Apparatuses and methods therefor generally relate to sensing. In one example of such an apparatus, there is a platform. An optical fiber with Fiber Bragg Grating sensors is located in a trench formed in the platform. The trench has curved sections. The Fiber Bragg Grating sensors are respectively in the curved sections of the trench.
G01L 1/24 - Mesure des forces ou des contraintes, en général en mesurant les variations des propriétés optiques du matériau quand il est soumis à une contrainte, p. ex. par l'analyse des contraintes par photo-élasticité
G01K 11/3206 - Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes , , ou utilisant des changements dans la transmittance, la diffusion ou la luminescence dans les fibres optiques en des endroits distincts de la fibre, p. ex. utilisant la diffusion de Bragg
H01L 21/66 - Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
2.
Platform with trench for optical fiber with sensors
Apparatuses and methods therefor generally relate to sensing. In one example of such an apparatus, there is a platform. An optical fiber with Fiber Bragg Grating sensors is located in a trench formed in the platform. The trench has curved sections. The Fiber Bragg Grating sensors are respectively in the curved sections of the trench.
G01L 1/24 - Mesure des forces ou des contraintes, en général en mesurant les variations des propriétés optiques du matériau quand il est soumis à une contrainte, p. ex. par l'analyse des contraintes par photo-élasticité
G01K 11/3206 - Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes , , ou utilisant des changements dans la transmittance, la diffusion ou la luminescence dans les fibres optiques en des endroits distincts de la fibre, p. ex. utilisant la diffusion de Bragg
H01L 21/66 - Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
3.
PROCESSING CHAMBER WITH OPTICAL FIBER WITH BRAGG GRATING SENSORS
An apparatuses relating generally to a test wafer, processing chambers, and method relating generally to monitoring or calibrating a processing chamber, are described. In one such an apparatus for a test wafer, there is a platform. An optical fiber with Fiber Bragg Grating sensors is located over the platform. A layer of material is located over the platform and over the optical fiber.
H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
G01J 3/02 - SpectrométrieSpectrophotométrieMonochromateursMesure de la couleur Parties constitutives
G01J 3/18 - Production du spectreMonochromateurs en utilisant des éléments diffractants, p. ex. réseaux
G01K 1/14 - SupportsDispositifs de fixationDispositions pour le montage de thermomètres en des endroits particuliers
G01K 11/3206 - Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes , , ou utilisant des changements dans la transmittance, la diffusion ou la luminescence dans les fibres optiques en des endroits distincts de la fibre, p. ex. utilisant la diffusion de Bragg
G01N 29/14 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi d'ondes ultrasonores, sonores ou infrasonoresVisualisation de l'intérieur d'objets par transmission d'ondes ultrasonores ou sonores à travers l'objet utilisant des techniques d'émission acoustique
G02B 6/42 - Couplage de guides de lumière avec des éléments opto-électroniques
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01S 5/06 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif
H01S 5/068 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser
H01S 5/40 - Agencement de plusieurs lasers à semi-conducteurs, non prévu dans les groupes
A fiber optic voltage conditioner, and method therefor, generally relate to voltage conditioning. In such a fiber optic voltage conditioner, there is a laser, and an optical circulator is coupled to receive a light signal from the laser. A controller is coupled to the laser and is configured to generate first control information for wavelength-drift control of the laser. A data acquisition module is coupled to the controller and is configured to generate second control information for the controller for adjustment of the first control information. A photodetector is coupled to the optical circulator to receive a returned optical signal and is coupled to the data acquisition module to provide an analog output signal thereto. The photodetector is configured to generate the analog output signal responsive to the returned optical signal. The data acquisition module is configured to generate the second control information using the analog output signal.
G01B 11/16 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la déformation dans un solide, p. ex. indicateur optique de déformation
G01K 11/3206 - Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes , , ou utilisant des changements dans la transmittance, la diffusion ou la luminescence dans les fibres optiques en des endroits distincts de la fibre, p. ex. utilisant la diffusion de Bragg
H01S 5/06 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif
H01S 5/062 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif en faisant varier le potentiel des électrodes
H01S 5/0683 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser en surveillant les paramètres optiques de sortie
H01S 5/0687 - Stabilisation de la fréquence du laser
An apparatus, and related method, relates generally to a fiber-optic sensing system. In such a system, fiber-optic sensors are in a rosette or rosette-like pattern. An optical circulator is coupled to receive a light signal from a broadband light source, to provide the light signal to the fiber-optic sensors, and to receive a returned optical signal from the fiber-optic sensors. A spectral engine is coupled to the optical circulator to receive the returned optical signal and configured to provide an output signal.
G01B 11/00 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques
G01B 11/16 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la déformation dans un solide, p. ex. indicateur optique de déformation
G01D 5/353 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensibleMoyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminéTransducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c.-à-d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques en modifiant les caractéristiques de transmission d'une fibre optique
G01M 5/00 - Examen de l'élasticité des structures ou ouvrages, p. ex. fléchissement de ponts ou d'ailes d'avions
H01S 5/068 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser
H01S 5/06 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif
H01S 5/40 - Agencement de plusieurs lasers à semi-conducteurs, non prévu dans les groupes
H01S 5/12 - Structure ou forme du résonateur optique le résonateur ayant une structure périodique, p. ex. dans des lasers à rétroaction répartie [lasers DFB]
6.
TEST WAFER WITH OPTICAL FIBER WITH BRAGG GRATING SENSORS
An apparatuses relating generally to a test wafer, processing chambers, and method relating generally to monitoring or calibrating a processing chamber, are described. In one such an apparatus for a test wafer, there is a platform. An optical fiber with Fiber Bragg Grating sensors is located over the platform. A layer of material is located over the platform and over the optical fiber.
G02B 6/42 - Couplage de guides de lumière avec des éléments opto-électroniques
G01K 11/32 - Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes , , ou utilisant des changements dans la transmittance, la diffusion ou la luminescence dans les fibres optiques
G01N 29/14 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi d'ondes ultrasonores, sonores ou infrasonoresVisualisation de l'intérieur d'objets par transmission d'ondes ultrasonores ou sonores à travers l'objet utilisant des techniques d'émission acoustique
G01K 1/14 - SupportsDispositifs de fixationDispositions pour le montage de thermomètres en des endroits particuliers
G01J 3/02 - SpectrométrieSpectrophotométrieMonochromateursMesure de la couleur Parties constitutives
7.
Fiber-optic sensors in a rosette or rosette-like pattern for structure monitoring
An apparatus, and related method, relates generally to a fiber-optic sensing system. In such a system, fiber-optic sensors are in a rosette or rosette-like pattern. An optical circulator is coupled to receive a light signal from a broadband light source, to provide the light signal to the fiber-optic sensors, and to receive a returned optical signal from the fiber-optic sensors. A spectral engine is coupled to the optical circulator to receive the returned optical signal and configured to provide an output signal.
G01B 11/16 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la déformation dans un solide, p. ex. indicateur optique de déformation
8.
Processing chamber with optical fiber with bragg grating sensors
An apparatuses relating generally to a test wafer, processing chambers, and method relating generally to monitoring or calibrating a processing chamber, are described. In one such an apparatus for a test wafer, there is a platform. An optical fiber with Fiber Bragg Grating sensors is located over the platform. A layer of material is located over the platform and over the optical fiber.
G02B 6/42 - Couplage de guides de lumière avec des éléments opto-électroniques
G01K 11/3206 - Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes , , ou utilisant des changements dans la transmittance, la diffusion ou la luminescence dans les fibres optiques en des endroits distincts de la fibre, p. ex. utilisant la diffusion de Bragg
G01N 29/14 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi d'ondes ultrasonores, sonores ou infrasonoresVisualisation de l'intérieur d'objets par transmission d'ondes ultrasonores ou sonores à travers l'objet utilisant des techniques d'émission acoustique
G01K 1/14 - SupportsDispositifs de fixationDispositions pour le montage de thermomètres en des endroits particuliers
G01J 3/02 - SpectrométrieSpectrophotométrieMonochromateursMesure de la couleur Parties constitutives
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01S 5/06 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif
H01S 5/068 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser
H01S 5/40 - Agencement de plusieurs lasers à semi-conducteurs, non prévu dans les groupes
G01J 3/18 - Production du spectreMonochromateurs en utilisant des éléments diffractants, p. ex. réseaux
A fiber optic voltage conditioner, and method therefor, generally relate to voltage conditioning. In such a fiber optic voltage conditioner, there is a laser, and an optical circulator is coupled to receive a light signal from the laser. A controller is coupled to the laser and is configured to generate first control information for wavelength-drift control of the laser. A data acquisition module is coupled to the controller and is configured to generate second control information for the controller for adjustment of the first control information. A photodetector is coupled to the optical circulator to receive a returned optical signal and is coupled to the data acquisition module to provide an analog output signal thereto. The photodetector is configured to generate the analog output signal responsive to the returned optical signal. The data acquisition module is configured to generate the second control information using the analog output signal.
G01B 11/16 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la déformation dans un solide, p. ex. indicateur optique de déformation
H01S 5/0687 - Stabilisation de la fréquence du laser
H01S 5/0683 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser en surveillant les paramètres optiques de sortie
H01S 5/06 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif
H01S 5/062 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif en faisant varier le potentiel des électrodes
G01K 11/3206 - Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes , , ou utilisant des changements dans la transmittance, la diffusion ou la luminescence dans les fibres optiques en des endroits distincts de la fibre, p. ex. utilisant la diffusion de Bragg
H01S 5/024 - Dispositions pour la gestion thermique
H01S 5/068 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser
H01S 5/40 - Agencement de plusieurs lasers à semi-conducteurs, non prévu dans les groupes
10.
Fiber-optic sensors in a rosette or rosette-like pattern for structure monitoring
An apparatus, and related method, relates generally to a fiber-optic sensing system. In such a system, fiber-optic sensors are in a rosette or rosette-like pattern. An optical circulator is coupled to receive a light signal from a broadband light source, to provide the light signal to the fiber-optic sensors, and to receive a returned optical signal from the fiber-optic sensors. A spectral engine is coupled to the optical circulator to receive the returned optical signal and configured to provide an output signal.
G01B 11/16 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la déformation dans un solide, p. ex. indicateur optique de déformation
A fiber optic voltage conditioner, and method therefor, generally relate to voltage conditioning. In such a fiber optic voltage conditioner, there is a laser, and an optical circulator is coupled to receive a light signal from the laser. A controller is coupled to the laser and is configured to generate first control information for wavelength-drift control of the laser. A data acquisition module is coupled to the controller and is configured to generate second control information for the controller for adjustment of the first control information. A photodetector is coupled to the optical circulator to receive a returned optical signal and is coupled to the data acquisition module to provide an analog output signal thereto. The photodetector is configured to generate the analog output signal responsive to the returned optical signal. The data acquisition module is configured to generate the second control information using the analog output signal.
H01S 5/0687 - Stabilisation de la fréquence du laser
G01B 11/16 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la déformation dans un solide, p. ex. indicateur optique de déformation
H01S 5/0683 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser en surveillant les paramètres optiques de sortie
H01S 5/06 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif
H01S 5/062 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif en faisant varier le potentiel des électrodes
H01S 5/024 - Dispositions pour la gestion thermique
H01S 5/068 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser
H01S 5/40 - Agencement de plusieurs lasers à semi-conducteurs, non prévu dans les groupes
A fiber optic voltage conditioner, and method therefor, generally relate to voltage conditioning. In such a fiber optic voltage conditioner, there is a laser, and an optical circulator is coupled to receive a light signal from the laser. A controller is coupled to the laser and is configured to generate first control information for wavelength-drift control of the laser. A data acquisition module is coupled to the controller and is configured to generate second control information for the controller for adjustment of the first control information. A photodetector is coupled to the optical circulator to receive a returned optical signal and is coupled to the data acquisition module to provide an analog output signal thereto. The photodetector is configured to generate the analog output signal responsive to the returned optical signal. The data acquisition module is configured to generate the second control information using the analog output signal.
H01S 5/0687 - Stabilisation de la fréquence du laser
G01B 11/16 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la déformation dans un solide, p. ex. indicateur optique de déformation
H01S 5/062 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif en faisant varier le potentiel des électrodes
H01S 5/06 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif
H01S 5/0683 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser en surveillant les paramètres optiques de sortie
13.
Fiber-optic sensors in a rosette or rosette-like pattern for structure monitoring
An apparatus, and related method, relates generally to a fiber-optic sensing system. In such a system, fiber-optic sensors are in a rosette or rosette-like pattern. An optical circulator is coupled to receive a light signal from a broadband light source, to provide the light signal to the fiber-optic sensors, and to receive a returned optical signal from the fiber-optic sensors. A spectral engine is coupled to the optical circulator to receive the returned optical signal and configured to provide an output signal.
G01B 11/16 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la déformation dans un solide, p. ex. indicateur optique de déformation
14.
Test wafer with optical fiber with Bragg Grating sensors
An apparatuses relating generally to a test wafer, processing chambers, and method relating generally to monitoring or calibrating a processing chamber, are described. In one such an apparatus for a test wafer, there is a platform. An optical fiber with Fiber Bragg Grating sensors is located over the platform. A layer of material is located over the platform and over the optical fiber.
H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
G02B 6/42 - Couplage de guides de lumière avec des éléments opto-électroniques
G01K 11/32 - Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes , , ou utilisant des changements dans la transmittance, la diffusion ou la luminescence dans les fibres optiques
G01N 29/14 - Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi d'ondes ultrasonores, sonores ou infrasonoresVisualisation de l'intérieur d'objets par transmission d'ondes ultrasonores ou sonores à travers l'objet utilisant des techniques d'émission acoustique
G01K 1/14 - SupportsDispositifs de fixationDispositions pour le montage de thermomètres en des endroits particuliers
G01J 3/02 - SpectrométrieSpectrophotométrieMonochromateursMesure de la couleur Parties constitutives
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01S 5/06 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif
H01S 5/068 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser
H01S 5/40 - Agencement de plusieurs lasers à semi-conducteurs, non prévu dans les groupes
G01J 3/18 - Production du spectreMonochromateurs en utilisant des éléments diffractants, p. ex. réseaux
Apparatuses relate generally to a fiber optic cable. In such an apparatus, a housing has a channel or bore for receipt of a portion of the fiber optic cable having a fiber optic sensor. An acoustic interface layer is coupled to a surface of the housing to reduce stress wave coupling loss at an interface between the fiber optic sensor and a host structure surface. In another such apparatus, a patch structure is for a fiber optic cable coupled to a fiber optic voltage conditioner. In yet another such apparatus, a fiber optic voltage conditioner is coupled for optical communication to a fiber optic cable having a Fiber Bragg Grating sensor. The fiber optic voltage conditioner includes a tunable light source having a broadband light source or a gain medium configured to provide a narrowband light signal from a broadband light signal for providing to the fiber optic cable.
G01L 1/24 - Mesure des forces ou des contraintes, en général en mesurant les variations des propriétés optiques du matériau quand il est soumis à une contrainte, p. ex. par l'analyse des contraintes par photo-élasticité
H04B 10/2519 - Dispositions spécifiques à la transmission par fibres pour réduire ou éliminer la distorsion ou la dispersion due à la dispersion chromatique en utilisant des réseaux de Bragg
H04B 10/25 - Dispositions spécifiques à la transmission par fibres
G02B 6/293 - Moyens de couplage optique ayant des bus de données, c.-à-d. plusieurs guides d'ondes interconnectés et assurant un système bidirectionnel par nature en mélangeant et divisant les signaux avec des moyens de sélection de la longueur d'onde
H01S 5/0687 - Stabilisation de la fréquence du laser
G01K 11/22 - Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes , , ou utilisant la mesure d'effets acoustiques
G01M 5/00 - Examen de l'élasticité des structures ou ouvrages, p. ex. fléchissement de ponts ou d'ailes d'avions
G01K 11/32 - Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes , , ou utilisant des changements dans la transmittance, la diffusion ou la luminescence dans les fibres optiques
H01S 5/062 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif en faisant varier le potentiel des électrodes
H01S 5/024 - Dispositions pour la gestion thermique
H01S 5/12 - Structure ou forme du résonateur optique le résonateur ayant une structure périodique, p. ex. dans des lasers à rétroaction répartie [lasers DFB]
H01S 5/40 - Agencement de plusieurs lasers à semi-conducteurs, non prévu dans les groupes
H01S 5/068 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser
H01S 5/06 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif
16.
Fiber optic sensor and wavelength drift controlled laser
A fiber optic voltage conditioner, and method therefor, generally relate to voltage conditioning. In such a fiber optic voltage conditioner, there is a laser, and an optical circulator is coupled to receive a light signal from the laser. A controller is coupled to the laser and is configured to generate first control information for wavelength-drift control of the laser. A data acquisition module is coupled to the controller and is configured to generate second control information for the controller for adjustment of the first control information. A photodetector is coupled to the optical circulator to receive a returned optical signal and is coupled to the data acquisition module to provide an analog output signal thereto. The photodetector is configured to generate the analog output signal responsive to the returned optical signal. The data acquisition module is configured to generate the second control information using the analog output signal.
H01S 5/0687 - Stabilisation de la fréquence du laser
H01S 5/062 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif en faisant varier le potentiel des électrodes
H01S 5/024 - Dispositions pour la gestion thermique
H04B 10/2519 - Dispositions spécifiques à la transmission par fibres pour réduire ou éliminer la distorsion ou la dispersion due à la dispersion chromatique en utilisant des réseaux de Bragg
H01S 5/0683 - Stabilisation des paramètres de sortie du laser en surveillant les paramètres optiques de sortie
G01B 11/16 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la déformation dans un solide, p. ex. indicateur optique de déformation
H01S 5/06 - Dispositions pour commander les paramètres de sortie du laser, p. ex. en agissant sur le milieu actif