The invention relates to a method (300) and an apparatus (200) for assessing a quality of a container (100) for at least one semiconductor fabrication article. The invention is based on the principle of providing a mild vacuum in an inner 5 volume (110) of the container (100) in order to create a driving force for an at- mosphere surrounding the container (100) to diffuse into the container (100) through any cracks or other insufficiently sealed openings. Constituents of the surrounding atmosphere (particularly, certain chemical compounds present in the surrounding atmosphere but not or less prominently present in the inner vol-0 ume (110) of the container (100)) are then used as an indicator for such insuffi- ciently sealed openings. (Figure 2)
Provided is a method for measuring a contamination of a semiconductor carrier device (150), using a measuring device (120) connected to a load port (101) for the semiconductor carrier device, the method comprising: after the semiconductor carrier device has arrived in or at the load port: establishing a fluid connection of the measuring device, to an inside of the semiconductor carrier device and measuring the contamination of the semiconductor carrier device; and Providing a measurement result (122). Provided is also a corresponding system (100).
A method for purging a reticle stocker used in semiconductor manufacturing, the method comprising the steps of: - providing a reticle stocker configured to store a plurality of reticles within a controlled environment, the reticle stocker having an interior chamber, - introducing a first purge gas into the interior chamber of the reticle stocker, the first purge gas selected from the group consisting of dry nitrogen, compressed air, and other inert gases, - in reaction to a predetermined handling situation or criterion being determined, introducing a second purge gas into the interior chamber of the reticle stocker, the second purge gas being different from the first purge gas, and selected from the group consisting of dry nitrogen, compressed air, and other inert gases.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
Stocker system for storage of a plurality of reticles, especially EUV reticles, including a plurality of storage pods each adapted to hold one of the reticles in their interior, and to be stacked vertically one above the other to provide a stack, each of the storage pods including a passageway with an inlet, an outlet and a first opening, wherein inlets and outlets of adjacent passageways are arranged such that a duct extending through the stack is provided, through which a purge gas can be blown, and the purge gas blown through the duct can enter the interior of each storage pod through its respective first opening.
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p. ex. photolithographique, de surfaces texturées, p. ex. surfaces impriméesMatériaux à cet effet, p. ex. comportant des photoréservesAppareillages spécialement adaptés à cet effet
G03F 1/66 - Réceptacles spécialement adaptés aux masques, aux masques vierges ou aux pelliculesLeur préparation
The invention relates to a method for cleaning items, especially containers for transporting and/or storing wafers or reticles such as FOUPs or reticle pods, in a fab environment, comprising the steps of identification of a plurality of critical contaminants amongst the total contamination, especially in in a closed (mini) environment such as the interior of a container, after identifying the critical contaminants, choosing and/or optimizing a cleaning process with a view to suppressing at least one of the plurality of critical contaminants, especially until a predetermined first threshold level of the at least one of the critical contaminants has been reached, and after supressing the at least one of the plurality of the critical contaminants, reducing the overall contamination, especially comprising AMCs, VoCs etc, especially until a predetermined second threshold level of the overall contamination has been reached.
The invention relates to a method for cleaning a storage container (100), in particular a storage container for storing semiconductor wafers or lithography masks. The storage container (100) comprises a plurality of walls (112a, 112b, 112c, 112d, 112e) forming a main body (110) of the storage container (100), a loading opening (111) of the main body (100) formed opposite to one of the plurality of walls (112a-e) and formed by the other ones of the plurality of walls (112a-e), wherein at least one first opening (114a, 114b, 114c) is formed on at least one of plurality of walls (112a-e). In the method, the loading opening (111) and the at least one first opening (114a-d, 115a-c) of the storage container (100) are sealed (200) and an outside and/or an inside of the storage container (100) is cleaned (210). To clean (210, 410) the storage container (100), a first cleaning fluid is provided (211, 411) to an inside surface of the storage container (100), or a second cleaning fluid is provided (212, 412) to an outside surface of the storage container (100). The invention further relates to a device (300) for cleaning a storage container (100).
Device (200) for handling a storage container (100) for storing semiconductor wafers or lithography masks, the storage container (100) comprising a plurality of plates (112, 114,116,118) defining a main body (110) and a lid, the device (200) being configured for engagement with a first one of the plurality of plates, the device (200) being further configured for engagement with at least a further one of the plurality of plates.
Method for cleaning items used in the field of semiconductor manufacturing, especially semiconductor devices such as wafers and reticles, containers, especially carrier and/or storage pods such as FOUPs, FOSBs, EUV double pods, and surfaces, comprising a main cleaning process, wherein the main cleaning process is preceded by a pre-treatment process and/or followed by a post-treatment process.
The invention provides a semiconductor fabrication tool, particularly a stocker, (100) for processing a semiconductor fabrication article, particularly a reticle, the tool comprising at least one load port (151, 152, 153, 154), an article handler (112, 114), and an article processing unit (120), wherein the load port (151, 152, 153, 154) is configured to accept, from outside the tool (100), a transport container (200) holding the article, to open the transport container (200), and to provide the article handler (112, 114) with access to the article within the transport container (200), wherein the article processing unit (120) is configured to process a predetermined number of articles, wherein processing an article particularly comprises storing the article in a respective storage position, wherein the article handler (112, 114) is configured to retrieve an article from the article processing unit (120) and/or to retrieve the article from the opened transport container (200) and to transfer the article between the transport container (200) and the article processing unit (120), the tool (100) further comprising a container storage unit (220) and a container handler (212) for transferring the transport container (200) between the container storage unit (220) and the load port (151, 152, 153, 154). Further, a load port (151, 152, 153, 154) for such a tool (100) and a method for operating such a tool (100) are provided.
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p. ex. photolithographique, de surfaces texturées, p. ex. surfaces impriméesMatériaux à cet effet, p. ex. comportant des photoréservesAppareillages spécialement adaptés à cet effet
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
10.
METHOD FOR DETERMINING CONTROL AND/OR CLEANING INSTRUCTIONS FOR A CONTAINER AND CORRESPONDING SYSTEM
The invention relates to a method for determining control and/or cleaning instructions for a container (102) adapted and configured to hold wafers (106) or reticles, the method comprising, in a determination cycle, the steps of: Providing or receiving container data (210), wherein the container data comprises data about a contamination (104) of the container and/or data about characteristics of the container, and wherein the container data is or has been acquired by means of measurement, preferably at various points in time; determining, using an analysis model and based on the container data, defect information (220) about potential defects of the wafer or reticles; determining, using a planning model and based on the defect information and/or the container data, control instructions (220) for the container, and providing the control instructions for further handling of the container; and if the control instructions comprise cleaning the container, determining, using a cleaning model and based on the container data and/or the defect information and/or the control instructions, cleaning instructions for the container, and providing the cleaning instructions for cleaning the container.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
The invention provides a storage pod (110) for storage of a single reticle (200), especially an EUV reticle, the storage pod (110) comprising a base plate (112) and a cover (114) defining an interior space (111) the interior space (111) being configured and adapted to hold said single reticle, the storage pod (110) further comprising at least one gas inlet interface (120) for providing a purge gas (210) to the interior space (111), wherein a gas flow of the purge gas (210) into the interior space (111) is independent from an atmosphere surrounding the storage pod (110). Further, an outer pod (300) for containing such a storage pod (110) and a storage stocker for storing storage pods (110) with or without such outer pods (300) are disclosed.
G03F 1/66 - Réceptacles spécialement adaptés aux masques, aux masques vierges ou aux pelliculesLeur préparation
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p. ex. photolithographique, de surfaces texturées, p. ex. surfaces impriméesMatériaux à cet effet, p. ex. comportant des photoréservesAppareillages spécialement adaptés à cet effet
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
12.
METHOD FOR MONITORING A STATE OF A CONTAINER OR CONTAINER COMPONENT, AND INSPECTION SYSTEM
Method and inspection system for monitoring a state of a container (110) adapted and configured to hold wafers or reticles, the container comprising a body (115), a lid (120) and a gasket (122) provided on the body (115) or on the lid (120), the gasket (122) being configured and adapted to ensure a gas-tight seal between the body (115) and the lid (120) in order to provide a closed space within the container (110), which is gas-tightly sealed relative to an outside environment, the method comprising imaging the gasket (122) against a background (106), wherein the gasket (122) and the background (106) are provided with different colours and/or are provided with different patterns.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
G03F 1/66 - Réceptacles spécialement adaptés aux masques, aux masques vierges ou aux pelliculesLeur préparation
13.
METHOD AND DEVICE FOR CLEANING A SEMICONDUCTOR CARRIER DEVICE, AND USE OF A CLEANING FLUID
Method for cleaning a semiconductor carrier device configured and adapted to hold wafers or reticles or a component of such a carrier device, comprising contacting the semiconductor carrier device or the component with a cleaning fluid comprising bubbles, especially micro-bubbles, while the fluid is subjected to ultrasonic or megasonic irradiation.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B08B 3/12 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p. ex. par la chaleur, par l'électricité ou par des vibrations par des vibrations soniques ou ultrasoniques
14.
METHOD AND SYSTEM FOR DETERMINING A CONCENTRATION OF AT LEAST ONE COMPONENT OF A GAS IN A CONTAINER
The invention relates to a method for determining a concentration of at least one component of a gas in a container (210) adapted and configured to hold wafers or reticles, comprising the steps of: transferring an amount of gas from the container (210) to a non-destructive gas analysing unit (220) provided as a spectroscopy unit such as a cavity ring-down spectroscopy unit or a direct absorption spectroscopy unit; determining a concentration of the amount of gas by means of the non-destructive gas analysing unit (220); and returning the amount of gas from the non-destructive gas analysing unit (220) to the container (210).
G01N 21/39 - CouleurPropriétés spectrales, c.-à-d. comparaison de l'effet du matériau sur la lumière pour plusieurs longueurs d'ondes ou plusieurs bandes de longueurs d'ondes différentes en recherchant l'effet relatif du matériau pour les longueurs d'ondes caractéristiques d'éléments ou de molécules spécifiques, p. ex. spectrométrie d'absorption atomique en utilisant des lasers à longueur d'onde réglable
G01J 3/42 - Spectrométrie d'absorptionSpectrométrie à double faisceauSpectrométrie par scintillementSpectrométrie par réflexion
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
Provided is a vacuum chamber for treating a semiconductor carrier device, wherein the vacuum chamber is configured to receive the semiconductor carrier device in its interior, and wherein the vacuum chamber comprises a diffuser extending from a port in a wall of the vacuum chamber into the interior of the vacuum chamber. Provided is also a corresponding method and a system.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
16.
METHOD AND SYSTEM FOR CLEANING CONTAINERS CONFIGURED AND ADAPTED TO STORE WAFERS OR RETICLES
Method and system for cleaning a container configured and adapted to hold wafers or reticles, comprising generating at least one digital twin simulation model configured and adapted to predict cleaning requirements of the container, and implementing at least one cleaning procedure based on the at least one digital twin simulation model.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
17.
METHODS FOR CLEANING A SEMICONDUCTOR CARRIER DEVICE
Disclosed are methods for cleaning a container configured and adapted to hold wafers or reticles during a wafer or reticle manufacturing process within a semiconductor fab environment, comprising the following steps: obtaining historical cleaning data from at least one container previously cleaned within the semiconductor fab environment, and/or obtaining current cleaning data, especially data of current contamination levels of the container, based on measurements made during current handling of the container, generating a customised cleaning recipe based on the historical cleaning data and/or the current cleaning data in real time and considering material of container, especially within a time period of up to 60 minutes, up to 30 minutes, up to 10 minutes, or up to 5 minutes for cleaning the container, and implementing said customised cleaning recipe for cleaning the container.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
18.
METHOD FOR MONITORING A STATE OF A CONTAINER AND INSPECTION SYSTEM
The invention relates to a method for monitoring a state of a container adapted and configured to hold wafers or reticles, comprising the steps of detection of at least one of a plurality of container characteristics at various points in time, especially at predetermined intervals, and evaluation of the state of the container based on a development of the at least one container characteristic over time.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A treatment station for substrate storage and transport containers including a chamber configured to hold a sealed environment therein, and configured to hold at least one container of the containers within the sealed environment, the chamber is connected to at least one of a wet cleaning and vacuum drying equipment, so as to at least one of wet clean and vacuum dry the at least one container within the sealed environment, and a heater connected to the chamber with at least one IR radiation source disposed so as to irradiate and dry the container in the sealed environment, to a predetermined dry condition, in an optimal drying time period and within maximum temperature limits of the at least one container, the at least one IR radiation source has a radiant output spectrum commensurate with a peak heat absorption characteristic of material making up the at least one container.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B08B 7/00 - Nettoyage par des procédés non prévus dans une seule autre sous-classe ou un seul groupe de la présente sous-classe
H01L 21/52 - Montage des corps semi-conducteurs dans les conteneurs
B08B 9/08 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs
H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
20.
STOCKER POD, METHOD AND STOCKER FOR STORING A SEMICONDUCTOR FABRICATION ARTICLE
Stocker pod for storing a semiconductor fabrication article, the stocker pod including at least two components with at least one fixator, integrally formed with at least one of the at least two components of the stocker pod, the fixator being configured to immobilize the two or more components of the stocker pod relative to one another.
G03F 1/66 - Réceptacles spécialement adaptés aux masques, aux masques vierges ou aux pelliculesLeur préparation
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p. ex. photolithographique, de surfaces texturées, p. ex. surfaces impriméesMatériaux à cet effet, p. ex. comportant des photoréservesAppareillages spécialement adaptés à cet effet
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
21.
CONTAINER FOR STORING AND/OR TRANSPORTING A SEMICONDUCTOR FABRICATION ARTICLE
The invention relates to a container (100) for storing and/or transporting a semiconductor fabrication article (190), particularly one or more of a wafer, a chip, a substrate and a photolithography mask, particularly an EUV reticle, the container (100) comprising an upper component (110) and a lower component (120), wherein the upper component (110) is reversibly attachable to the lower component (120), the container (100) further comprising an article support (140) provided within at least one of the upper (110) and the lower (120) components, wherein the article support (140) is configured to support one article (190) to be stored and/or transported in the container (100) and to restrict movement of the article (190) relative to the container (100), wherein the article support (140) is configured to elastically retract upon the article (190) being pushed towards the article support (140) by a pushing force (192), wherein the elastic retraction produces a counter force biasing the article (190) in a direction opposite the direction of the pushing force (192). The invention further provides a dual pod for storing and/or transporting a semiconductor fabrication article (190) using such a container (100) as an inner pod and an article support (140) for such a container (100).
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
22.
CONTAINER, METHOD AND STOCKER FOR STORING AND/OR TRANSPORTING A SEMICONDUCTOR FABRICATION ARTICLE
The invention relates to a container (100) for storing and/or transporting a semiconductor fabrication article (190), particularly one or more of a wafer, a chip, a substrate and a photolithography mask, particularly an EUV reticle, the container (100) comprising an upper component (110) and a lower component (120), wherein the upper component (110) is reversibly attachable to the lower component (120), the container (100) further comprising a locking mechanism (140, 160), integrally formed within the upper component (110) and the lower component (120) and configured to restrict movement of the upper component (110) and the lower component (120) relative to one another, wherein the locking mechanism (140, 160) comprises a pin (112), which in a state in which the upper component (110) is attached to the lower component (120), extends from a first one of the upper (110) and lower (120) components into a second one of the upper (110) and lower (120) components, wherein the locking mechanism (140, 160) further comprises an engagement member (122, 162) accommodated within the second one of the upper (110) and lower (120) components, the engagement member (122, 162) being configured to selectively restrict movement of the pin (112) relative to the second one of the upper (110) and lower (120) components, wherein the pin (112) comprises a recess (114) and the engagement member (122, 162) is configured to engage with the recess (114). The invention further provides a method (200) for storing and/or transporting a semiconductor fabrication article (190) using such a container (100) and a stocker configured to perform such a method (200) and to hold a number of such containers (100).
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
Stocker system for storage of a plurality of reticles, especially EUV reticles, comprising a plurality of storage pods (110), each storage pod (110) comprising a base plate (112) and a cover (114) defining an interior space (111) and each configured and adapted to hold one of said reticles in the interior space (111), the storage pods (110) further being adapted to be stacked vertically one above the other to provide a stacked configuration (80), each storage pod being provided with alignment features (130,132) in its base plate and its cover, the alignment features being configured and adapted to enable mechanical alignment of a storage pod with adjacent storage pods in the stacked configuration (80), wherein at least some of the alignment features (130,132) are configured and adapted to allow a flow of purge gas therethrough.
G03F 1/66 - Réceptacles spécialement adaptés aux masques, aux masques vierges ou aux pelliculesLeur préparation
G03F 1/82 - Procédés auxiliaires, p. ex. nettoyage ou inspection
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p. ex. photolithographique, de surfaces texturées, p. ex. surfaces impriméesMatériaux à cet effet, p. ex. comportant des photoréservesAppareillages spécialement adaptés à cet effet
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
A model for defect recognition on a surface under inspection comprises a first supervised machine learning classifier configured for classifying image units of an image into at least defective and defect-free image units; multiple sets of convolution filters perform feature extraction, wherein each such set comprises one or more convolution filters defined by a set of individual filter parameters; said convolution filters are applied to one or more labelled reference images of a surface to obtain multiple groups of feature maps; multiple trained first machine learning classifiers are obtained using said feature maps; each trained first machine learning classifier is provided with an input test set and a respective quality parameter is obtained; an optimized set of convolution filters is applied to one or more labelled training images in order to train a copy of said first machine learning classifier.
STOCKER SYSTEM FOR STORAGE OF RETICLES, CORRESPONDING STORAGE STOCKER AND METHODS AND DEVICES FOR RETRIEVING RETICLE PODS OR RETICLES FROM A STACK OF RETICLE PODS OR FOR STORING THEM THEREIN
The invention relates to a stocker system (100) for storage of a plurality of reticles (150), especially EUV reticles. The stocker system (100) comprises a plurality of storage pods (111, 112, 113) each adapted to hold one of said reticles (150) in their interior, and to be stacked in a vertical direction (V) one above the other to provide a stack (110), each of the storage pods (111, 112, 113) being provided with two handling members (120) arranged on opposite sides of the storage pod (111, 112, 113) in a first horizontal direction (H1) and each of the handling members (120) being provided with a handling member engagement features (121). The stocker system (100) further comprises two holding structures (200) being provided with a plurality of holding members (210), each of the holding members (210) being provided with a holding member engagement element (211) adapted to engage with a corresponding handling member engagement feature (121), wherein the holding structures (200) are arranged such that, when the holding structures (200) are engaged with the plurality of storage pods (111, 112, 113), movement of the plurality of storage pods (111, 112, 113) in the first horizontal direction is prevented by the holding structures (200) and movement of the plurality of storage pods (111, 112, 113) in a second horizontal direction essentially perpendicular to the first horizontal direction (H1) is prevented by engagement of the handling member engagement features (121) with the holding member engagement elements (211). The invention further relates to storage stocker, a method and a device for retrieving a first storage pod (111) from a stack (110) comprising a plurality of storage pods, a method and a device for retrieving a reticle (150) from a stack (110) comprising a plurality of storage pods and a storage pod (111, 112, 113).
The invention provides a stocker (100) for storing a semiconductor fabrication article, particularly a reticle, with a motorized storage unit (120), particularly a rotatable storage carousel, with a plurality of storage positions, wherein the storage unit comprises at least one handling device (112, 114) configured to access the at least two storage positions and to place an article therein for storage or to retrieve an article therefrom, at least two storage portions (121, 122, 123, 124, 125, 126), wherein each one of the storage portions (121, 122, 123, 124, 125, 126) comprises a motor (131, 132, 133, 134, 135, 136) configured to displace the respective storage portion (121, 122, 123, 124, 125, 126) independently of any of the remaining storage portions (121, 122, 123, 124, 125, 126). Additionally, the at least one handling device may comprise at least two handling devices (112, 114) wherein the at least two handling devices (112, 114) are arranged at mutually different positions with respect to the storage unit (120) and are configured to access storage positions within the storage unit (120) independently from one another. Further, a method for operating such a stocker (100) is provided.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
27.
METHODS FOR CLEANING SEMICONDUCTOR CARRIER DEVICES
Provided are a method for cleaning a semiconductor carrier device (100), comprising a first step (120) of exposing the semiconductor carrier device (100) to a warm gas (110) a second step (140) of exposing the semiconductor carrier device (100) to a cleaning fluid (112); and a third step (160) of exposing the semiconductor carrier device (100) to a warm gas (114), and method for cleaning a semiconductor carrier device (100), comprising a first step (220) of exposing the semiconductor carrier device (100) to a vacuum (222), a second step (240) of exposing the semiconductor carrier device (100) to a venting gas (224), and a third step (260) of exposing the semiconductor carrier device (100) to a vacuum (226) and a method of combination of them.
B08B 9/093 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs par la force de jets ou de pulvérisations
F26B 3/04 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets impliquant l'utilisation de chaleur par convection, c.-à-d. la chaleur étant transférée d'une source de chaleur au matériau ou aux objets à sécher par un gaz ou par une vapeur, p. ex. l'air le gaz ou la vapeur circulant sur ou autour du matériau ou des objets à sécher
F26B 5/12 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets n'impliquant pas l'utilisation de chaleur par aspiration
H01L 21/00 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
28.
STORAGE SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION OBJECTS AND STORAGE MODULE
Provided is a storage system for semiconductor production objects, especially reticles, comprising a plurality of storage modules (2), each storage module having a housing (6) and configured to accommodate at least one semiconductor production object in an interior of the housing; and a stocker comprising a compartment (40), which includes a plurality of storage shelves each configured to receive one or more of the storage modules (2); characterised in that each of the storage modules (2) includes a monitoring device (4) arranged at the housing, the monitoring device having one or more sensors (22, 24, 26), configured to measure one or more parameters in the interior of the housing (6) to determine measurement values, and a communication assembly (12, 14), configured to transmit measurement data including one or more of the measurement values and/or including values derived from the measurement values to an exterior of the housing using a determined data communication method.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
29.
STOCKER FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION ARTICLES AND METHOD FOR OPERATING SUCH A STOCKER
Stocker (100) for storing semiconductor fabrication articles, particularly reticles, with a plurality of storage positions for semiconductor fabrication articles, wherein the plurality of storage positions is divided into a plurality of purge zones, each purge zone being provided with an individual purge level setting, which is different from a purge level setting of each other purge zone, such that a semiconductor fabrication article can be subjected to a specific purge level in dependence on a location of its storage position within the plurality of purge zones.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
A method for cleaning a plastic's surface so as to effect removing metallic particulate contaminants from the plastic's surface, including rinsing the plastic's surface with electrolyzed water, anodic water, cathodic water, or ozone, so as to remove positive charges left on the plastic's surface by the anodic water, and then rinsing the plastic's surface with deionized water; wherein the rinsing of the plastic's surface with the electrolyzed water, anodic water, cathodic water, or ozone, and then the deionized water effects cleansing of the plastic's surface to a predetermined cleanliness value.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
31.
A CLEANING SYSTEM AND A METHOD FOR CLEANING A CARRIER FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATES OR AT LEAST A SURFACE OF THE CARRIER
The present invention refers to a cleaning system (100) for cleaning a carrier (105) for semi-conductor substrates or at least a surface of the carrier (105), comprising: a first chamber (110) and a second chamber (120), wherein the first chamber (110) and the second chamber (120) are in fluid-communication with each other, wherein the second chamber (120) is con- figured to accommodate the carrier (105); an input fluid supply (130) configured to provide an input fluid (135) to the first chamber (110); a radiation source (140) configured to provide ra- diation of at least one predetermined wavelength within the first chamber (110) and config- ured to create a cleaning fluid (145) comprising a plasma and/or ozone and/or atomic oxygen by means of exposing the input fluid (135) in the first chamber (110) to the radiation; a clean- ing fluid transfer unit (150) configured to transfer the cleaning fluid from the first chamber (110) to the second chamber (120) for cleaning the carrier (105) or at least the surface of the carrier (105) provided in the second chamber (120) and configured to subject the carrier (105) or at least the surface of the carrier (105) to the cleaning fluid in the second chamber (120).
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
32.
CONTAINER FOR STORAGE AND/OR TRANSPORT OF A SUBSTRATE
The present invention relates to a container (100) configured and adapted for storage and/or transport of a substrate, provided with a cylinder-piston-mechanism (200) comprising a piston (210) reciprocatingly movable within a cylinder (220), the cylinder-piston-mechanism being configured and adapted to secure a substrate within the container (100) by engaging the substrate with an engagement member (210b) attached to the piston (210).
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
A method for determining state of wear of a container, whether wafer, reticle, or part of the container. The method comprising of receiving, by detection device or multiple detection devices of an inspection system, container surface detection data, separate and from each wafer or reticle carried by the container, from a surface and/or interior of the container or part of the container separate from each wafer or reticle carried by the container, wherein the received container surface detection data is indicative of at least microstructural wear of container or part of the container which received container surface detection data embodies the state of wear of container or part of container, separate from each respective wafer or reticle carried by the container and identifying, with a data processor, the state of wear based on the received container surface detection data separate from each respective wafer or reticle carried by the container.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
Stocker compartment for storage of EUV pod components, comprising a plurality of sub-compartments (120a to 120e), each of which sub-compartments being adapted to store one EUV pod component, the sub-compartments being arranged in a vertically stacked order, each sub-compartment of the plurality of sub-compartments defining a vertically extending front side and a vertically expending rear side, wherein a plurality of shutters (128a to 128e) is provided such that the front side of each of the plurality of sub-compartments (120a to 120e) is provided with an associated shutter out of the plurality of shutters (128a to 128e), each associated shutter being movable in a vertical direction in order to provide an open and a closed state of the sub-compartment (120a to 120e) to which it is associated, wherein each shutter of the plurality of shutters (128a to 128e) is movable independently of any other of the plurality of shutters.
G03F 1/66 - Réceptacles spécialement adaptés aux masques, aux masques vierges ou aux pelliculesLeur préparation
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p. ex. photolithographique, de surfaces texturées, p. ex. surfaces impriméesMatériaux à cet effet, p. ex. comportant des photoréservesAppareillages spécialement adaptés à cet effet
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
The invention relates to a method for cleaning a synthetic surface, in particular to remove metal dirt and/or particles therefrom, said method being characterized by the following steps: a) the synthetic surface is rinsed with deionized water; b) the synthetic surface is rinsed with electrolyzed water; and c) the synthetic surface is rinsed with deionized water.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
36.
Method and system for inspection of an inner pod or an outer pod of an EUV pod
Method for inspection of an inner pod EIP and/or an outer pod EOP of an EUV pod, respectively including a base member and a cover member. The method includes acquiring inspection data sets using a line scan camera and an area scan camera, inspecting the cover member in a first inspection unit using the line scan camera, inspecting the base member in a second inspection unit using the area scan camera, inspecting the cover member in the second inspection unit using the area scan camera, and inspecting the base member in the first inspection unit using the line scan camera.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
G01N 21/88 - Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
G03F 1/66 - Réceptacles spécialement adaptés aux masques, aux masques vierges ou aux pelliculesLeur préparation
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p. ex. photolithographique, de surfaces texturées, p. ex. surfaces impriméesMatériaux à cet effet, p. ex. comportant des photoréservesAppareillages spécialement adaptés à cet effet
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
37.
EUV reticle stocker and method of operating the same
A one-piece clamping device, a storage system and an operating method for an EUV reticle stocker are provided. The required space for storing EUV reticles is significantly reduced while ensuring a high quality storage environment for the stored EUV reticles. A further aspect provides a stocker for storing EUV reticles.
G03F 1/66 - Réceptacles spécialement adaptés aux masques, aux masques vierges ou aux pelliculesLeur préparation
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p. ex. photolithographique, de surfaces texturées, p. ex. surfaces impriméesMatériaux à cet effet, p. ex. comportant des photoréservesAppareillages spécialement adaptés à cet effet
38.
STOCKER POD, METHOD AND STOCKER FOR STORING A SEMICONDUCTOR FABRICATION ARTICLE
Stocker pod (100) for storing a semiconductor fabrication article, the stocker pod (100) comprising at least two components (110, 120) with at least one fixator (130), integrally formed with at least one of the at least two components (110) of the stocker pod (100), the fixator (130) being configured to immobilize the two or more components (110, 120) of the stocker pod (100) relative to one another.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
A buffer station for automatic material handling system can provide throughput improvement. Further, by storing to-be-accessed workpieces in the buffer stations of an equipment, the operation of the facility is not interrupted when the equipment is down. The buffer station can be incorporated in a stocker, such as bare wafer stocker.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
Stocker system for storage of a plurality of reticles, especially EUV reticles, comprising a plurality of storage pods (110) each adapted to hold one of said reticles in their interior, and to be stacked vertically one above the other to provide a stack (80), each of the storage pods (110) comprising a passageway (211) with an inlet (210), an outlet (220) and a first opening (230), wherein inlets and outlets of adjacent passageways (211) are arranged such that a duct (90) extending through the stack (80) is provided, through which a purge gas can be blown, and the purge gas blown through the duct (90) can enter the interior (110a) of each storage pod (110) through its respective first opening (230).
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
41.
CLEANING SYSTEMS AND METHODS FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE STORAGE ARTICLES
Provided are methods and systems for cleaning various semiconductor substrate storage articles, in particular, FOUP doors. The FOUP doors and other similar articles often have openings that may get contaminated with cleaning liquids if not covered. The described cleaning system includes contact points for engaging the article and covering these openings. The contact points may be also used for supporting the article and for pressurizing the openings in the article with a gas. The gas may be supplied through one or more contact points. It prevents liquids from getting into the openings if even the openings are not completely sealed. The pressurization may be maintained through the entire wet portion of the cleaning process. The article may be rotated within the cleaning system while cleaning and/or other liquids or gases are dispensed through a set of spraying nozzles. Spraying nozzles may move to enhance cleaning of the article.
B08B 3/02 - Nettoyage par la force de jets ou de pulvérisations
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B08B 3/08 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide le liquide ayant un effet chimique ou dissolvant
B08B 3/10 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p. ex. par la chaleur, par l'électricité ou par des vibrations
B08B 3/12 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p. ex. par la chaleur, par l'électricité ou par des vibrations par des vibrations soniques ou ultrasoniques
B08B 5/02 - Nettoyage par la force de jets, p. ex. le soufflage de cavités
B08B 9/08 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs
B08B 9/28 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs en utilisant des appareils dans ou sur lesquels les récipients, p. ex. des bouteilles, des bocaux, des bidons, sont amenés les appareillages nettoyant par des projections, par des pulvérisations ou par des jets, avec ou sans immersion
B08B 9/34 - Disposition des canalisations ou des buses
42.
Integrated handling system for semiconductor articles
Methods and apparatuses for integrated cleaning of objects comprising a sequence of wet cleaning and vacuum drying in a same process chamber. The present integrated cleaning process can eliminate moving parts, improving the system reliability. Vacuum decontamination can be included for degassing and decontaminating the cleaned objects. In an embodiment, a cleaner system combines various movements into an integrated movement to be handled by a robot, for example, to improve the throughput. For example, an integrated robot movement comprising picking up a closed container from the input load port, moving both the lid and body together, and then depositing the body and lid separately into the appropriate positions in the cleaner to be cleaned.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B08B 5/02 - Nettoyage par la force de jets, p. ex. le soufflage de cavités
B08B 9/093 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs par la force de jets ou de pulvérisations
B08B 3/02 - Nettoyage par la force de jets ou de pulvérisations
B08B 9/08 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs
In an embodiment, the present invention discloses cleaned storage processes and systems for high level cleanliness articles, such as extreme ultraviolet (EUV) reticle carriers. A decontamination chamber can be used to clean the stored workpieces. A purge gas system can be used to prevent contamination of the articles stored within the workpieces. A robot can be used to detect the condition of the storage compartment before delivering the workpiece. A monitor device can be used to monitor the conditions of the stocker.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
B25J 13/08 - Commandes pour manipulateurs au moyens de dispositifs sensibles, p. ex. à la vue ou au toucher
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
44.
Core module for semiconductor production facility machinery
The invention relates to an apparatus (200, 200A, 300, 400) for a semiconductor production facility handling an object, the apparatus comprising a core module (100) and at least one functionality module (M . . . ). A core module (100) as well as an operating method for such an apparatus are further aspects of the invention.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
45.
EUV RETICLE STOCKER AND METHOD OF OPERATING THE SAME
A clamping device, a storage system and an operating method for an EUV reticle stocker are provided. The required space for storing EUV reticles is significantly reduced while ensuring a high quality storage environment for the stored EUV reticles. A stocker for storing EUV reticles is also provided.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A substrate processing apparatus including a frame, a first SCARA arm connected to the frame, including an end effector, configured to extend and retract along a first radial axis; a second SCARA arm connected to the frame, including an end effector, configured to extend and retract along a second radial axis, the SCARA arms having a common shoulder axis of rotation; and a drive section coupled to the SCARA arms is configured to independently extend each SCARA arm along a respective radial axis and rotate each SCARA arm about the common shoulder axis of rotation where the first radial axis is angled relative to the second radial axis and the end effector of a respective arm is aligned with a respective radial axis, wherein each end effector is configured to hold at least one substrate and the end effectors are located on a common transfer plane.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
A one-piece clamping device (200, 500), a storage system (300, 600) and an operating method (400, 410) for an EUV reticle stocker are provided. The required space for storing EUV reticles is significantly reduced while ensuring a high quality storage environment for the stored EUV reticles. A further aspect of the invention provides a stocker (700) for storing EUV reticles.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
48.
METHOD AND SYSTEM FOR INSPECTION OF AN INNER POD OR AN OUTER POD OF AN EUV POD
Method for inspection of an inner pod EIP and/or an outer pod EOP of an EUV pod, respectively including a base member and a cover member, the method comprising acquiring inspection data sets using a line scan camera and an area scan camera, characterized by the following steps: 1. Inspecting the cover member in a first inspection unit using the at least one line scan camera, 2. Inspecting the base member in a second inspection unit using the at least one area scan camera, 3. Inspecting the cover member in the second inspection unit using the at least one area scan camera, and 4. Inspecting the base member in the first inspection unit using the at least one line scan camera.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
49.
AUTOMATIC TEACH APPARATUS FOR ROBOTIC SYSTEMS AND METHOD THEREFOR
An automatic teaching system for a substrate processing apparatus, the automatic teaching system comprising a frame having a workpiece load station with a predetermined load station reference location, a robot transport mounted to the frame and having a movable transport arm with an end effector having a predetermined end effector reference location, and a drive section driving the movable transport arm in at least one degree of freedom motion relative to the frame, a machine vision system including both at least one fixed imaging sensor and at least one movable imaging sensor removably connected to the frame and configured to image at least one target of the machine vision system, a load jig disposed for removable engagement with the workpiece load station, with both the at least one fixed imaging sensor and the at least one movable imaging sensor mounted to the load jig, the fixed imaging sensor.
G01B 11/02 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p. ex. photolithographique, de surfaces texturées, p. ex. surfaces impriméesMatériaux à cet effet, p. ex. comportant des photoréservesAppareillages spécialement adaptés à cet effet
G05B 19/18 - Commande numérique [CN], c.-à-d. machines fonctionnant automatiquement, en particulier machines-outils, p. ex. dans un milieu de fabrication industriel, afin d'effectuer un positionnement, un mouvement ou des actions coordonnées au moyen de données d'un programme sous forme numérique
G06T 7/70 - Détermination de la position ou de l'orientation des objets ou des caméras
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
A semiconductor wafer mapping apparatus comprising a frame forming a wafer load opening communicating with a load station for a substrate carrier disposed to hold more than one wafers vertically distributed in the substrate carrier for loading through the wafer load opening, a movable arm movably mounted to the frame so as to move relative to the wafer load opening and having at least one end effector movably mounted to the movable arm to load wafers from the substrate carrier through the wafer load opening, an image acquisition system including an array of cameras arranged on a common support and each camera fixed with respect to the common support that is static with respect to each camera of the array of cameras, wherein each respective camera is positioned with a field of view disposed to view through the wafer load opening with the common support positioned by the movable arm.
The present invention relates to apparatuses and methods to store and transfer objects, and more particularly to workpiece stocker configurations such as stacker for semiconductor wafers, reticles or carrier boxes.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A linear electrical machine comprising a frame with a level reference plane and an array of electromagnets, connected to the frame to form a drive plane at a predetermined height relative to the reference plane. The array of electromagnets being arranged so that a series of electromagnets of the array of electromagnets define at least one drive line within the drive plane, and each of the electromagnets being coupled to an alternating current power source energizing each electromagnet. At least one reaction platen of paramagnetic, diamagnetic, or non-magnetic conductive material disposed to cooperate with the electromagnets of the array of electromagnets so that excitation of the electromagnets with alternating current generates levitation and propulsion forces against the reaction platen that controllably levitate and propel the reaction platen along at least one drive line, in a controlled attitude relative to the drive plane.
B60L 13/00 - Propulsion électrique pour véhicules à monorail, véhicules suspendus ou chemins de fer à crémaillèreSuspension ou lévitation magnétiques pour véhicules
B60L 13/04 - Suspension ou lévitation magnétiques pour véhicules
B60L 13/10 - Combinaison de propulsion électrique et de suspension magnétique ou de lévitation
H02K 41/00 - Systèmes de propulsion dans lesquels un élément rigide se déplace le long d'une piste sous l'effet de l'action dynamo-électrique s'exerçant entre cet élément et un flux magnétique se propageant le long de la piste
A substrate transport apparatus comprising a support frame an articulated arm connected to the support frame, having at least one movable arm link and an end effector connected to the movable arm link, with a substrate holding station located thereon. Wherein the movable arm link is a reconfigurable arm link having a modular composite arm link casing, formed of link case modules rigidly coupled to each other, and a pulley system cased in and extending through the rigidly coupled link case modules substantially end to end of the modular composite arm link casing, wherein the rigidly coupled link case modules include link case end modules connected by at least one interchangeable link case extension module having a predetermined characteristic determining a length of the movable arm link, wherein at least one interchangeable link case extension module is selectable for connection to link case end modules forming the reconfigurable arm link.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 9/12 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs électriques
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A substrate transport apparatus comprising a frame, a drive section connected to the frame, and an articulated arm having at least one articulated arm link operably connected to the drive section so that the articulated arm rotates about a pivot axis relative to the frame and extends and retracts relative to the pivot axis. The articulated arm has an end effector pivotally mounted to at least one articulated arm link forming a joint between the end effector and the articulated arm link, with an arm joint pivot axis disposed so that the end effector rotates relative to at least one articulated arm link about the arm joint pivot axis, The articulated arm has a drive band transmission with drive and driven pulleys where the driven pulley is connected to the articulated wrist.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
A substrate transport apparatus comprising a frame, a drive section connected to the frame, and an articulated arm having at least one articulated arm link operably connected to the drive section so that the articulated arm rotates about a pivot axis relative to the frame and extends and retracts relative to the pivot axis. The articulated arm has an end effector pivotally mounted to at least one articulated arm link forming a joint between the end effector and the articulated arm link, with an arm joint pivot axis disposed so that the end effector rotates relative to at least one articulated arm link about the arm joint pivot axis. The articulated arm has a drive band transmission with drive and driven pulleys where the driven pulley is connected to the articulated wrist.
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B65G 47/90 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A gripper provides for gripping labware having a variety of diameters and shapes. The gripper includes a support structure having a center axis, a motor, and a gripper stage. The gripper stage includes a plurality of blades, each of the blades having a) a first end through which a blade rotation axis extends, the blade rotation axis being fixed relative to the support structure and offset from the center axis, b) a second end that is circumferentially and radially moveable to rotate the blade about the blade rotation axis, and c) a center portion. The gripper stage also includes a ring structure coupled to the motor to rotate the ring structure around the center axis. The ring structure, as it rotates, moves the second end of each blade to rotate the blade about the blade rotation axis of the blade to shift the center portion towards the center axis to contact an outer portion of a vessel extending along the center axis.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
B25J 15/10 - Têtes de préhension avec des éléments en forme de doigts avec au moins trois éléments en forme de doigts
The invention relates to an apparatus (200, 200A, 300, 400) for a semiconductor production facility handling an object, the apparatus comprising a core module (100) and at least one functionality module (M...). A core module (100) as well as an operating method for such an apparatus are further aspects of the invention.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A substrate transport apparatus having a drive section and at least one articulated multi-link arm having an upper arm joined at one end to the drive section and a forearm joined to the upper arm. The upper arm being a substantially rigid unarticulated link. Dual end effector links that are separate and distinct from each other are each rotatably and separately joined to a common end of the forearm about a common axis of rotation. Each end effector link has at least one holding station. The holding station of at least one end effector link includes one holding station at opposite ends of the at least one end effector link that is substantially rigid and unarticulated between the opposite ends, and the holding station at one of the opposite ends is substantially coplanar with the holding station of each other end effector link.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/06 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des bras à articulations multiples
B65G 47/90 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
59.
EUV RETICLE STOCKER AND METHOD OF OPERATING THE SAME
A clamping device (200, 500), a storage system (300, 600) and an operating method (400, 410) for an EUV reticle stocker are provided. The required space for storing EUV reticles is significantly reduced while ensuring a high quality storage environment for the stored EUV reticles. A Further aspect of the invention provides a stocker (700) for storing EUV reticles.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
G03F 1/66 - Réceptacles spécialement adaptés aux masques, aux masques vierges ou aux pelliculesLeur préparation
A buffer station for automatic material handling system can provide throughput improvement. Further, by storing to-be-accessed workpieces in the buffer stations of an equipment, the operation of the facility is not interrupted when the equipment is down. The buffer station can be incorporated in a stocker, such as bare wafer stocker.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
The invention relates to an inspection system adapted for determining a state and/or content of a wafer or reticle container or at least a part of a wafer or reticle container, comprising a detection device or a multitude of detection devices (102, 104, 152, 154, 156, 158, 160, 164) adapted to receive detection data from a surface and/or interior of the wafer or reticle container or the part of a wafer or reticle container indicative of the state and/or content of the wafer or reticle container or the part of a wafer or reticle container.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H04N 23/56 - Caméras ou modules de caméras comprenant des capteurs d'images électroniquesLeur commande munis de moyens d'éclairage
H04N 23/90 - Agencement de caméras ou de modules de caméras, p. ex. de plusieurs caméras dans des studios de télévision ou des stades de sport
A substrate transport apparatus includes a transport chamber, a drive section, a robot arm, an imaging system with a camera mounted through a mounting interface of the drive section in a predetermined location with respect to the transport chamber and disposed to image part of the arm, and a controller connected to the imaging system and configured to image, with the camera, the arm moving to or in the predetermined location, the controller effecting capture of a first image of the arm on registry of the arm proximate to or in the predetermined location, the controller is configured to calculate a positional variance of the arm from comparison of the first image with a calibration image of the arm, and determine a motion compensation factor changing an extended position of the arm. Each camera effecting capture of the first image is disposed inside the perimeter of the mounting interface.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
A substrate transport apparatus includes a transport chamber, a drive section, a robot arm, an imaging system with a camera mounted through a mounting interface of the drive section in a predetermined location with respect to the transport chamber and disposed to image part of the arm, and a controller connected to the imaging system and configured to image, with the camera, the arm moving to or in the predetermined location, the controller effecting capture of a first image of the arm on registry of the arm proximate to or in the predetermined location, the controller is configured to calculate a positional variance of the arm from comparison of the first image with a calibration image of the arm, and determine a motion compensation factor changing an extended position of the arm. Each camera effecting capture of the first image is disposed inside the perimeter of the mounting interface.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
A process apparatus including a front end with a load opening for loading production workpieces into the apparatus; a process section being offset at a distance from and coupled to the front end via an interior transport path configured for transport of the workpieces between the front end and process section; a load lock between the front end and process section with the transport path extending through the load lock, the load lock having an intermediate entry with an opening shunting the transport path to the exterior separate from the front end; and a predetermined interchangeable transport carrier cassette configured to be entered within the load lock from the exterior through the intermediate entry opening, the entry and removal of the cassette through the opening loads and unloads the load lock with a transport path interface that interfaces, the transport path coincident with the cassette loaded in the load lock.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A reticle compartment defining an enclosed interior adapted to store at least two reticles in a resticle storage portion, including an inlet port, through which a purge gas can enter the enclosed enterior, and an outlet port, through which the purge gas can exit the enclosed interior, wherein the reticle compartment further includes a first diffusor plate arranged in the enclosed interior between the inlet port and the reticle storage portion, wherein the first diffusor plate is provided with openings, through which the purge gas can flow, the openings in a central section of the first diffusor plate being provided with a larger individual opening area and/or providing a large total opening area per unit area than openings in a peripheral section of the first diffusor plate.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
66.
Automated system for storing, retrieving and managing samples
An automated storage system for storing large quantities of samples in trays includes a storage compartment, a tray shuttle compartment abutting the storage compartment on one side and a plurality of independent modules on the other side. The modules perform processing of samples that are retrieved from the storage compartment by a tray shuttle, including extraction of selected samples from retrieved source trays and transfer of the selected samples into a separate, destination tray that can be further processed or removed from the system for use. The independent operation of the modules permits handling and processing to be performed simultaneously by different modules while the tray shuttle accesses additional samples within the storage compartment. In one embodiment, a vertical carousel is used to vertically align a desired tray with the tray shuttle, while the tray shuttle operates within a horizontal plane.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
67.
Method for inspecting a container and inspection system
The present disclosure relates to a method for inspecting a container body adapted and configured to hold substrates, comprising the steps of directing light from a light source onto a reflector element positioned within an interior space of the container body, such that the light is reflected to illuminate at least one interior surface of the container body, wherein the light is reflected by the reflector element in a diffuse manner and generating at least one image of the at least one interior surface by means of at least one camera, and evaluating the state of the container body on the basis of the at least one image.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
A substrate loading device including a frame adapted to connect to a substrate processing apparatus, the frame having a transport opening through which substrates are transported to the processing apparatus, a cassette support connected to the frame for holding at least one substrate cassette container proximate the transport opening, the support configured so that a sealed internal atmosphere of the container is accessed from the support at predetermined access locations of the container, and the cassette support has a predetermined continuous steady state differential pressure plenum region, determined at least in part by boundaries of fluid flow generating differential pressure, so that the predetermined continuous steady state differential pressure plenum region defines a continuously steady state fluidic flow isolation barrier disposed on the support between the predetermined access locations of the container and another predetermined section of the support isolating the other predetermined section from the predetermined access locations.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
Substrate loading device including a frame adapted to connect the substrate loading device to a substrate processing apparatus, the frame having a transport opening through which substrates are transported between the loading device and processing apparatus, a cassette support for holding at least one substrate cassette container, and cassette support purge ports with purge port nozzle locations disposed on the cassette support, each nozzle location being configured so that a nozzle at the nozzle location couples to at least one purge port of the substrate cassette container, wherein each nozzle location defines an interchangeable purge port nozzle interface so that different interchangeable purge port nozzles are removably mounted to respective nozzle interfaces of the nozzle locations that correspond to the different nozzle configurations of the interchangeable purge port nozzle modules, in conformance with and effecting coupling to different ports of different substrate cassette containers having different purge port characteristics.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
The present disclosure relates to a method for controlling a PLC using a PC program, wherein a source code of a PLC program includes a data section, the data section including data indicating services to be exposed by the PLC when running the PLC program, wherein a source code of the PC program is automatically generated using the data included in the data section and a PC program template, wherein the PLC is controlled using the PC program generated from the automatically generated source code of the PC program.
G05B 19/05 - Automates à logique programmables, p. ex. simulant les interconnexions logiques de signaux d'après des diagrammes en échelle ou des organigrammes
G06F 9/44 - Dispositions pour exécuter des programmes spécifiques
G05B 19/042 - Commande à programme autre que la commande numérique, c.-à-d. dans des automatismes à séquence ou dans des automates à logique utilisant des processeurs numériques
The present disclosure relates to an inspection system configured and adapted for inspecting a substrate container or a component of a substrate container, the container or the component including a plurality of surfaces, the system including at least one mirror arranged and configured to provide a simultaneous view of at least a first one and a second one of the plurality of surfaces.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
72.
TRANSPORT APPARATUS WITH LINEAR BEARING AND METHOD THEREFOR
A vacuum substrate transport apparatus including a frame, a drive section having a drive axis, at least one arm, having an end effector for holding a substrate, having at least one degree of freedom axis effecting extension and retraction, and a bearing defining a guideway that defines the axis, the bearing including at least one rolling load bearing element disposed in a bearing case, interfacing between a bearing raceway and bearing rail to support arm loads, and effecting sliding of the case along the rail, and at least one rolling, substantially non-load bearing, spacer element disposed in the case, intervening between each of the load bearing elements, wherein the spacer element is a sacrificial buffer material compatible with sustained substantially unrestricted service commensurate with a predetermined service duty of the apparatus in a vacuum environment at temperatures over 260°C for a specified predetermined service period.
B65G 47/90 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux
F16C 29/06 - Roulements à billes ou à rouleaux dans lesquels les billes ou rouleaux ne supportent la charge que sur une partie du chemin de roulement
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
73.
Container storage add-on for bare workpiece stocker
The present invention relates to apparatuses and methods to store and transfer objects, and more particularly to workpiece stocker configurations such as stacker for semiconductor wafers, reticles or carrier boxes.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A substrate processing apparatus including a frame, a SCARA arm mounted to the frame at a shoulder joint having two links with at least one end effector dependent therefrom, the links defining an upper arm and a forearm, each end effector pivotally joined to the forearm at a wrist to rotate about a wrist axis, and a drive section with at least one degree of freedom operably coupled to the arm to rotate the arm about a shoulder axis articulating extension and retraction, wherein the end effector is coupled to a wrist joint pulley so that extension and retraction effects rotation of the pulley and end effector as a unit about the wrist axis, and wherein a height of the end effector is within a stack height profile of the wrist joint so that a total stack height is sized to conform with and pass through a pass-through of a slot valve.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 9/06 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des bras à articulations multiples
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
75.
Automated sample storage system having storage consumable with sub-optimal storage density
An automated sample specimen storage system including a tube holding microplate including a plate frame, a predetermined array of tube holding receptacles formed in the plate frame, the receptacles having a SBS standard pitch corresponding to the predetermined array, and being configured for holding therein sample store and transport tubes, each disposed so as to contain sample specimen in a sample storage of the storage system and to effect, with the sample tube, delivery from the sample storage to a workstation, the predetermined array of receptacles defining a volume capacity of the tube holding microplate, and each of the receptacles being shaped to conformally engage walls of the sample tubes and hold a respective one of the sample store and transport tubes, wherein the receptacles are arranged so that the tube holding microplate volume capacity defined by the predetermined array is an under optimum volume capacity.
G01N 35/02 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet en utilisant une série de récipients à échantillons déplacés par un transporteur passant devant un ou plusieurs postes de traitement ou d'analyse
Automatic generation of documentation and software for an equipment or tool, together with an automatic synchronization between the corresponding documentation and software can be preformed with a tool model representation. The tool model can include a textual, graphical, symbolic, and program representation of the tool. Default components, derived components, and standard components can be added to the tool model.
G06F 40/117 - ÉtiquetageAnnotation Désignation de blocChoix des attributs
G06F 40/131 - Fragmentation de fichiers textes, p. ex. création de blocs de texte réutilisablesLiaison aux fragments, p. ex. par utilisation de XIncludeEspaces de nommage
G06F 40/154 - Transformation en arborescence pour documents en configuration arborescente ou balisés, p. ex. langages XSLT, XSL-FO ou feuilles de style
In an embodiment, the present invention discloses cleaned storage processes and systems for high level cleanliness articles, such as extreme ultraviolet (EUV) reticle carriers. A decontamination chamber can be used to clean the stored workpieces. A purge gas system can be used to prevent contamination of the articles stored within the workpieces. A robot can be used to detect the condition of the storage compartment before delivering the workpiece. A monitor device can be used to monitor the conditions of the stocker.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
B65B 5/08 - Emballage de groupes d'objets, chaque groupe étant saisi ou guidé individuellement pour être transféré dans le réceptacle ou récipient
B65B 31/04 - Mise sous vide, sous pression ou sous gaz spécial, des réceptacles ou emballages pleins, au moyen d'ajutages par lesquels on envoie ou on retire de l'air ou d'autres gaz, p. ex. un gaz inerte
B65B 35/16 - Alimentation en articles séparés, p. ex. transport de ces articles par griffes
B65B 63/08 - Dispositifs accessoires, non prévus ailleurs, opérant sur des objets ou matériaux à emballer pour échauffer ou refroidir les objets ou matériaux en vue d'en faciliter l'empaquetage
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
The invention relates to a method for cleaning a synthetic surface, in particular to remove metal dirt and/or particles therefrom, said method being characterized by the following steps: a) the synthetic surface is rinsed with deionized water; b) the synthetic surface is rinsed with electrolyzed water; and c) the synthetic surface is rinsed with deionized water.
C11D 11/00 - Méthodes particulières pour la préparation de compositions contenant des mélanges de détergents
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
A substrate transport apparatus auto-teach system for auto-teaching a substrate station location, the system including a frame, a substrate transport connected to the frame, the substrate transport having an end effector configured to support a substrate, and a controller configured to move the substrate transport so that the substrate transport biases the substrate supported on the end effector against a substrate station feature causing a change in eccentricity between the substrate and the end effector, determine the change in eccentricity, and determine the substrate station location based on at least the change in eccentricity between the substrate and the end effector.
H01L 21/06 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant du sélénium ou du tellure, sous forme non combinée, et ne constituant pas des impuretés pour les corps semi-conducteurs d'autres matériaux
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A substrate processing apparatus includes a frame and a transport apparatus connected to the frame. The transport apparatus has an upper arm link, a forearm link rotatably coupled to the upper arm link about an elbow axis, at least a third arm link rotatably coupled to the forearm about a wrist axis, and an end effector rotatably coupled to the third arm link about a knuckle axis. A two degree of freedom drive system is operably connected to at least one of the upper arm link, the forearm link, and the third arm link for effecting extension and retraction of the end effector wherein a height of the end effector is within the stack height profile of the wrist axis so that a total stack height of the end effector and wrist axis is sized to conform within a pass through of a slot valve.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
A Gifford-McMahon cryogenic refrigerator comprises a reciprocating displacer within a refrigeration volume. The displacer is pneumatically driven by a drive piston within a pneumatic drive volume. Pressure in the pneumatic drive volume is controlled by valving that causes the drive piston to follow a programmed displacement profile through stroke of the drive piston. The drive valving may include a proportional valve that provides continuously variable supply and exhaust of drive fluid. In a proportionally controlled feedback system, the valve into the drive volume is controlled to minimize error between a displacement signal and a programmed displacement profile. Valving to the warm end of the refrigeration volume may also be proportional. A passive force generator such as a mechanical spring or magnets may apply force to the piston in opposition to the driving force applied by the drive fluid.
F25B 9/14 - Machines, installations ou systèmes à compression dans lesquels le fluide frigorigène est l'air ou un autre gaz à point d'ébullition peu élevé caractérisés par le cycle utilisé, p. ex. cycle de Stirling
A cryogenic storage system (100) includes a transfer module (101) configured to service one or more cryogenic storage freezers (105a). The transfer module (101) includes a working chamber (120) that maintains a cryogenic environment for the transfer of sample tubes between different sample boxes. One or more freezer ports (108a) enable the transfer module (101) to receive a sample box extracted from a respective freezer (105a). An input/output (I/O) port (125) enables external access to samples. A box transport robot (130) operates to transport sample boxes between the freezer ports (108a), the working chamber (120), and the I/O port (125). A picker robot (140) operates to transfer sample tubes between sample boxes within the working chamber (120).
A substrate transport apparatus including, a torsional motion driver member having an exterior perimeter circumscribing an axis of rotation of the torsional motion driver member, and a torsional motion follower member including a body portion and a bearing collar rotatably coupled to the body portion, the torsional motion follower member being coupled to the torsional motion driver member with a dimensionally substantially invariant interface, wherein the bearing collar is decoupled from the exterior perimeter of the torsional motion driver member so that the exterior perimeter, as a whole, is free of the bearing collar.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
F16D 1/06 - Accouplements pour établir une liaison rigide entre deux arbres coaxiaux ou d'autres éléments mobiles d'une machine pour montage d'un organe sur un arbre ou à l'extrémité d'un arbre
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p. ex. pour contrôler, pour observerDispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
A substrate transport apparatus including a transport chamber, a drive section, a robot arm having an end effector at a distal end configured to support a substrate and being connected to the drive section generating at least arm motion in a radial direction extending and retracting the arm, an imaging system with a camera mounted in a predetermined location to image at least part of the robot arm, and a controller connected to the imaging system to image the arm moving to a predetermined repeatable position, the controller effecting capture of a first image of the robot arm proximate to the repeatable position decoupled from encoder data of the drive axis, wherein the controller calculates a positional variance of the robot arm from comparison of the first image with a calibration image, and from the positional variance determines a motion compensation factor changing the extended position of the robot arm.
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p. ex. pour contrôler, pour observerDispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
G05B 1/04 - Éléments de comparaison, c.-à-d. éléments pour effectuer la comparaison directement ou indirectement entre une valeur désirée et des valeurs existantes ou prévues électriques avec détermination de la position de l'aiguille d'un instrument de mesure
G05B 6/02 - Dispositions de rétroaction interne pour obtenir des caractéristiques particulières, p. ex. proportionnelles, intégrales ou différentielles électriques
A reticle compartment defining an enclosed interior adapted to store at least two reticles in a reticle storage portion, including an inlet port, through which a purge gas can enter the enclosed interior, and an outlet port, through which the purge gas can exit the enclosed interior, wherein the reticle compartment further includes a first diffusor plate arranged in the enclosed interior between the inlet port and the reticle storage portion, wherein the first diffusor plate is provided with openings, through which the purge gas can flow, the openings in a central section of the first diffusor plate being provided with a larger individual opening area and/or providing a larger total opening area per unit area than openings in a peripheral section of the first diffusor plate.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
86.
CRYOPUMP WITH PERIPHERAL FIRST AND SECOND STAGE ARRAYS
In a cryopump, a primary cryopumping array having adsorbent and cooled by a second refrigerator stage extends along radiation shield sides. That array is shielded by a condensing cryopumping array that extends along the primary cryopumping array. The primary cryopumping array may be a cylinder with adsorbent on an inwardly facing surface, and the condensing cryopumping array may comprise an array of baffles having surfaces facing the frontal opening. A raised surface such as a conical surface at the base of the radiation shield redirects molecules received from the frontal opening toward the primary cryopumping array. The refrigerator cold finger may extend tangentially relative to the radiation shield or connect to the base of the radiation shield.
F25B 9/10 - Machines, installations ou systèmes à compression dans lesquels le fluide frigorigène est l'air ou un autre gaz à point d'ébullition peu élevé avec plusieurs étages de refroidissement
F04B 37/02 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation, par absorption ou adsorption
F04B 37/08 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation par moyens thermiques par condensation ou réfrigération, p. ex. pompes cryogéniques
F25D 19/00 - Disposition ou montage des groupes frigorifiques dans les dispositifs
87.
Method and apparatus for health assessment of a transport apparatus
pkBase) for each of the dynamic performance variable output by the transport apparatus respectively corresponding to the predetermined motion base set and the other predetermined motion set.
An EUV cleaner system and process for cleaning a EUV carrier. The euv cleaner system comprises separate dirty and cleaned environments, separate cleaning chambers for different components of the double container carrier, gripper arms for picking and placing different components using a same robot handler, gripper arms for holding different components at different locations, horizontal spin cleaning and drying for outer container, hot water and hot air (70C) cleaning process, vertical nozzles and rasterizing megasonic nozzles for cleaning inner container with hot air nozzles for drying, separate vacuum decontamination chambers for outgassing different components, for example, one for inner and one for outer container with high vacuum (e.g., <10−6 Torr) with purge gas, heaters and RGA sensors inside the vacuum chamber, purge gas assembling station, and purge gas loading and unloading station.
B08B 9/42 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs en utilisant des appareils dans ou sur lesquels les récipients, p. ex. des bouteilles, des bocaux, des bidons, sont amenés les appareillages étant caractérisés par des moyens de transport des récipients qui les traversent
B08B 7/04 - Nettoyage par des procédés non prévus dans une seule autre sous-classe ou un seul groupe de la présente sous-classe par une combinaison d'opérations
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
B08B 3/08 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide le liquide ayant un effet chimique ou dissolvant
B08B 3/12 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p. ex. par la chaleur, par l'électricité ou par des vibrations par des vibrations soniques ou ultrasoniques
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
In an embodiment, the present invention discloses cleaned storage processes and systems for high level cleanliness articles, such as extreme ultraviolet (EUV) reticle carriers. A decontamination chamber can be used to clean the stored workpieces. A purge gas system can be used to prevent contamination of the articles stored within the workpieces. A robot can be used to detect the condition of the storage compartment before delivering the workpiece. A monitor device can be used to monitor the conditions of the stocker.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65B 5/08 - Emballage de groupes d'objets, chaque groupe étant saisi ou guidé individuellement pour être transféré dans le réceptacle ou récipient
B65B 31/04 - Mise sous vide, sous pression ou sous gaz spécial, des réceptacles ou emballages pleins, au moyen d'ajutages par lesquels on envoie ou on retire de l'air ou d'autres gaz, p. ex. un gaz inerte
B65B 35/16 - Alimentation en articles séparés, p. ex. transport de ces articles par griffes
B65B 63/08 - Dispositifs accessoires, non prévus ailleurs, opérant sur des objets ou matériaux à emballer pour échauffer ou refroidir les objets ou matériaux en vue d'en faciliter l'empaquetage
Semiconductor device manufacturing machines; semiconductor wafer processing equipment; semiconductor substrate manufacturing machines; semiconductor wafer processing machines; semiconductor wafer processing equipment, namely, enclosures for containing industrial robots used in transporting semiconductor wafers and devices; semiconductor wafer processing equipment, namely, pressure vessels for containing industrial robots used in transporting semiconductor wafers and devices; semiconductor wafer processing equipment, namely, industrial robots and enclosures used in transporting semiconductor wafers and devices; machines for manufacturing semiconductor devices; machines for transporting semiconductor wafers for use in manufacturing automation; cluster-tool integration platforms used in the manufacture of integrated circuits and semiconductor devices
91.
SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS WITH INDEPENDENT ACCESSORY FEEDTHROUGH
A substrate transport apparatus including a frame, a substrate transport arm connected to the frame, the substrate transport arm having an end effector and a drive section having at least one motor coupled to the substrate transport arm, wherein the at least one motor defines a kinematic portion of the drive section configured to effect kinematic motion of the substrate transport arm, and the drive section includes an accessory portion adjacent the kinematic portion, wherein the accessory portion has another motor, different and distinct from the at least one motor, the another motor of the accessory portion is operably coupled to and configured to drive one or more accessory devices independent of the kinematic motion of the substrate transport arm.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/08 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des éléments de construction modulaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
G05B 19/04 - Commande à programme autre que la commande numérique, c.-à-d. dans des automatismes à séquence ou dans des automates à logique
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
A substrate transport apparatus auto-teach system for auto-teaching a substrate station location, the system including a frame, a substrate transport connected to the frame, the substrate transport having an end effector configured to support a substrate, and a controller configured to move the substrate transport so that the substrate transport biases the substrate supported on the end effector against a substrate station feature causing a change in eccentricity between the substrate and the end effector, determine the change in eccentricity, and determine the substrate station location based on at least the change in eccentricity between the substrate and the end effector.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A semiconductor process transport apparatus including a drive section with at least one motor, an articulated arm coupled to the drive section for driving articulation motion, a machine controller coupled to the drive section to control the at least one motor moving the articulated arm from one location to a different location, and an adapter pendant having a machine controller interface coupling the adapter pendant for input/output with the machine controller, the adapter pendant having another interface, configured for connecting a fungible smart mobile device having predetermined resident user operable device functionality characteristics, wherein the other interface has a connectivity configuration so mating of the fungible smart mobile device with the other interface automatically enables configuration of at least one of the resident user operable device functionality characteristics to define an input/output to the machine controller effecting input commands and output signals for motion control of the articulated arm.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
An improved stocker configuration for storing workpieces in a fabrication facility is disclosed, employing workpiece compartments arranged stationarily around a robot handling assembly. The robot handler can be designed with three degrees of freedom, to improve speed, throughput and minimum particle generation. In addition, the stocker storage area is stationary with the movable components are the robot assembly, thus further contributing to the cleanliness of the storage stocker. The stocker configuration can be open storage area for fast access, space saving and ease of clean air purging. The stocker configuration can provide highly dense workpiece storage, utilizing a circumferential edge gripper robot handling assembly.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
95.
Cleaning systems and methods for semiconductor substrate storage articles
Provided are methods and systems for cleaning various semiconductor substrate storage articles, in particular, FOUP doors. The FOUP doors and other similar articles often have openings that may get contaminated with cleaning liquids if not covered. The described cleaning system includes contact points for engaging the article and covering these openings. The contact points may be also used for supporting the article and for pressurizing the openings in the article with a gas. The gas may be supplied through one or more contact points. It prevents liquids from getting into the openings if even the openings are not completely sealed. The pressurization may be maintained through the entire wet portion of the cleaning process. The article may be rotated within the cleaning system while cleaning and/or other liquids or gases are dispensed through a set of spraying nozzles. Spraying nozzles may move to enhance cleaning of the article.
B08B 3/02 - Nettoyage par la force de jets ou de pulvérisations
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B08B 3/08 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide le liquide ayant un effet chimique ou dissolvant
B08B 3/10 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p. ex. par la chaleur, par l'électricité ou par des vibrations
B08B 3/12 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p. ex. par la chaleur, par l'électricité ou par des vibrations par des vibrations soniques ou ultrasoniques
B08B 5/02 - Nettoyage par la force de jets, p. ex. le soufflage de cavités
B08B 9/08 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs
B08B 9/28 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs en utilisant des appareils dans ou sur lesquels les récipients, p. ex. des bouteilles, des bocaux, des bidons, sont amenés les appareillages nettoyant par des projections, par des pulvérisations ou par des jets, avec ou sans immersion
B08B 9/34 - Disposition des canalisations ou des buses
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
96.
INSPECTION SYSTEM AND METHOD OF INSPECTION FOR SUBSTRATE CONTAINERS
The present invention relates to an inspection system configured and adapted for inspecting a substrate container or a component of a substrate container, the container or the component comprising a plurality of surfaces, the system comprising at least one mirror (110) arranged and configured to provide a simultaneous view of at least a first one and a second one of the plurality of surfaces.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
The present invention relates to a method for controlling a PLC using a PC program (220), wherein a source code of a PLC program includes a data section (100), the data section (100) including data indicating services to be exposed by the PLC when running the PLC program, wherein a source code (210) of the PC program is automatically generated using the data included in the data section (100) and a PC program template (200), wherein the PLC is controlled using the PC program (220) generated from the automatically generated source code (210) of the PC program.
G05B 19/042 - Commande à programme autre que la commande numérique, c.-à-d. dans des automatismes à séquence ou dans des automates à logique utilisant des processeurs numériques
G06F 9/44 - Dispositions pour exécuter des programmes spécifiques
G06F 8/38 - Création ou génération de code source pour la mise en œuvre d'interfaces utilisateur
G05B 19/05 - Automates à logique programmables, p. ex. simulant les interconnexions logiques de signaux d'après des diagrammes en échelle ou des organigrammes
98.
METHOD FOR INSPECTING A CONTAINER AND INSPECTION SYSTEM
The present invention relates to a method for inspecting a container body adapted and configured to hold substrates, comprising the steps of directing light from a light source (100) onto a reflector element (120) positioned within an interior space (30) of the container body (20), such that the light is reflected to illuminate at least one interior surface (21a, 22a) of the container body (20), wherein the light is reflected by the reflector element (120) in a diffuse manner and generating at least one image of the at least one interior surface by means of at least one camera (140), and evaluating the state of the container body (20) on the basis of the at least one image.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
In an embodiment, the present invention discloses a EUV cleaner system and process for cleaning a EUV carrier. The euv cleaner system comprises separate dirty and cleaned environments, separate cleaning chambers for different components of the double container carrier, gripper arms for picking and placing different components using a same robot handler, gripper arms for holding different components at different locations, horizontal spin cleaning and drying for outer container, hot water and hot air (70 C) cleaning process, vertical nozzles and rasterizing megasonic nozzles for cleaning inner container with hot air nozzles for drying, separate vacuum decontamination chambers for outgassing different components, for example, one for inner and one for outer container with high vacuum (e.g., <10−6 Torr) with purge gas, heaters and RGA sensors inside the vacuum chamber, purge gas assembling station, and purge gas loading and unloading station.
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B08B 3/12 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p. ex. par la chaleur, par l'électricité ou par des vibrations par des vibrations soniques ou ultrasoniques
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
B08B 3/08 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide le liquide ayant un effet chimique ou dissolvant
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
B08B 3/08 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide le liquide ayant un effet chimique ou dissolvant
B08B 3/12 - Nettoyage impliquant le contact avec un liquide avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p. ex. par la chaleur, par l'électricité ou par des vibrations par des vibrations soniques ou ultrasoniques
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
