'objets métalliques entre eux ou des pièces métalliques avec des pièces non métalliques, que cela entraîne ou non une certaine déformationOutils ou dispositifs à cet effet dans la mesure où ils ne sont pas prévus dans d'autres classes
F16J 15/10 - Joints d'étanchéité entre surfaces immobiles entre elles avec garniture solide comprimée entre les surfaces à joindre par garniture non métallique
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
[Problem] To reduce a raise in temperature of a rotor by lowering the temperature of a stator. [Solution] A motor 1 according to the present invention is a motor in which a stator 5 and a rotor 4 disposed with respect to the stator 5 with a gap therebetween are disposed inside a housing 2, wherein: the stator 5 is provided with an annular yoke and a plurality of teeth protruding toward the rotor 4 from the inner circumferential surface of the yoke; slots, in which coils 6 wound around the teeth are disposed, are formed between the mutually adjacent teeth; a mold resin part 30 is provided in which the stator 5 and the coils 6 are molded; the mold resin part 30 has a flow passage 32 formed in at least one of the slots; and a cooling medium is supplied to the flow passage 32.
H02K 9/19 - Dispositions de refroidissement ou de ventilation pour machines avec enveloppe fermée et circuit fermé de refroidissement utilisant un agent de refroidissement liquide, p. ex. de l'huile
H02K 15/12 - Imprégnation, chauffage ou séchage des bobinages, des stators, des rotors ou des machines
A motor 1 is provided with a stator 5 having a plurality of stacked plates 5t, and a rotor 4 that is disposed inside the stator 5 with a gap therebetween. The stator 5 is provided with an annular yoke located on the outside, and a plurality of teeth that protrude from an inner peripheral surface of the yoke toward the rotor 4. Formed between adjacent teeth are slots 53 where a coil 6 that has been wound about the teeth is arranged. A void 10 where a cooling medium is supplied is formed between a bottom of each slot 53 and the coil 6. The stator 5 has end plate members 60, 160 arranged so as to face the stacked plates thereof. One end of the void 10 within at least one slot 53 communicates with cooling medium supply paths 65, 165 formed between the end plate members 60, 160 and the stacked plates of the stator 5. Also, the other end of the void 10 within the at least one slot 53 is open.
H02K 3/24 - Enroulements caractérisés par la configuration, la forme ou le genre de construction du conducteur, p. ex. avec des conducteurs en barre avec des canaux ou des conduits pour un agent de refroidissement entre les conducteurs
H02K 9/19 - Dispositions de refroidissement ou de ventilation pour machines avec enveloppe fermée et circuit fermé de refroidissement utilisant un agent de refroidissement liquide, p. ex. de l'huile
H02K 1/32 - Parties tournantes du circuit magnétique avec des canaux ou des conduits pour l'écoulement d'un agent de refroidissement
The purpose of the present invention is to suppress variation in the time it takes cells to be immersed in a detachment solution when the cells are to be detached from culture layers. A multilayer culture vessel 1 that has an internal space that is divided by a boundary surface 10 in the direction parallel to a bottom plate 2 into a culture space 11 that is on one side and a buffer space 12 that is on the other side. The multilayer culture vessel 1 comprises one or more intermediate plates 5 that extend through the culture space 11 along the direction parallel to the bottom plate 2 and divide the culture space 11 into a plurality of culture layers 21, wall parts 13 that respectively extend from the base plate 2 and the one or more intermediate plates 5 to a top plate 3 side at the boundary surface 10, communication parts 14 that allow the buffer space 12 to communicate with each of the culture layers 21, and a solution supply/discharge port 6 that is formed in the top plate 3 at a location that faces the buffer space 12.
C12M 1/24 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie en forme de tube ou de bouteille
C12M 3/04 - Appareillage pour la culture de tissus, de cellules humaines, animales ou végétales, ou de virus comportant des moyens fournissant des couches minces
The purpose of the present invention is to provide a closed-system cell culture device wherein limitation of passage number becomes unnecessary while suppressing upsizing of the device. A cell culture device 1 is for culturing cells in closed containers the inside of which is kept in a sterile state, said cell culture device comprising: a chamber provided with open/closure parts 21 and 22 which are openable and closable; a connection path 30 which connects closed containers 50 and 60, said closed containers being housed in the chamber, to each other and the inside of which is in a sterile state; a driving part 40 which transfers the cells from the closed container 50 to the closed container 60 via the connection path 30; and a container-attaching/detaching mechanism 14. After the cells are transferred from the closed container 50 to the closed container 60, the container-attaching/detaching mechanism 14 detaches the closed container 50 from the connection path 30, while keeping the inside of the closed container 60 and the connection path 30 in the sterile state, and attaches a new closed container, which is carried into the chamber, to the connection path 30 while keeping the inside of this closed container in a sterile state.
The purpose of the present invention is to provide a cell recovery method that does not require a centrifuge and suppresses damage to cells. The present invention: is for recovering cells that have been cultured in a vessel that contains a liquid culture medium and have stuck to an inside surface of the vessel; and involves a culture medium draining step (step S11) for draining the culture medium from the vessel, a detachment solution supply step (step S12) for supplying a detachment solution to the vessel after the culture medium has been drained, the detachment solution being for detaching the cells from the inside surface of the vessel, a detachment solution draining step (step S14) for draining the detachment solution from the vessel before the cells are completely detached from the inside surface of the vessel, a waiting step (step S15) for waiting, after the detachment solution has been drained, until the cells detach due to the action of residual detachment solution, and a recovery solution supply step (step S16) for supplying a recovery solution to the vessel after the waiting step is complete, the recovery solution being for recovering the cells.
C12M 1/32 - Inoculateur ou échantillonneur du type à champs multiples ou en continu
C12M 3/00 - Appareillage pour la culture de tissus, de cellules humaines, animales ou végétales, ou de virus
C12N 5/00 - Cellules non différenciées humaines, animales ou végétales, p. ex. lignées cellulairesTissusLeur culture ou conservationMilieux de culture à cet effet
C12N 1/02 - Séparation des micro-organismes de leurs milieux de culture
The purpose of the present invention is to efficiently dispense cells while reducing the risk of incorporating bacteria, etc. A cell dispensing device 1 includes: a first tube 23a which connects a container 21 and a dispensing container 22; a syringe pump 24 attached to a second tube 23b connected to a branching portion 31 formed on the first tube 23a; and a buffer tank 25 provided between the syringe pump 24 and the branching portion 31. In addition, a cell suspension contained in the container 21 is temporarily stored in the buffer tank 25 by means of the syringe pump 24, and the cell suspension stored in the buffer tank 25 is delivered to the dispensing container 22.
−L∧′1s is a frequency characteristic of an element from which a dead time element is removed from a transfer function of a control target P and G{circumflex over ( )}′ is a transfer function not including the dead time element in the control target P.
G05B 13/02 - Systèmes de commande adaptatifs, c.-à-d. systèmes se réglant eux-mêmes automatiquement pour obtenir un rendement optimal suivant un critère prédéterminé électriques
To provide a transfer chamber capable of replacing a chemical filter without affecting an internal atmosphere, and shortening or eliminating stop time of a transfer process of a wafer (W) associated with replacement of the chemical filter.
The transfer chamber transfers the wafer (W) to or from a processing device (6) by using a transfer robot (2) provided thereinside, and includes a circulation path (CL1) formed inside of a transfer chamber (1) to circulate gas, a chemical filter unit (7) provided in the midstream of the circulation path (CL1), and a connecting and disconnecting means (8) which switches connection and disconnection of the chemical filter unit (7) to and from the circulation path (CL1).
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
F24F 7/06 - Ventilation avec réseau de gaines à circulation d'air forcée, p. ex. par un ventilateur
B01D 53/04 - Séparation de gaz ou de vapeursRécupération de vapeurs de solvants volatils dans les gazÉpuration chimique ou biologique des gaz résiduaires, p. ex. gaz d'échappement des moteurs à combustion, fumées, vapeurs, gaz de combustion ou aérosols par adsorption, p. ex. chromatographie préparatoire en phase gazeuse avec adsorbants fixes
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
F24F 3/167 - Salles blanches, c.-à-d. enceintes closes dans lesquelles un flux uniforme d’air filtré est distribué
F24F 7/08 - Ventilation avec réseau de gaines à circulation d'air forcée, p. ex. par un ventilateur avec conduits séparés pour l'air fourni et l'air expulsé
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
78.
Control device and control method for synchronous electric motor
There is provided a control device for a synchronous electric motor that controls a drive of the synchronous electric motor. The control device includes: a limit value setting part configured to set a limit value for an output torque related value that is related to an output torque of the synchronous electric motor according to a rotation speed of the synchronous electric motor; a command generator configured to generate a voltage command based on an input command and the limit value without feeding back a current flowing through the synchronous electric motor; a PWM signal generator configured to generate a PWM signal for controlling the drive of the synchronous electric motor based on the voltage command; and a drive controller configured to control the drive of the synchronous electric motor using the PWM signal.
H02P 21/18 - Estimation de la position ou de la vitesse
H02P 27/12 - Dispositions ou procédés pour la commande de moteurs à courant alternatif caractérisés par le type de tension d'alimentation utilisant une tension d’alimentation à fréquence variable, p. ex. tension d’alimentation d’onduleurs ou de convertisseurs utilisant des convertisseurs de courant continu en courant alternatif ou des onduleurs avec modulation de largeur d'impulsions appliquant des impulsions en guidant le vecteur-flux, le vecteur-courant, ou le vecteur-tension sur un cercle ou une courbe fermée, p. ex. pour commande directe du couple
79.
Control device and control method for synchronous electric motor
A control device 1 for a synchronous electric motor that switches a drive control of the synchronous electric motor to a PWM drive control and a rectangular wave drive control includes a PWM signal generator 14 configured to generate a PWM signal, a rectangular wave signal generator 22 configured to generate a rectangular wave signal, a rotation speed detector 40 configured to detect a rotation speed of the motor 2, a signal switching determination part 50 configured to determine, according to at least the rotation speed, whether the PWM signal or the rectangular wave signal is used as a control signal when controlling the drive of the motor 2, and a drive controller 30 configured to control the drive of the motor 2 using a signal determined by the signal switching determination part 50 to be used as the control signal.
H02P 6/28 - Dispositions pour la commande du courant
H02P 6/17 - Dispositions de circuits pour détecter la position et pour l’obtention d’informations sur la vitesse
H02M 7/44 - Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu en une puissance de sortie en courant alternatif sans possibilité de réversibilité par convertisseurs statiques
According to one embodiment of the present disclosure, a cell culture system includes: a cell culture container; a liquid storage part configured to store a liquid including a culture medium or a reagent to be supplied to the cell culture container; and a cell collection part configured to collect cells cultured in the cell culture container, wherein the cell culture container, the liquid storage part, and the cell collection part are connected by spatially closed-system lines at least during a period from feeding of the liquid to the cell culture container to removal of the cultured cells, and wherein the cell culture container is arranged in an incubator in a form of a multistage shelf including a liquid supply/discharge port.
C12M 1/12 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie avec des moyens de stérilisation, filtration ou dialyse
C12M 3/04 - Appareillage pour la culture de tissus, de cellules humaines, animales ou végétales, ou de virus comportant des moyens fournissant des couches minces
C12M 1/36 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie comportant une commande sensible au temps ou aux conditions du milieu, p. ex. fermenteurs commandés automatiquement
81.
METHOD FOR MANUFACTURING ROTATION SENSOR-ATTACHED MOTOR AND ROTATION SENSOR-ATTACHED MOTOR
MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES ENGINE & TURBOCHARGER, LTD. (Japon)
Inventeur(s)
Yasuoka, Yuki
Nomiyama, Takuma
Hata, Makoto
Ikeda, Hiroshi
Nakaguchi, Kazuma
Abrégé
Provided is a method for manufacturing a rotation sensor-attached motor 1, the rotation sensor-attached electric motor 1 being provided with: a housing 2 that has therein a stator 3; a rotor unit 4 having a shaft 41, a rotor 42, and a detection target part 43, the rotor unit 4 having an outer diameter that does not interfere with the housing 2 when arranged at a predetermined position inside the housing 2; and a rotation sensor 5 provided to the housing 2, wherein the detection target part 43 is provided with a base part 431, a shaft mounting part 432, and a protruding part 433 having an outer diameter dimension of no greater than the outer diameter dimension of the base part 431. The method for manufacturing the rotation sensor-attached motor 1has a step for assembling the rotor unit 4 to establish the above configuration, and a step for inserting and fixing the rotor unit 4 of the configuration into the housing 2 from one side in the axial direction.
H02K 15/02 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication, l'assemblage, l'entretien ou la réparation des machines dynamo-électriques des corps statoriques ou rotoriques
H02K 11/21 - Dispositifs pour détecter la vitesse ou la position, ou actionnés par des valeurs de ces variables
82.
Transfer abnormality detection system and transfer abnormality detection method
There is provided a transfer abnormality detection system capable of receiving information from a container transfer device configured to transfer a transfer container and a mounting device configured to load the transfer container that is transferred by the container transfer device, the system including: a determination part configured to: record which container transfer device is transferring the transfer container based on a container identification ID assigned to each transfer container and a transfer device identification ID assigned to each transfer device; and determine an abnormality in either or both of the container transfer device and the transfer container by combining vibration detection information of the container transfer device obtained by a vibration detection part provided in the container transfer device and state detection information of the transfer container obtained by a container state detection part provided in the mounting device.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
G01M 13/028 - Analyse acoustique ou des vibrations
B65G 1/137 - Dispositifs d'emmagasinage mécaniques avec des aménagements ou des moyens de commande automatique pour choisir les objets qui doivent être enlevés
Provided is a wafer stocker that can further improve the atmosphere around a wafer. A wafer stocker X includes a housing 1, a loading device 2 provided on a front surface of the housing 1, a wafer cassette shelf 3 provided in the housing 1, a wafer transfer robot 4 for transferring wafers into and out of a wafer cassette C on the wafer cassette shelf 3 from a transfer container mounted on the loading device 2, a wafer cassette transfer device 5 for moving the wafer cassette C on the wafer cassette shelf 3 to different heights, and a fan filter unit 8 for generating a laminar flow in a wafer transfer space and a wafer cassette transfer space.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
84.
Door opening/closing system, and load port equipped with door opening/closing system
Provided are a door opening/closing system which prevents the entry of atmospheric air into a front-opening unified pod (FOUP) and an equipment front end module (EFEM) when the FOUP and the EFEM are placed in communication with each other, and a load port equipped with the door opening/closing system. The door opening/closing system is provided with: a base which constitutes a part of a wall isolating a conveyance space from an external space, an opening portion provided in the base; a door which is capable of opening and closing the opening portion; a first seal member which seals a gap between the base and a container; a second seal member which seals a gap between the base and the door, a sealed space which is constituted by the base, the first seal member, the second seal member, a lid member, and the door when the container is in a state of contact with the opening portion with the first seal member therebetween, a first gas injection unit which injects gas into the sealed space; and a second gas discharge unit 88 which evacuates the sealed space.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
A motor control apparatus 1 includes a fixed phase setting section that sets a fixed phase of a motor according to a detection signal. At the start of rotation of a rotor, the fixed phase setting section sets a first fixed phase that is equal to or greater than −90 degrees relative to a stable stopping point at a maximum electrical angle and is equal to or less than 90 degrees relative to a stable stopping point at a minimum electrical angle of the rotor as the fixed phase, and sets a second fixed phase that is equal to or greater than −90 degrees relative to a stable stopping point at a maximum electrical angle and is equal to or less than 90 degrees relative to a stable stopping point at a minimum electrical angle of the rotor.
A motor control apparatus includes: a motor drive control section that controls driving of a motor using a predetermined phase; a rotation position detecting section that, at every 180 degrees of an electrical angle of the motor, outputs two kinds of detection signals according to the rotation position of the rotor of the motor; a stopped position estimating section that estimates the stopped position at the start of rotation of the rotor using an elapsed time from when rotation the rotor starts until the kind of the detection signal outputted from the rotation position detecting section switches; a rotational speed estimating section that estimates the rotational speed of the rotor using the elapsed time and the stopped position; and an estimated phase calculating section that calculates an estimated phase as the aforementioned predetermined phase using the rotational speed.
There is provided a load port provided to a loading/unloading port of a semiconductor-processing apparatus to transfer a semiconductor wafer, including: a FOUP support configured to support a FOUP that includes a FOUP lid and move the FOUP in a front-rear direction with respect to the loading/unloading port; a lid configured to open and close the loading/unloading port; a FOUP lid sensor provided to perform a detection operation between a position of the lid in a closed state and a position of the FOUP lid when unloading is normally completed by retreating the FOUP by a predetermined distance with respect to the loading/unloading port; and an observer configured to observe that the FOUP lid sensor has performed the detection operation after the unloading is completed.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
The present invention provides a mounter air controller capable of executing appropriate air control associated with replacement of a nozzle without stopping operation of a mounter. This mounter air controller includes: a flow rate adjustment mechanism 4 mounted on a head module HM of the mounter; and control means 5 that controls this flow rate adjustment mechanism 4. The flow rate adjustment mechanism 4 is interposed between a positive-pressure region and a nozzle n and has a function capable of continuously changing a flow rate of passing air. The control means 5 is configured to bring the nozzle n to have a negative pressure and then control the flow rate in the flow rate adjustment mechanism 4 on the basis of an applied voltage or an applied current, which is determined in advance, so as to supply the air to the nozzle n.
A load port including: a base as part of a wall partitioning a transportation space from an external space; an opening provided to the base; a door configured to open and close the opening and securing a lid to, and releasing a lid from, a container containing contents; and a first seal member for sealing the space between the base and the container. At least some of the container-side end surface of the door is located nearer to the transportation space than the container-side end part of the first seal member. The load port can keep a surrounding space clean when a FOUP is connected to a casing.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65G 49/00 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs
A transfer device includes a first parallel four-joint link mechanism in which base end portions of a pair of first links are rotatably connected to a first link base and distal end portions of the first links are rotatably connected to an intermediate link base, a second parallel four-joint link mechanism in which base end portions of a pair of second links are rotatably connected to the intermediate link base and distal end portions of the second links are rotatably connected to a second link base, and a belt transmission mechanism including a pair of first pulleys respectively connected to the first links, a second pulley connected to one of the second links, and a belt provided around the first pulleys and the second pulley. The belt transmission mechanism transmits a rotational driving force such that the first links and the second links rotate in opposite directions to each other.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65G 47/60 - Dispositifs pour transférer objets ou matériaux entre transporteurs, p. ex. pour décharger ou alimenter vers des transporteurs du type suspendu, p. ex. à trolley ou à partir de ces transporteurs
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
A substrate storage container management system includes a load port, configured to transfer a substrate into and out of one or more substrate storage containers, including an ID reader configured to read one or more entity IDs for the substrate storage containers, and one or more sensors configured to directly or indirectly detect one or more states of the substrate storage containers, an associator configured to associate the entity IDs read by the ID reader with one or more sensor values detected by the sensors; a database in which data associated by the associator is accumulated, and a data processor configured to analyze the data in the database and to output a state of a respective substrate storage container for each of the entity IDs.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
G06K 7/10 - Méthodes ou dispositions pour la lecture de supports d'enregistrement par radiation électromagnétique, p. ex. lecture optiqueMéthodes ou dispositions pour la lecture de supports d'enregistrement par radiation corpusculaire
B65G 1/137 - Dispositifs d'emmagasinage mécaniques avec des aménagements ou des moyens de commande automatique pour choisir les objets qui doivent être enlevés
92.
ABNORMALITY DETECTION DEVICE, AND VIBRATION CONVEYANCE DEVICE PROVIDED WITH SAME
Provided is an abnormality detection device that can detect an abnormality with good precision using a plurality of types of data. An abnormality detection device 1 is provided with: a plurality of sensors 2-5 that acquire a plurality of types of measurement data, at different measurement positions or with different physical quantities, at the same time in a vibration conveyance device 100; a data processing unit 12 that normalizes or standardizes the plurality of types of measurement data; a same time data generation unit 13 that generates same time data at various times by arranging, in order, values obtained by the data processing unit 12 from the plurality of types of measurement data; and a chronological data generation unit 14 that generates chronological data by chronologically arranging the same time data generated at various times.
There is provided an exhaust nozzle unit capable of discharging a gas atmosphere in a substrate storage container having a loading/unloading opening from the container to an outside of the container through a port formed on a bottom surface of the container. The exhausted nozzle includes a nozzle capable of switching the port from a closed state to an open state by pressing a valve of the port; and a housing configured to hold the nozzle so as to be movable up and down between a use posture in which the port is in the open state and a standby posture in which the port is in the closed state.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B05B 1/30 - Buses, têtes de pulvérisation ou autres dispositifs de sortie, avec ou sans dispositifs auxiliaires tels que valves, moyens de chauffage agencés pour commander un débit, p. ex. à l'aide de conduits de section réglable
B05B 1/00 - Buses, têtes de pulvérisation ou autres dispositifs de sortie, avec ou sans dispositifs auxiliaires tels que valves, moyens de chauffage
In the present invention, while substitution with inert gas in an accommodation chamber is facilitated, discharge of particles in the accommodation chamber is also facilitated. This EFEM comprises: a load port 4; a casing in which a conveyance chamber that is closed by connection of a load port 4 to an opening provided in a partition wall, is formed; a supply pipe for supplying nitrogen to the conveyance chamber; and a discharge pipe 49 for discharging gas in the conveyance chamber. The load port 4 comprises an opening/closing mechanism 54 capable of opening/closing a lid 101 of a placed FOUP 100, and an accommodation chamber 60 that is in communication with the conveyance chamber via a slit 51b and that accommodates a portion of the opening/closing mechanism 54. The discharge pipe 49 is connected to the accommodation chamber 60 so as to discharge the gas in the conveyance chamber via the accommodation chamber 60.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
In the present invention, when the supply flow amount of inert gas is changed, a pressure fluctuation in a circulation path is suppressed. This EEFM is provided with: a supply valve that can change the supply flow amount of the inert gas to be supplied to a circulation path; a discharge valve that can change the discharge flow amount of gas to be discharged from the circulation path; a concentration detection unit that detects a change in the atmosphere inside the circulation path; a pressure detection unit that detects the pressure in the circulation path; and a control unit that controls the supply valve and the discharge valve. The control unit decides the opening degree of the discharge valve to be of a predetermined value on the basis of a detection result obtained by the concentration detection unit.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
The present invention enables sealing of a housing even in the case where a frame member and a cover member are not of high rigidity. An EFEM is configured to have a pressure difference of not more than a prescribed value between an interior space 40 and an exterior space 7 of a housing. The housing has: a frame member that is assembled so as to have an opening formed therein; a cover member that is attached to the frame member so as to cover the opening; and a seal member 61 that is sandwiched between the frame member and the cover member and that extends so as to surround the opening. The frame member and the cover member are made of a sheet metal. The seal member 61 is an elastic member wherein a cross-section in a direction orthogonal to the extension direction of the seal member 61 is formed in a hollow shape.
F16J 15/10 - Joints d'étanchéité entre surfaces immobiles entre elles avec garniture solide comprimée entre les surfaces à joindre par garniture non métallique
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
In this inert-gas circulating type EFEM, generation of any constraints on installation of incidental equipment, a maintenance door, or the like is inhibited, and the need for changing the placement position, etc. of a feedback path according to the specifications, etc. of a substrate processing device connected thereto is eliminated. An EFEM 1 is provided with: a conveyance chamber 41 in which a wafer W is conveyed; a unit installation chamber 42 in which a FFU 44 for feeding nitrogen to the conveyance chamber 41 is installed; and a feedback path 43 for feeding the nitrogen having flown through the conveyance chamber 41, back to the unit installation chamber 42. A substrate processing device 6 is connected to the rear-side end of the conveyance chamber 41. The feedback path 43 is disposed at the front-side end of the conveyance chamber 41.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
F16K 31/00 - Moyens de fonctionnementDispositifs de retour à la position de repos
B06B 1/06 - Procédés ou appareils pour produire des vibrations mécaniques de fréquence infrasonore, sonore ou ultrasonore utilisant l'énergie électrique fonctionnant par effet piézo-électrique ou par électrostriction
H02N 2/06 - Circuits d'entraînementDispositions pour la commande
H02N 2/14 - Circuits d'entraînementDispositions pour la commande
F16K 31/02 - Moyens de fonctionnementDispositifs de retour à la position de repos électriquesMoyens de fonctionnementDispositifs de retour à la position de repos magnétiques
F01L 9/20 - Systèmes de distribution à soupapes, à commande non mécanique par des moyens électriques
A load port provided adjacent to a wafer transport chamber for taking in and out a wafer W between the wafer transport chamber and a FOUP, includes a plate-shaped part that constitutes a part of a wall of the wafer transport chamber, and has an opening for opening the wafer transport chamber; a door part for opening and closing the opening; a mounting table that is configured to mount a wafer storage container so as to oppose a lid part for opening and closing an internal space to the door part, and to move to and from the plate-shaped part; and an elastic part that is provided on the mounting table side of the plate-shaped part along the peripheral edge of the opening, wherein the elastic part elastically contacts the periphery of the lid part in the wafer storage container by moving the mounting table toward the plate-shaped part.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
100.
Culture container linkage device, culture system, and method for washing needle
A culture container linkage device according to the present disclosure includes a first actuator configured to advance or retract needles 32, an actuator holder rotatably provided on a frame and configured to hold the first actuator, a second actuator, and a washer configured to wash the needles. The second actuator rotates the needles via the actuator holder. The needles are configured to be positioned, by the second actuator, at a container-facing position at which the needles face a culture container and a washing-facing position at which the needles face the washer.
C12M 1/12 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie avec des moyens de stérilisation, filtration ou dialyse
C12M 1/00 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie
A61L 2/04 - Procédés ou appareils de désinfection ou de stérilisation de matériaux ou d'objets autres que les denrées alimentaires ou les lentilles de contactAccessoires à cet effet utilisant des phénomènes physiques de la chaleur
C12M 3/00 - Appareillage pour la culture de tissus, de cellules humaines, animales ou végétales, ou de virus
C12M 1/02 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie avec des moyens d'agitationAppareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie avec des moyens d'échange de chaleur
B08B 9/00 - Nettoyage d'objets creux par des procédés ou avec un appareillage spécialement adaptés à cet effet
