Abrégé

A system for glass substrate inspection, such as flat patterned media, includes an air table that holds the glass substrate. The air table includes chucklets that emit gas as air bearings. A camera is disposed over the air table and moves in a direction across a width of a top surface of the glass substrate. An assembly includes a gripper and a probe bar configured to be transported under the camera. The gripper is configured to grip a bottom surface of the glass substrate opposite the top surface. The probe bar delivers driving signals to the glass substrate through a plurality of probe pins.

Classes IPC  ?

• B65G 49/05 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables
• B65G 7/06 - Dispositifs adaptés pour être interposés entre les charges et le sol ou le plancher, p. ex. pinces avec moyens pour aider au déplacement des charges utilisant un fluide à haute pression, fourni par une source indépendante, pour former un coussin entre la charge et le sol
• H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
• G01N 21/958 - Inspection de matériaux transparents
• G01N 21/84 - Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
• G02F 1/1333 - Dispositions relatives à la structure