Abrégé

The present invention provides a cylindrical brush assembly designed for precision cleaning of circular wafers and delicate surfaces. The brush features polyvinyl alcohol (PVA) nodules of varying lengths along one side of a cylindrical core, enabling conformity to changing gap sizes when applied at an angle to the wafer. This ensures consistent contact and uniform cleaning across the entire surface. A modular design with replaceable nodule holders allows for easy customization and maintenance. An integrated RFID tracking system embedded in the end cap monitors usage and wear levels in real time. The cleaning method involves rotating the brush at an angle relative to the wafer surface, with the nodules adapting to surface contours for optimal efficiency. While tailored for semiconductor wafer cleaning, the assembly is adaptable for other industrial applications requiring precision cleaning.

Classes IPC  ?

• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• A46B 13/00 - Brosses à monture commandée
• A46B 7/04 - Supports de soies aménagés dans la monture interchangeables
• A46B 9/02 - Position ou disposition des soies par rapport à la surface de la monture, p. ex. inclinées, en rangées, en groupes
• B08B 1/34 - Nettoyage par des procédés impliquant l'utilisation d'outils par le mouvement d’éléments de nettoyage sur une surface utilisant des éléments de nettoyage rotatifs en rotation autour d'un axe parallèle à la surface
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• A46B 3/00 - Brosses caractérisées par la façon dont les soies sont fixées ou assemblées dans ou sur le corps ou la monture de la brosse

Abrégé

The present invention provides a cylindrical brush assembly designed for precision cleaning of circular wafers and delicate surfaces. The brush features polyvinyl alcohol (PVA) nodules of varying lengths along one side of a cylindrical core, enabling conformity to changing gap sizes when applied at an angle to the wafer. This ensures consistent contact and uniform cleaning across the entire surface. A modular design with replaceable nodule holders allows for easy customization and maintenance. An integrated RFID tracking system embedded in the end cap monitors usage and wear levels in real time. The cleaning method involves rotating the brush at an angle relative to the wafer surface, with the nodules adapting to surface contours for optimal efficiency. While tailored for semiconductor wafer cleaning, the assembly is adaptable for other industrial applications requiring precision cleaning.

Classes IPC  ?

• A46B 9/12 - Supports non réglables
• A46B 7/00 - Supports de soies aménagés dans la monture
• A46B 9/02 - Position ou disposition des soies par rapport à la surface de la monture, p. ex. inclinées, en rangées, en groupes
• A46D 1/00 - SoiesEmploi de matériaux spécifiés pour les soies
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

Abrégé

A method for manufacturing a cylindrical brush of a cleaning tool, comprises a cylindrical brush having a core member, a plurality of rail plates, a plurality of polyvinyl alcohol (PVA) nodule foam bars and a pair of end caps. The core member includes an outer wall having a plurality of core holes and a pair of openings. The plurality of rail plates having a plurality of rail holes arranged along the outer wall of the core member. The plurality of polyvinyl alcohol (PVA) nodule foam bars is installed at each of the plurality of rail plates such that each of a plurality of nodules of the PVA nodule foam bar aligns with the plurality of core holes and with the plurality of rail holes. The pair of end caps encloses the pair of openings of the core member.

Classes IPC  ?

• B29L 31/42 - Brosses
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

Abrégé

A method for manufacturing a cylindrical brush of a cleaning tool, comprises a cylindrical brush having a core member, a plurality of rail plates, a plurality of polyvinyl alcohol (PVA) nodule foam bars and a pair of end caps. The core member includes an outer wall having a plurality of core holes and a pair of openings. The plurality of rail plates having a plurality of rail holes arranged along the outer wall of the core member. The plurality of polyvinyl alcohol (PVA) nodule foam bars is installed at each of the plurality of rail plates such that each of a plurality of nodules of the PVA nodule foam bar aligns with the plurality of core holes and with the plurality of rail holes. The pair of end caps encloses the pair of openings of the core member.

Classes IPC  ?

• B29C 45/26 - Moules
• A46B 3/00 - Brosses caractérisées par la façon dont les soies sont fixées ou assemblées dans ou sur le corps ou la monture de la brosse
• A46B 9/00 - Agencement des soies dans la monture
• A46B 9/02 - Position ou disposition des soies par rapport à la surface de la monture, p. ex. inclinées, en rangées, en groupes
• A46B 9/12 - Supports non réglables
• A46B 11/06 - Brosses à réservoir ou autre système permettant l'application de produits, p. ex. peintures, pâtes, eau reliées à un tuyau d'alimentation
• A46B 13/00 - Brosses à monture commandée
• A46B 13/04 - Brosses à monture commandée à entraînement mécanique avec réservoir ou autres moyens permettant l'application de produits
• A46D 1/00 - SoiesEmploi de matériaux spécifiés pour les soies
• B29C 45/00 - Moulage par injection, c.-à-d. en forçant un volume déterminé de matière à mouler par une buse d'injection dans un moule ferméAppareils à cet effet
• B29C 45/17 - Éléments constitutifs, détails ou accessoiresOpérations auxiliaires
• B29C 45/40 - Démoulage ou éjection des objets formés