Abrégé

A non-evaporable getter 1 includes a mesh 3, a frame 2 which is attached to the mesh 3 and suppresses deformation of the mesh 3, and a powder-state getter material 4 which is surrounded by the mesh 3 and the frame 2, and whose particle size is larger than a mesh opening of the mesh 3.

Classes IPC  ?

• F04B 37/02 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation, par absorption ou adsorption
• F04B 37/08 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation par moyens thermiques par condensation ou réfrigération, p. ex. pompes cryogéniques
• H01J 7/18 - Moyens d'absorption ou d'adsorption du gaz, p. ex. par getter

Abrégé

A non-evaporable getter 1 includes a mesh 3, a frame 2 which is attached to the mesh 3 and suppresses deformation of the mesh 3, and a powder-state getter material 4 which is surrounded by the mesh 3 and the frame 2, and whose particle size is larger than a mesh opening of the mesh 3.

Classes IPC  ?

• F04B 37/02 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation, par absorption ou adsorption
• H01J 7/18 - Moyens d'absorption ou d'adsorption du gaz, p. ex. par getter
• F04B 37/08 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation par moyens thermiques par condensation ou réfrigération, p. ex. pompes cryogéniques

Abrégé

A vacuum measurement device includes a grid (10) and an electron source (20) provided inside a vacuum vessel, and an ion beam (100) extracted outside the grid is captured by an ion collector (40) and is converted into a current signal. The grid (10) is a grid-shaped cylinder, and an ion outlet (11) is opened and elongated in the longitudinal direction along the side surface of the grid (10). The vacuum measurement device includes a primary ion collector (40) capturing specific ions and a secondary ion collector (50) capturing other ions. The gas molecule density of the ion source is obtained from a total current of the primary and secondary ion collectors, and a ratio of the gas molecule density of the specific ions relative to the gas molecule density is obtained from a ratio of the current of the primary ion collector (40) relative to the total current.

Classes IPC  ?

• H01J 27/20 - Sources d'ionsCanons à ions utilisant un bombardement de particules, p. ex. ioniseurs
• H01J 49/14 - Sources d'ionsCanons à ions utilisant un bombardement de particules, p. ex. chambres d'ionisation
• H01J 3/26 - Dispositifs de déviation du rayon ou du faisceau

Abrégé

A vacuum measuring device which is provided with a grid (10) and an electron source (20) within a vacuum container, and the form of which ion beams (100) pulled out to the outside of the grid are captured and converted into a current signal by an ion collector (40), wherein the grid (10) is a grid-shaped cylindrical body, and an ion emission port (11) thereof is open along the side surface of the grid (10) in an oblong way. Also, a vacuum measuring device using a publicly known ion source or an improved ion source is provided with the first ion collector (40) for capturing specific ions, and a second ion collector (50) for capturing ions other than the specific ions, determines the gas molecular density of the ion source from the combined total current of the first and second ion collectors, and determines the ratio of the gas molecular density of the specific ions to the gas molecular density of the ion source from the rate of the current of the first ion collector (40) accounted for the combined total current. Furthermore, the structures of the first and second ion collectors have been improved.

Classes IPC  ?

• G01L 21/32 - Indicateurs de vide en faisant usage des effets d'ionisation en utilisant des tubes électriques à décharge à cathodes thermioniques
• G01N 27/64 - Utilisation de l'onde ou de la radiation des particules pour ioniser un gaz, p. ex. dans une chambre d'ionisation