A substrate processing apparatus including a frame, a first SCARA arm connected to the frame, including an end effector, configured to extend and retract along a first radial axis; a second SCARA arm connected to the frame, including an end effector, configured to extend and retract along a second radial axis, the SCARA arms having a common shoulder axis of rotation; and a drive section coupled to the SCARA arms is configured to independently extend each SCARA arm along a respective radial axis and rotate each SCARA arm about the common shoulder axis of rotation where the first radial axis is angled relative to the second radial axis and the end effector of a respective arm is aligned with a respective radial axis, wherein each end effector is configured to hold at least one substrate and the end effectors are located on a common transfer plane.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
An automatic teaching system for a substrate processing apparatus, the automatic teaching system comprising a frame having a workpiece load station with a predetermined load station reference location, a robot transport mounted to the frame and having a movable transport arm with an end effector having a predetermined end effector reference location, and a drive section driving the movable transport arm in at least one degree of freedom motion relative to the frame, a machine vision system including both at least one fixed imaging sensor and at least one movable imaging sensor removably connected to the frame and configured to image at least one target of the machine vision system, a load jig disposed for removable engagement with the workpiece load station, with both the at least one fixed imaging sensor and the at least one movable imaging sensor mounted to the load jig, the fixed imaging sensor.
G01B 11/02 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
G03F 7/00 - Production par voie photomécanique, p. ex. photolithographique, de surfaces texturées, p. ex. surfaces impriméesMatériaux à cet effet, p. ex. comportant des photoréservesAppareillages spécialement adaptés à cet effet
G05B 19/18 - Commande numérique [CN], c.-à-d. machines fonctionnant automatiquement, en particulier machines-outils, p. ex. dans un milieu de fabrication industriel, afin d'effectuer un positionnement, un mouvement ou des actions coordonnées au moyen de données d'un programme sous forme numérique
G06T 7/70 - Détermination de la position ou de l'orientation des objets ou des caméras
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
A semiconductor wafer mapping apparatus comprising a frame forming a wafer load opening communicating with a load station for a substrate carrier disposed to hold more than one wafers vertically distributed in the substrate carrier for loading through the wafer load opening, a movable arm movably mounted to the frame so as to move relative to the wafer load opening and having at least one end effector movably mounted to the movable arm to load wafers from the substrate carrier through the wafer load opening, an image acquisition system including an array of cameras arranged on a common support and each camera fixed with respect to the common support that is static with respect to each camera of the array of cameras, wherein each respective camera is positioned with a field of view disposed to view through the wafer load opening with the common support positioned by the movable arm.
A linear electrical machine comprising a frame with a level reference plane and an array of electromagnets, connected to the frame to form a drive plane at a predetermined height relative to the reference plane. The array of electromagnets being arranged so that a series of electromagnets of the array of electromagnets define at least one drive line within the drive plane, and each of the electromagnets being coupled to an alternating current power source energizing each electromagnet. At least one reaction platen of paramagnetic, diamagnetic, or non-magnetic conductive material disposed to cooperate with the electromagnets of the array of electromagnets so that excitation of the electromagnets with alternating current generates levitation and propulsion forces against the reaction platen that controllably levitate and propel the reaction platen along at least one drive line, in a controlled attitude relative to the drive plane.
B60L 13/00 - Propulsion électrique pour véhicules à monorail, véhicules suspendus ou chemins de fer à crémaillèreSuspension ou lévitation magnétiques pour véhicules
B60L 13/04 - Suspension ou lévitation magnétiques pour véhicules
B60L 13/10 - Combinaison de propulsion électrique et de suspension magnétique ou de lévitation
H02K 41/00 - Systèmes de propulsion dans lesquels un élément rigide se déplace le long d'une piste sous l'effet de l'action dynamo-électrique s'exerçant entre cet élément et un flux magnétique se propageant le long de la piste
A substrate transport apparatus comprising a support frame an articulated arm connected to the support frame, having at least one movable arm link and an end effector connected to the movable arm link, with a substrate holding station located thereon. Wherein the movable arm link is a reconfigurable arm link having a modular composite arm link casing, formed of link case modules rigidly coupled to each other, and a pulley system cased in and extending through the rigidly coupled link case modules substantially end to end of the modular composite arm link casing, wherein the rigidly coupled link case modules include link case end modules connected by at least one interchangeable link case extension module having a predetermined characteristic determining a length of the movable arm link, wherein at least one interchangeable link case extension module is selectable for connection to link case end modules forming the reconfigurable arm link.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 9/12 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs électriques
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A substrate transport apparatus comprising a frame, a drive section connected to the frame, and an articulated arm having at least one articulated arm link operably connected to the drive section so that the articulated arm rotates about a pivot axis relative to the frame and extends and retracts relative to the pivot axis. The articulated arm has an end effector pivotally mounted to at least one articulated arm link forming a joint between the end effector and the articulated arm link, with an arm joint pivot axis disposed so that the end effector rotates relative to at least one articulated arm link about the arm joint pivot axis, The articulated arm has a drive band transmission with drive and driven pulleys where the driven pulley is connected to the articulated wrist.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
A substrate transport apparatus comprising a frame, a drive section connected to the frame, and an articulated arm having at least one articulated arm link operably connected to the drive section so that the articulated arm rotates about a pivot axis relative to the frame and extends and retracts relative to the pivot axis. The articulated arm has an end effector pivotally mounted to at least one articulated arm link forming a joint between the end effector and the articulated arm link, with an arm joint pivot axis disposed so that the end effector rotates relative to at least one articulated arm link about the arm joint pivot axis. The articulated arm has a drive band transmission with drive and driven pulleys where the driven pulley is connected to the articulated wrist.
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B65G 47/90 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A gripper provides for gripping labware having a variety of diameters and shapes. The gripper includes a support structure having a center axis, a motor, and a gripper stage. The gripper stage includes a plurality of blades, each of the blades having a) a first end through which a blade rotation axis extends, the blade rotation axis being fixed relative to the support structure and offset from the center axis, b) a second end that is circumferentially and radially moveable to rotate the blade about the blade rotation axis, and c) a center portion. The gripper stage also includes a ring structure coupled to the motor to rotate the ring structure around the center axis. The ring structure, as it rotates, moves the second end of each blade to rotate the blade about the blade rotation axis of the blade to shift the center portion towards the center axis to contact an outer portion of a vessel extending along the center axis.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
B25J 15/10 - Têtes de préhension avec des éléments en forme de doigts avec au moins trois éléments en forme de doigts
A substrate transport apparatus having a drive section and at least one articulated multi-link arm having an upper arm joined at one end to the drive section and a forearm joined to the upper arm. The upper arm being a substantially rigid unarticulated link. Dual end effector links that are separate and distinct from each other are each rotatably and separately joined to a common end of the forearm about a common axis of rotation. Each end effector link has at least one holding station. The holding station of at least one end effector link includes one holding station at opposite ends of the at least one end effector link that is substantially rigid and unarticulated between the opposite ends, and the holding station at one of the opposite ends is substantially coplanar with the holding station of each other end effector link.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/06 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des bras à articulations multiples
B65G 47/90 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
10.
PROMOTER AND CARRIER COMPOSED OF SAME AND APPLICATION THEREOF
An improved promoter and a use thereof. An improvement is to mutate a nucleic acid sequence between −35 region and −10 region in a promoter region into recognition sites for an endonuclease. The improvement can overcome the problem that a strong promoter in a vector based on blue-white screening initiates the transcription or translation of foreign genes and a transcription or translation product might be toxic to a host and cannot be cloned, avoid the deficiency that frameshift mutation of a gene due to a lack of 1-2 bp of the vector at digestion sites results in false positive clones, and eliminate a false negative phenomenon that a plate is rich in blue spots due to a small fragment of foreign DNA and a reading frame of the gene which is unchanged by inserting the foreign DNA.
C12N 15/66 - Méthodes générales pour insérer un gène dans un vecteur pour former un vecteur recombinant, utilisant le clivage et la ligatureUtilisation de linkers non fonctionnels ou d'adaptateurs, p. ex. linkers contenant la séquence pour une endonucléase de restriction
A substrate transport apparatus includes a transport chamber, a drive section, a robot arm, an imaging system with a camera mounted through a mounting interface of the drive section in a predetermined location with respect to the transport chamber and disposed to image part of the arm, and a controller connected to the imaging system and configured to image, with the camera, the arm moving to or in the predetermined location, the controller effecting capture of a first image of the arm on registry of the arm proximate to or in the predetermined location, the controller is configured to calculate a positional variance of the arm from comparison of the first image with a calibration image of the arm, and determine a motion compensation factor changing an extended position of the arm. Each camera effecting capture of the first image is disposed inside the perimeter of the mounting interface.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
An improved promoter and a use thereof. An improvement is to mutate a nucleic acid sequence between −35 region and −10 region in a promoter region into recognition sites for an endonuclease. The improvement is used for overcoming the problem that a transcription or translation product of foreign genes under a strong promoter might be toxic to a host and cannot be cloned and avoiding the phenomena of false positives and false negatives during blue-white screening.
C12N 15/66 - Méthodes générales pour insérer un gène dans un vecteur pour former un vecteur recombinant, utilisant le clivage et la ligatureUtilisation de linkers non fonctionnels ou d'adaptateurs, p. ex. linkers contenant la séquence pour une endonucléase de restriction
C12N 9/38 - Hydrolases (3.) agissant sur les composés glycosyliques (3.2) agissant sur les liaisons bêta-galactose-glycoside, p. ex. bêta-galactosidase
C12N 15/70 - Vecteurs ou systèmes d'expression spécialement adaptés à E. coli
A substrate transport apparatus includes a transport chamber, a drive section, a robot arm, an imaging system with a camera mounted through a mounting interface of the drive section in a predetermined location with respect to the transport chamber and disposed to image part of the arm, and a controller connected to the imaging system and configured to image, with the camera, the arm moving to or in the predetermined location, the controller effecting capture of a first image of the arm on registry of the arm proximate to or in the predetermined location, the controller is configured to calculate a positional variance of the arm from comparison of the first image with a calibration image of the arm, and determine a motion compensation factor changing an extended position of the arm. Each camera effecting capture of the first image is disposed inside the perimeter of the mounting interface.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
A process apparatus including a front end with a load opening for loading production workpieces into the apparatus; a process section being offset at a distance from and coupled to the front end via an interior transport path configured for transport of the workpieces between the front end and process section; a load lock between the front end and process section with the transport path extending through the load lock, the load lock having an intermediate entry with an opening shunting the transport path to the exterior separate from the front end; and a predetermined interchangeable transport carrier cassette configured to be entered within the load lock from the exterior through the intermediate entry opening, the entry and removal of the cassette through the opening loads and unloads the load lock with a transport path interface that interfaces, the transport path coincident with the cassette loaded in the load lock.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
15.
Automated system for storing, retrieving and managing samples
An automated storage system for storing large quantities of samples in trays includes a storage compartment, a tray shuttle compartment abutting the storage compartment on one side and a plurality of independent modules on the other side. The modules perform processing of samples that are retrieved from the storage compartment by a tray shuttle, including extraction of selected samples from retrieved source trays and transfer of the selected samples into a separate, destination tray that can be further processed or removed from the system for use. The independent operation of the modules permits handling and processing to be performed simultaneously by different modules while the tray shuttle accesses additional samples within the storage compartment. In one embodiment, a vertical carousel is used to vertically align a desired tray with the tray shuttle, while the tray shuttle operates within a horizontal plane.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
A substrate loading device including a frame adapted to connect to a substrate processing apparatus, the frame having a transport opening through which substrates are transported to the processing apparatus, a cassette support connected to the frame for holding at least one substrate cassette container proximate the transport opening, the support configured so that a sealed internal atmosphere of the container is accessed from the support at predetermined access locations of the container, and the cassette support has a predetermined continuous steady state differential pressure plenum region, determined at least in part by boundaries of fluid flow generating differential pressure, so that the predetermined continuous steady state differential pressure plenum region defines a continuously steady state fluidic flow isolation barrier disposed on the support between the predetermined access locations of the container and another predetermined section of the support isolating the other predetermined section from the predetermined access locations.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
Substrate loading device including a frame adapted to connect the substrate loading device to a substrate processing apparatus, the frame having a transport opening through which substrates are transported between the loading device and processing apparatus, a cassette support for holding at least one substrate cassette container, and cassette support purge ports with purge port nozzle locations disposed on the cassette support, each nozzle location being configured so that a nozzle at the nozzle location couples to at least one purge port of the substrate cassette container, wherein each nozzle location defines an interchangeable purge port nozzle interface so that different interchangeable purge port nozzles are removably mounted to respective nozzle interfaces of the nozzle locations that correspond to the different nozzle configurations of the interchangeable purge port nozzle modules, in conformance with and effecting coupling to different ports of different substrate cassette containers having different purge port characteristics.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
18.
TRANSPORT APPARATUS WITH LINEAR BEARING AND METHOD THEREFOR
A vacuum substrate transport apparatus including a frame, a drive section having a drive axis, at least one arm, having an end effector for holding a substrate, having at least one degree of freedom axis effecting extension and retraction, and a bearing defining a guideway that defines the axis, the bearing including at least one rolling load bearing element disposed in a bearing case, interfacing between a bearing raceway and bearing rail to support arm loads, and effecting sliding of the case along the rail, and at least one rolling, substantially non-load bearing, spacer element disposed in the case, intervening between each of the load bearing elements, wherein the spacer element is a sacrificial buffer material compatible with sustained substantially unrestricted service commensurate with a predetermined service duty of the apparatus in a vacuum environment at temperatures over 260°C for a specified predetermined service period.
B65G 47/90 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux
F16C 29/06 - Roulements à billes ou à rouleaux dans lesquels les billes ou rouleaux ne supportent la charge que sur une partie du chemin de roulement
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
A substrate processing apparatus including a frame, a SCARA arm mounted to the frame at a shoulder joint having two links with at least one end effector dependent therefrom, the links defining an upper arm and a forearm, each end effector pivotally joined to the forearm at a wrist to rotate about a wrist axis, and a drive section with at least one degree of freedom operably coupled to the arm to rotate the arm about a shoulder axis articulating extension and retraction, wherein the end effector is coupled to a wrist joint pulley so that extension and retraction effects rotation of the pulley and end effector as a unit about the wrist axis, and wherein a height of the end effector is within a stack height profile of the wrist joint so that a total stack height is sized to conform with and pass through a pass-through of a slot valve.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 9/06 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des bras à articulations multiples
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
20.
Automated sample storage system having storage consumable with sub-optimal storage density
An automated sample specimen storage system including a tube holding microplate including a plate frame, a predetermined array of tube holding receptacles formed in the plate frame, the receptacles having a SBS standard pitch corresponding to the predetermined array, and being configured for holding therein sample store and transport tubes, each disposed so as to contain sample specimen in a sample storage of the storage system and to effect, with the sample tube, delivery from the sample storage to a workstation, the predetermined array of receptacles defining a volume capacity of the tube holding microplate, and each of the receptacles being shaped to conformally engage walls of the sample tubes and hold a respective one of the sample store and transport tubes, wherein the receptacles are arranged so that the tube holding microplate volume capacity defined by the predetermined array is an under optimum volume capacity.
G01N 35/02 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet en utilisant une série de récipients à échantillons déplacés par un transporteur passant devant un ou plusieurs postes de traitement ou d'analyse
A substrate transport apparatus auto-teach system for auto-teaching a substrate station location, the system including a frame, a substrate transport connected to the frame, the substrate transport having an end effector configured to support a substrate, and a controller configured to move the substrate transport so that the substrate transport biases the substrate supported on the end effector against a substrate station feature causing a change in eccentricity between the substrate and the end effector, determine the change in eccentricity, and determine the substrate station location based on at least the change in eccentricity between the substrate and the end effector.
H01L 21/06 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant du sélénium ou du tellure, sous forme non combinée, et ne constituant pas des impuretés pour les corps semi-conducteurs d'autres matériaux
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A substrate processing apparatus includes a frame and a transport apparatus connected to the frame. The transport apparatus has an upper arm link, a forearm link rotatably coupled to the upper arm link about an elbow axis, at least a third arm link rotatably coupled to the forearm about a wrist axis, and an end effector rotatably coupled to the third arm link about a knuckle axis. A two degree of freedom drive system is operably connected to at least one of the upper arm link, the forearm link, and the third arm link for effecting extension and retraction of the end effector wherein a height of the end effector is within the stack height profile of the wrist axis so that a total stack height of the end effector and wrist axis is sized to conform within a pass through of a slot valve.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
A Gifford-McMahon cryogenic refrigerator comprises a reciprocating displacer within a refrigeration volume. The displacer is pneumatically driven by a drive piston within a pneumatic drive volume. Pressure in the pneumatic drive volume is controlled by valving that causes the drive piston to follow a programmed displacement profile through stroke of the drive piston. The drive valving may include a proportional valve that provides continuously variable supply and exhaust of drive fluid. In a proportionally controlled feedback system, the valve into the drive volume is controlled to minimize error between a displacement signal and a programmed displacement profile. Valving to the warm end of the refrigeration volume may also be proportional. A passive force generator such as a mechanical spring or magnets may apply force to the piston in opposition to the driving force applied by the drive fluid.
F25B 9/14 - Machines, installations ou systèmes à compression dans lesquels le fluide frigorigène est l'air ou un autre gaz à point d'ébullition peu élevé caractérisés par le cycle utilisé, p. ex. cycle de Stirling
A cryogenic storage system (100) includes a transfer module (101) configured to service one or more cryogenic storage freezers (105a). The transfer module (101) includes a working chamber (120) that maintains a cryogenic environment for the transfer of sample tubes between different sample boxes. One or more freezer ports (108a) enable the transfer module (101) to receive a sample box extracted from a respective freezer (105a). An input/output (I/O) port (125) enables external access to samples. A box transport robot (130) operates to transport sample boxes between the freezer ports (108a), the working chamber (120), and the I/O port (125). A picker robot (140) operates to transfer sample tubes between sample boxes within the working chamber (120).
A substrate transport apparatus including, a torsional motion driver member having an exterior perimeter circumscribing an axis of rotation of the torsional motion driver member, and a torsional motion follower member including a body portion and a bearing collar rotatably coupled to the body portion, the torsional motion follower member being coupled to the torsional motion driver member with a dimensionally substantially invariant interface, wherein the bearing collar is decoupled from the exterior perimeter of the torsional motion driver member so that the exterior perimeter, as a whole, is free of the bearing collar.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
F16D 1/06 - Accouplements pour établir une liaison rigide entre deux arbres coaxiaux ou d'autres éléments mobiles d'une machine pour montage d'un organe sur un arbre ou à l'extrémité d'un arbre
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p. ex. pour contrôler, pour observerDispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
A substrate transport apparatus including a transport chamber, a drive section, a robot arm having an end effector at a distal end configured to support a substrate and being connected to the drive section generating at least arm motion in a radial direction extending and retracting the arm, an imaging system with a camera mounted in a predetermined location to image at least part of the robot arm, and a controller connected to the imaging system to image the arm moving to a predetermined repeatable position, the controller effecting capture of a first image of the robot arm proximate to the repeatable position decoupled from encoder data of the drive axis, wherein the controller calculates a positional variance of the robot arm from comparison of the first image with a calibration image, and from the positional variance determines a motion compensation factor changing the extended position of the robot arm.
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p. ex. pour contrôler, pour observerDispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
G05B 1/04 - Éléments de comparaison, c.-à-d. éléments pour effectuer la comparaison directement ou indirectement entre une valeur désirée et des valeurs existantes ou prévues électriques avec détermination de la position de l'aiguille d'un instrument de mesure
G05B 6/02 - Dispositions de rétroaction interne pour obtenir des caractéristiques particulières, p. ex. proportionnelles, intégrales ou différentielles électriques
27.
CRYOPUMP WITH PERIPHERAL FIRST AND SECOND STAGE ARRAYS
In a cryopump, a primary cryopumping array having adsorbent and cooled by a second refrigerator stage extends along radiation shield sides. That array is shielded by a condensing cryopumping array that extends along the primary cryopumping array. The primary cryopumping array may be a cylinder with adsorbent on an inwardly facing surface, and the condensing cryopumping array may comprise an array of baffles having surfaces facing the frontal opening. A raised surface such as a conical surface at the base of the radiation shield redirects molecules received from the frontal opening toward the primary cryopumping array. The refrigerator cold finger may extend tangentially relative to the radiation shield or connect to the base of the radiation shield.
F25B 9/10 - Machines, installations ou systèmes à compression dans lesquels le fluide frigorigène est l'air ou un autre gaz à point d'ébullition peu élevé avec plusieurs étages de refroidissement
F04B 37/02 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation, par absorption ou adsorption
F04B 37/08 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation par moyens thermiques par condensation ou réfrigération, p. ex. pompes cryogéniques
F25D 19/00 - Disposition ou montage des groupes frigorifiques dans les dispositifs
28.
Method and apparatus for health assessment of a transport apparatus
pkBase) for each of the dynamic performance variable output by the transport apparatus respectively corresponding to the predetermined motion base set and the other predetermined motion set.
Semiconductor device manufacturing machines; semiconductor wafer processing equipment; semiconductor substrate manufacturing machines; semiconductor wafer processing machines; semiconductor wafer processing equipment, namely, enclosures for containing industrial robots used in transporting semiconductor wafers and devices; semiconductor wafer processing equipment, namely, pressure vessels for containing industrial robots used in transporting semiconductor wafers and devices; semiconductor wafer processing equipment, namely, industrial robots and enclosures used in transporting semiconductor wafers and devices; machines for manufacturing semiconductor devices; machines for transporting semiconductor wafers for use in manufacturing automation; cluster-tool integration platforms used in the manufacture of integrated circuits and semiconductor devices
30.
SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS WITH INDEPENDENT ACCESSORY FEEDTHROUGH
A substrate transport apparatus including a frame, a substrate transport arm connected to the frame, the substrate transport arm having an end effector and a drive section having at least one motor coupled to the substrate transport arm, wherein the at least one motor defines a kinematic portion of the drive section configured to effect kinematic motion of the substrate transport arm, and the drive section includes an accessory portion adjacent the kinematic portion, wherein the accessory portion has another motor, different and distinct from the at least one motor, the another motor of the accessory portion is operably coupled to and configured to drive one or more accessory devices independent of the kinematic motion of the substrate transport arm.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/08 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des éléments de construction modulaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
G05B 19/04 - Commande à programme autre que la commande numérique, c.-à-d. dans des automatismes à séquence ou dans des automates à logique
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
A substrate transport apparatus auto-teach system for auto-teaching a substrate station location, the system including a frame, a substrate transport connected to the frame, the substrate transport having an end effector configured to support a substrate, and a controller configured to move the substrate transport so that the substrate transport biases the substrate supported on the end effector against a substrate station feature causing a change in eccentricity between the substrate and the end effector, determine the change in eccentricity, and determine the substrate station location based on at least the change in eccentricity between the substrate and the end effector.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A semiconductor process transport apparatus including a drive section with at least one motor, an articulated arm coupled to the drive section for driving articulation motion, a machine controller coupled to the drive section to control the at least one motor moving the articulated arm from one location to a different location, and an adapter pendant having a machine controller interface coupling the adapter pendant for input/output with the machine controller, the adapter pendant having another interface, configured for connecting a fungible smart mobile device having predetermined resident user operable device functionality characteristics, wherein the other interface has a connectivity configuration so mating of the fungible smart mobile device with the other interface automatically enables configuration of at least one of the resident user operable device functionality characteristics to define an input/output to the machine controller effecting input commands and output signals for motion control of the articulated arm.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
33.
METHOD AND APPARATUS FOR HEALTH ASSESSMENT OF A TRANSPORT APPARATUS
A method for health assessment of a system including a transport apparatus including registering predetermined operating data embodying at least one dynamic performance variable output by the transport apparatus, determining a base value (CpkBase) characterized by a probability density function of each of the dynamic performance variable output, resolving from the transport apparatus in situ process motion commands of the apparatus controller and defining another predetermined motion set of the transport apparatus, registering predetermined operating data embodying the at least one dynamic performance variable output by the transport apparatus and determining with the processor another value (CpkOther) characterized by the probability density function of each of the dynamic performance variable output by the transport apparatus, and comparing the other value and the base value (CpkBase) for each of the dynamic performance variable output by the transport apparatus respectively corresponding to the predetermined motion base set and the other predetermined motion set.
A substrate processing apparatus includes a linearly elongated substantially hexahedron shaped substrate transport chamber having linearly elongated sides of the hexahedron and at least one end wall of the hexahedron substantially orthogonal to the linearly elongated sides. A plurality of process modules are linearly arrayed along the at least one of the linearly elongated sides. A substrate transport arm is pivotally mounted within the substrate transport chamber so that a pivot axis of the substrate transport arm is mounted, fixed relative to the substrate transport chamber. The substrate transport arm has a three link - three joint SCARA configuration, of which one link is an end effector with at least one substrate holder, that is articulate to transport the substrate, and held by the at least one substrate holder, in and out of the substrate transport chamber through the end and side substrate transport openings.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
35.
A CAPPING AND DE-CAPPING APPARATUS AND A METHOD OF OPERATING SUCH AN APPARATUS
A capping and de-capping apparatus (100) for capping and de- capping tubes (112) disposed in a tube holding rack (111) having a two-dimensional array of apertures (114) for holding the tubes (112). The apparatus (100) comprises a rack support (110) for supporting the tube holding rack (111), a head unit (120) adapted for carrying a cartridge (152) comprising at least one capping and de-capping gripper (122), a drive system (130) for moving the rack support (110) and the head unit (120) relatively towards and away from one another, in order to cause engagement or disengagement of the capping and de- capping gripper (122) with or from a cap (113) of at least one tube (112), and a drive system (140) for rotating the capping and de-capping gripper (122), wherein rotation in one direction causes attachment of the cap (113) to the tube (112) and rotation in the opposite direction causes detachment of the cap (113) from said tube (112).
B67B 3/20 - Fermeture des bouteilles, des bocaux ou des récipients analogues par application de capsules par application et rotation de capsules préalablement filetées
B67B 7/18 - Dispositifs à main ou à moteur pour ouvrir des récipients fermés pour enlever les capsules filetées
36.
METHOD AND APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS POSITION COMPENSATION
A substrate transport empiric arm droop mapping apparatus for a substrate transport system of a processing tool, the mapping apparatus including: a frame, an interface disposed on the frame forming datum features representative of a substrate transport space in the processing tool defined by the substrate transport system, a substrate transport arm, that is articulated and has a substrate holder, mounted to the frame in a predetermined relation to at least one of the datum features, and a registration system disposed with respect to the substrate transport arm and at least one datum feature so that the registration system registers, in an arm droop distance register, empiric arm droop distance, due to arm droop changes, between a first arm position and a second arm position different than the first arm position and in which the substrate holder is moved in the transport space along at least one axis of motion.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
A sample tube includes a barcode split into components at the bottom of the sample tube. Each barcode component stores less than the full data output from the barcode, but the components combine to full data output. Redundant diagonal components provide for error checking. A center region between the barcode components supports an electrical circuit or an optical or acoustic window. The sample tube may have a sidewall with a substantially cylindrical open end and non-cylindrical end closed with a bottom, the non-cylindrical end orienting the sample tube in a rack. Additional non-cylindrical surfaces are provided to orient the sample tube relative to complementary surfaces at a gripper. The sample tube of a particular application is positioned in an acoustic dispensing system where acoustic waves are transmitted through a center window for surveying and dispensing.
B01L 3/00 - Récipients ou ustensiles pour laboratoires, p. ex. verrerie de laboratoireCompte-gouttes
B05B 17/06 - Appareils de pulvérisation ou d'atomisation de liquides ou d'autres matériaux fluides, non couverts par les autres groupes de la présente sous-classe opérant suivant des procédés particuliers utilisant des vibrations ultrasonores
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
In accordance with one or more aspects of the disclosed embodiment an apparatus is provided. The apparatus includes a pick head configured to transfer sample containers to and from a sample group holder, at least one sensor connected to the pick head and configured to detect at least one predetermined feature of the sample group holder, and a controller configured to receive a detection signal from the at least one sensor corresponding to detection of the at least one predetermined feature, determine a change in a predetermined characteristic of the sample group holder based on a detected position of the at least one predetermined feature, and determine a location of one or more samples in the sample group holder to allow for the transfer of the one or more sample containers to and from the sample group holder based on the edge detection signal.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
A substrate processing apparatus including a frame and at least one substrate transport arm having at least one end effector, each end effector having a base portion, a first and second substrate support tines mounted to and dependent from the base portion where at least one of the first and second substrate support tines is movable relative to the base portion, each of the first and second substrate support tines having respective substrate contacts configured to contact and support a substrate held by the end effector between the respective contacts of the first and second substrate support tines at a substrate support seat dimension span between the substrate contacts of the first and second substrate support tines, and an end effector drive section configured to vary a distance between the first and second substrate support tines relative to each other on the fly.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A modular sample store including a storage area; a service area; a transfer area; a motorized robot with a lifting device and at least one platform; and a controller. The sample store service area includes one integrally formed cubic vat module and the sample store storage area includes at least one integrally formed cubic vat module. Each one of the aforementioned vat modules includes an essentially horizontal vat floor and four joining vat walls that are connected to the vat floor and that are leaving an open vat space. The modular sample store also includes upper side walls and a cover plate to close the sample store. Each vat floor and vat wall includes an outside liner and an inside liner, which outside and inside liners in each case are separated by a clearance. This clearance is essentially filled with a polymer foam material that provides fixation of the outside and inside liners to each other as well as thermal insulation of and reinforcement to the thus integrally formed cubic vat module sandwich construction.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
G01N 35/10 - Dispositifs pour transférer les échantillons vers, dans ou à partir de l'appareil d'analyse, p. ex. dispositifs d'aspiration, dispositifs d'injection
A47F 5/00 - Stands d'étalage, systèmes de suspension ou rayonnages caractérisés par leurs particularités de structure
B65G 1/06 - Dispositifs d'emmagasinage mécaniques avec des moyens pour que les objets se présentent à l'enlèvement dans des positions ou à des niveaux prédéterminés
A substrate processing apparatus including a frame (106), a first SCARA arm (110) having an end effector (110E) and being configured to extend and retract along a first axis, a second SCARA arm (120) having an end effector (120E) and being configured to extend and retract along a second axis, a drive section including a splitting drive pulley (606, 906) rotatably mounted to rotate at an axis of rotation of the drive section that is shared by the first and second SCARA arms, the splitting drive pulley being coupled to at least two idler pulleys (600, 601) by respective segmented transmission loops of separate band segments (701, 702, 711, 712) so that the splitting drive pulley is a common pulley splitting one degree of freedom of the drive section between the at least two idler pulleys so as to commonly drive the at least two idler pulleys, wherein at least one band of each respective transmission loop share a common band interface level.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
F16H 19/00 - Transmissions comportant essentiellement et uniquement des engrenages ou des organes de friction et qui ne peuvent transmettre un mouvement rotatif indéfini
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
42.
Automated system for storing, retrieving and managing samples
An automated storage system for storing large quantities of samples in trays includes a storage compartment, a tray shuttle compartment abutting the storage compartment on one side and a plurality of independent modules on the other side. The modules perform processing of samples that are retrieved from the storage compartment by a tray shuttle, including extraction of selected samples from retrieved source trays and transfer of the selected samples into a separate, destination tray that can be further processed or removed from the system for use. The independent operation of the modules permits handling and processing to be performed simultaneously by different modules while the tray shuttle accesses additional samples within the storage compartment. In one embodiment, a vertical carousel is used to vertically align a desired tray with the tray shuttle, while the tray shuttle operates within a horizontal plane.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
An apparatus includes a frame configured to hold sample holders in an array, a longitudinal axis of the sample holder extending outward of an array plane; a drive section connected to the frame; at least one transfer arm rotatably connected to the drive section so that each transfer arm rotates about a rotation axis oriented substantially parallel with the longitudinal axis and includes a sample holder gripper; and at least one push member movably connected to the drive section and being distinct from the sample holder gripper and configured for linear movement along the longitudinal axis, the at least one push member being configured so that engagement with at least a bottom or top surface of the sample holder effects longitudinal translation of the sample holder for one or more of capture and release of the sample holder by the respective transfer arm in the longitudinal direction.
G01N 35/02 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet en utilisant une série de récipients à échantillons déplacés par un transporteur passant devant un ou plusieurs postes de traitement ou d'analyse
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
B65G 1/137 - Dispositifs d'emmagasinage mécaniques avec des aménagements ou des moyens de commande automatique pour choisir les objets qui doivent être enlevés
An automated sample specimen storage system including a tube holding microplate including a plate frame, a predetermined array of tube holding receptacles formed in the plate frame, the receptacles having a SBS standard pitch corresponding to the predetermined array, and being configured for holding therein sample store and transport tubes, each disposed so as to contain sample specimen in a sample storage of the storage system and to effect, with the sample tube, delivery from the sample storage to a workstation, the predetermined array of receptacles defining a volume capacity of the tube holding microplate, and each of the receptacles being shaped to conformally engage walls of the sample tubes and hold a respective one of the sample store and transport tubes, wherein the receptacles are arranged so that the tube holding microplate volume capacity defined by the predetermined array is an under optimum volume capacity.
G01N 35/02 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet en utilisant une série de récipients à échantillons déplacés par un transporteur passant devant un ou plusieurs postes de traitement ou d'analyse
B01L 3/00 - Récipients ou ustensiles pour laboratoires, p. ex. verrerie de laboratoireCompte-gouttes
Cryogenic storage system provides automated storage and retrieval of samples in a cryogenic environment, as well as automated transfer of individual samples between cryogenic environments. Stored samples are maintained under a cryogenic temperature threshold, while also enabling access to the samples. The samples may be organized and tracked by scanning a barcode of each sample. Embodiments may also comprise multiple storage vaults and provide for transfer of individual samples between the storage vaults, as well as between a storage vault and a removable cryogenic storage device.
G01N 1/42 - Traitement à basse température des échantillons, p. ex. cryofixation
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
G01N 35/02 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet en utilisant une série de récipients à échantillons déplacés par un transporteur passant devant un ou plusieurs postes de traitement ou d'analyse
A transport apparatus including a drive section connected to a frame and including a multi-drive shaft spindle, with at least one coaxial shaft spindle, more than one different interchangeable motor module arranged in a stack, each havinq a motor operably coupled thereto and defining a corresponding independent drive axis, and a can seal disposed between the stator and rotor of each motor module and hermetically sealing the stator and rotor from each other, at least one of the motor modules is selectable for placement in the stack from other different interchangeable motor modules, each having a different predetermined characteristic, independent of placement in the stack, that defines a different predetermined drive characteristic of the corresponding drive axis, independent of shaft spindle location, so that selection of the at least one motor module determines the different predetermined drive characteristic of the corresponding axis different from another of the independent drive axis.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B25J 21/00 - Enceintes à dispositifs de manipulation intégrés
B25J 9/12 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs électriques
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
47.
ON THE FLY AUTOMATIC WAFER CENTERING METHOD AND APPARATUS
Substrate processing apparatus including a wafer transport apparatus with a transport arm including an end effector, an arm pose deterministic feature integral to the substrate transport apparatus and disposed so that a static detection sensor of the substrate processing apparatus detects at least one edge of the at least one arm pose deterministic feature on the fly with radial motion of the transport arm, and a controller configured so that detection of the edge effects a determination of a proportion factor identifying at least a thermal expansion variance of the transport arm on the fly and includes a kinematic effects resolver configured to determine, from the detection of the edge on the fly, a discrete relation between the determined proportion factor and each different discrete variance respective to each different link of the transport arm determining at least the thermal expansion variance of the transport arm on the fly.
G06F 7/00 - Procédés ou dispositions pour le traitement de données en agissant sur l'ordre ou le contenu des données maniées
H01L 21/00 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
H01L 21/027 - Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe ou
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
An automated cryogenic storage system includes a freezer (120) and an automation system to provide automated transfer of samples to and from the freezer. The freezer includes a bearing and a drive shaft though the freezer, the drive shaft being coupled to a rack carrier inside the freezer and adapted to be coupled to a motor. The automation module includes a rack puller (150) that is automatically positioned above an access port (122) of the freezer. The rack puller engages with a sample rack within the freezer, and elevates the rack into an insulating sleeve (160) external to the freezer. From the insulating sleeve, samples can be added to and removed from the sample rack before it is returned to the freezer.
F25D 3/11 - Dispositifs utilisant d'autres agents froidsDispositifs utilisant des récipients conservant le froid utilisant des gaz liquéfiés, p. ex. de l'air liquide avec transporteurs faisant traverser la chambre de refroidissement aux produits à refroidir
F25D 29/00 - Disposition ou montage de l'appareillage de commande ou de sécurité
F25D 25/04 - Introduction, port ou déchargement des produits à refroidir par transporteurs
A configurable cryogenic storage device has a freezer (120) and a rack carrier positioned inside of the freezer. The freezer includes a bearing (733) and a drive shaft (231) though the freezer, the drive shaft being coupled to the rack carrier inside the freezer and adapted to be coupled to a motor assembly. The rack carrier rests on the bearing in a manual rotation configuration and hangs from the drive shaft when the motor is connected. Coupling the drive shaft to the motor assembly lifts the rack carrier and decouples the bearing and enables automated rotation of the rack carrier by the motor. The rack carrier includes rack-mounting features holding a plurality of sample storage racks (480). The sample storage racks hang from the rack carrier and the rack-mounting features precisely position the end of each sample storage rack.
F25D 3/10 - Dispositifs utilisant d'autres agents froidsDispositifs utilisant des récipients conservant le froid utilisant des gaz liquéfiés, p. ex. de l'air liquide
F25D 25/04 - Introduction, port ou déchargement des produits à refroidir par transporteurs
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
A device for sealing sample tubes comprises a tool assembly configured to interface with a rack (10) holding a plurality of sample storage tubes (20), the tool assembly holding a plurality of punches (322) and a die plate (324) including a plurality of cutting holes, with each of the plurality of cutting holes accepting one of the plurality of punches (322). The tool assembly receives a foil sheet (131) between the punches (322) and the die plate (324). The device includes an actuator enabling linear movement of the tool assembly. Linear movement of the tool assembly towards the rack (10) engages the die plate (324) against the rack (10) and punches the punches (322) through the cutting holes of the die plate (324) to punch a plurality of sealing sections from the foil sheet (131) and to press and seal each of the sealing sections against a top end of each of the plurality of sample storage tubes (20) in the rack (10).
B29C 65/18 - Assemblage d'éléments préformésAppareils à cet effet par chauffage, avec ou sans pressage avec un outil chauffé
B29C 65/74 - Assemblage d'éléments préformésAppareils à cet effet par soudage et découpage
B29C 69/00 - Combinaisons de techniques de façonnage non prévues dans un seul des groupes principaux , p. ex. associations de techniques de moulage et d'assemblageAppareils à cet effet
B65B 7/16 - Fermeture de réceptacles ou récipients semi-rigides ou rigides, non déformés par le contenu ou n'en prenant pas la forme, p. ex. boîtes ou cartons
B29C 65/78 - Moyens pour la manipulation des éléments à assembler, p. ex. pour la fabrication de récipients ou d'objets creux
A substrate transport apparatus auto-teach system for auto- teaching a substrate station location, the system including a frame, a substrate transport connected to the frame, the substrate transport having an end effector configured to support a substrate, and a controller configured to move the substrate transport so that the substrate transport biases the substrate supported on the end effector against a substrate station feature causing a change in eccentricity between the substrate and the end effector, determine the change in eccentricity, and determine the substrate station location based on at least the change in eccentricity between the substrate and the end effector.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
A substrate transport apparatus auto-teach system for auto-teaching a substrate station location, the system including a frame, a substrate transport connected to the frame, the substrate transport having an end effector configured to support a substrate, and a controller configured to move the substrate transport so that the substrate transport biases the substrate supported on the end effector against a substrate station feature causing a change in eccentricity between the substrate and the end effector, determine the change in eccentricity, and determine the substrate station location based on at least the change in eccentricity between the substrate and the end effector.
G06F 19/00 - Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des applications spécifiques (spécialement adaptés à des fonctions spécifiques G06F 17/00;systèmes ou méthodes de traitement de données spécialement adaptés à des fins administratives, commerciales, financières, de gestion, de surveillance ou de prévision G06Q;informatique médicale G16H)
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
A semiconductor wafer transport apparatus includes a frame, a transport arm movably mounted to the frame and having at least one end effector movably mounted to the arm so the at least one end effector traverses, with the arm as a unit, in a first direction relative to the frame, and traverses linearly, relative to the transport arm, in a second direction, and an edge detection sensor mounted to the transport arm so the edge detection sensor moves with the transport arm as a unit relative to the frame, the edge detection sensor being a common sensor effecting edge detection of each wafer simultaneously supported by the end effector, wherein the edge detection sensor is configured so the edge detection of each wafer is effected by and coincident with the traverse in the second direction of each end effector on the transport arm.
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A storage stack for storing sample containers in a low temperature sample store, each storage stack includes first and second rigid lateral support flanges including a multitude of storage webs for supporting sample containers; a rigid back panel; a rigid bottom plate; and a rigid insulation cover. The insulation cover includes a handling plate and an insulation block. A number of insulation covers of all storage stacks of a storage stack array form an essentially continuous insulation layer on a storage area of the low temperature sample store. For all storage stacks, carrying elements are provided that statically connect the bottom plate of each individual storage stack with a bottom structure of the storage area, carry the entire weight of the individual storage stack and all sample containers inserted therein, and confer this entire weight to a bottom structure of the storage area of the low temperature sample store.
B65G 1/06 - Dispositifs d'emmagasinage mécaniques avec des moyens pour que les objets se présentent à l'enlèvement dans des positions ou à des niveaux prédéterminés
A47F 5/00 - Stands d'étalage, systèmes de suspension ou rayonnages caractérisés par leurs particularités de structure
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
G01N 35/10 - Dispositifs pour transférer les échantillons vers, dans ou à partir de l'appareil d'analyse, p. ex. dispositifs d'aspiration, dispositifs d'injection
A sample storage including a frame and an array of sample container holding areas disposed within the frame where a spacing between adjacent sample container holding areas is independent of a gripping area for sample containers held by the sample storage.
B01L 3/00 - Récipients ou ustensiles pour laboratoires, p. ex. verrerie de laboratoireCompte-gouttes
B01L 9/06 - Supports de tubes à essaiPorte-tubes à essai
B01L 9/00 - Dispositifs de supportDispositifs de serrage
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
An apparatus includes a frame configured to hold sample holders in an array, a longitudinal axis of the sample holder extending outward of an array plane; a drive section connected to the frame; at least one transfer arm rotatably connected to the drive section so that each transfer arm rotates about a rotation axis oriented substantially parallel with the longitudinal axis and includes a sample holder gripper; and at least one push member movably connected to the drive section and being distinct from the sample holder gripper and configured for linear movement along the longitudinal axis, the at least one push member being configured so that engagement with at least a bottom or top surface of the sample holder effects longitudinal translation of the sample holder for one or more of capture and release of the sample holder by the respective transfer arm in the longitudinal direction.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
G01N 35/02 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet en utilisant une série de récipients à échantillons déplacés par un transporteur passant devant un ou plusieurs postes de traitement ou d'analyse
A sample storage including a frame and an array of sample container holding areas disposed within the frame where a spacing between adjacent sample container holding areas is independent of a gripping area for sample containers held by the sample storage.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
An apparatus includes a frame configured to hold sample holders in an array, a longitudinal axis of the sample holder extending outward of an array plane; a drive section connected to the frame; at least one transfer arm rotatably connected to the drive section so that each transfer arm rotates about a rotation axis oriented substantially parallel with the longitudinal axis and includes a sample holder gripper; and at least one push member movably connected to the drive section and being distinct from the sample holder gripper and configured for linear movement along the longitudinal axis, the at least one push member being configured so that engagement with at least a bottom or top surface of the sample holder effects longitudinal translation of the sample holder for one or more of capture and release of the sample holder by the respective transfer arm in the longitudinal direction.
G06F 7/00 - Procédés ou dispositions pour le traitement de données en agissant sur l'ordre ou le contenu des données maniées
B65G 1/137 - Dispositifs d'emmagasinage mécaniques avec des aménagements ou des moyens de commande automatique pour choisir les objets qui doivent être enlevés
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
G01N 35/02 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet en utilisant une série de récipients à échantillons déplacés par un transporteur passant devant un ou plusieurs postes de traitement ou d'analyse
A cryopump comprises a refrigerator, a condensing array cooled by the refrigerator, a radiation shield surrounding the condensing array and cooled by the refrigerator. The radiation shield has a frontal opening covered by a frontal array that is also cooled by the refrigerator. The frontal array comprises louvers across an otherwise substantially open center region of the frontal opening and an orifice plate across an outer region of the frontal opening. The hybrid frontal array allows for pumping speeds approximating those of a louver frontal array but with flow control comparable to an orifice plate.
F04B 37/08 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation par moyens thermiques par condensation ou réfrigération, p. ex. pompes cryogéniques
A substrate transport apparatus including a frame, an upper arm rotatably mounted to the frame about a shoulder axis, a forearm rotatably mounted to the upper arm about an elbow axis where the forearm includes stacked forearm sections dependent from the upper arm through a common joint, and independent stacked end effectors rotatably mounted to the forearm, the forearm being common to the independent stacked end effectors, wherein at least one end effector is mounted to the stacked forearm sections at a wrist axis, where the forearm is configured such that spacing between the independent stacked end effectors mounted to the stacked forearm sections is decoupled from a height build up between end effectors accommodating pass through instrumentation.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
A transport apparatus including a frame, a drive section connected to the frame, the drive section having at least one drive axis, at least one arm having an end effector configured for holding a substrate, the at least one arm being connected to the drive section by a transmission link and having at least one degree of freedom axis effecting extension and retraction of the end effector with respect to the at least one arm, and a bearing connected to the frame and the end effector, the bearing defining a guideway that defines the at least one degree of freedom axis.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A portable cryogenic workstation includes a housing having an internal cavity configured to hold one or more samples, a lid for sealing the internal cavity such that the portable cryogenic workstation is configured for transporting samples between about room temperature environments to about ultra-cold environments, at least one automation interface disposed on one or more of the housing and lid and configured for engagement with automated handling equipment, and a process data capture unit coupled to the housing and configured to capture process or ephemeral data corresponding to a predetermined processing characteristic (s) of at least one of the samples coincident with presence inside the portable cryogenic workstation.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
A transfer apparatus including a frame, multiple arms connected to the frame, each arm having an end effector and an independent drive axis for extension and retraction of the respective arm with respect to other ones of the multiple arms, a linear rail defining a degree of freedom for the independent drive axis for extension and retraction of at least one arm, and a common drive axis shared by each arm and configured to pivot the multiple arms about a common pivot axis, wherein at least one of the multiple arms having another drive axis defining an independent degree of freedom with respect to other ones of the multiple arms.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
A transport apparatus including a housing, a drive mounted to the housing, and at least one transport arm connected to the drive, where the drive includes at least one rotor having at least one salient pole of magnetic permeable material and disposed in an isolated environment, at least one stator having at least one salient pole with corresponding coil units and disposed outside the isolated environment where the at least one salient pole of the at least one stator and the at least one salient pole of the rotor form a closed magnetic flux circuit between the at least one rotor and the at least one stator, at least one seal partition configured to isolate the isolated environment, and at least one sensor including a magnetic sensor member connected to the housing, at least one sensor track connected to the at least one rotor where the at least one seal partition is disposed between and separates the magnetic sensor member and the at least one sensor track so that the at least one sensor track is disposed in the isolated environment and the magnetic sensor member is disposed outside the isolated environment.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
65.
METHOD AND APPARATUS FOR BRUSHLESS ELECTRICAL MACHINE CONTROL
A variable reluctance motor load mapping apparatus includes a frame, an interface disposed on the frame configured for mounting a variable reluctance motor, a static load cell mounted to the frame and coupled to the variable reluctance motor, and a controller communicably coupled to the static load cell and the variable reluctance motor, the controller being configured to select at least one motor phase of the variable reluctance motor, energize the at least one motor phase, and receive motor operational data from at least the static load cell for mapping and generating an array of motor operational data look up tables.
A transport apparatus including a housing, a drive mounted to the housing, and at least one transport arm connected to the drive where the drive includes at least one rotor having at least one salient pole of magnetic permeable material and disposed in an isolated environment, at least one stator having at least one salient pole with corresponding coil units and disposed outside the isolated environment, where the at least one salient pole of the at least one stator and the at least one salient pole of the rotor form a closed magnetic flux circuit between the at least one rotor and the at least one stator, and at least one seal configured to isolate the isolated environment where the at least one seal is integral to the at least one stator.
H02K 5/10 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction avec des dispositions empêchant l'introduction de corps étrangers, p. ex. de l'eau ou des doigts
A motor including a sealed rotor with at least one salient rotor pole and a stator comprising at least one salient stator pole having an excitation winding associated therewith and interfacing with the at least one salient rotor pole to effect an axial flux circuit between the at least one salient stator pole and the at least one salient rotor pole.
In accordance with one or more aspects of the disclosed embodiment a semiconductor processing apparatus is provided. The semiconductor processing apparatus includes a frame forming a sealable chamber having a longitudinal axis and lateral sides astride the longitudinal axis, the sealable chamber being configured to hold a sealed environment therein, at least one transport module mounted to the sealable chamber and having a telescoping carriage being configured so that the telescoping carriage is linearly movable relative to another portion of the transport module where the telescoping carriage and the other portion define a telescoping motion along the longitudinal axis, and at least one transfer robot mounted to the carriage, each of the at least one transfer robot having at least one transfer arm configured for holding a substrate thereon.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
A volumetric measurement system having an imaging device and a light source, where the light source is configured to illuminate the container and the sample regardless of a blockage or obstruction of the sample on at least part of the container.
H04N 5/33 - Transformation des rayonnements infrarouges
G01B 11/06 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur pour mesurer l'épaisseur
A substrate processing apparatus comprising a transport arm having serially connected arm links, at least one of the arm links having a predetermined arm link height, at least a first pulley and a second pulley, where the second pulley is fixed to an arm link of the serially connected arm links, and at least one torque transmission band extending longitudinally between and coupled to each of the first pulley and the second pulley, the at least one torque transmission band having a corresponding band height for the predetermined arm link height and a variable lateral thickness such that the at least one torque transmission band includes a segment of laterally increased cross section for the corresponding band height.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
71.
PROCESS APPARATUS WITH ON-THE-FLY SUBSTRATE CENTERING
A substrate processing apparatus including a frame defining a chamber with a substrate transport opening and a substrate transfer plane defined therein, a valve mounted to the frame and being configured to seal an atmosphere of the chamber when closed, the valve having a door movably disposed to open and close the substrate transport opening, and at least one substrate sensor element disposed on a side of the door and oriented to sense substrates located on the substrate transfer plane.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
A container or array of containers that is are sealed with a peelable seal is transported via a conveyor along a processing path toward a desealing station at which an adhesive surface having a width substantially the same as or greater than the width of the seal is pressed against the upper surface of the peelable seal. A collection rod applies a downward pressure on the adhesive surface, pressing it against the seal and keeping the container or container array in position on the conveyor as the plate moves with the conveyor. As the leading edge of the seal passes the collection rod, the adhesive surface is rolled upward, away from the plane of the seal, pulling up on the leading edge of the seal to separate it from the container or container array while the container or container array is held down by the roller. The removed seal is then discarded.
A tray engine includes a vertical drive column, a rotation mechanism for rotating the vertical drive column, and an end effector attached to the vertical drive column. The end effector includes an end effector base attached to the vertical drive column. The end effector further includes a slide attached to the end effector base to support a tray, when present. The slide enables the tray to slide along a length of the end effector base. The tray engine includes a drive mechanism attached to the end effector base for moving along the length of the end effector base to enable the tray, when present, to slide linearly along the length and load or unload the tray to or from the slide.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
H01R 11/24 - Pièces d'extrémité se terminant par une pince à ressort avec des mâchoires de serrage, p. ex. pince crocodile
A substrate transport system includes a carrier having a housing forming an interior environment having an opening for holding at least one substrate and a door for sealing the opening from an outside atmosphere where when sealed the interior environment is configured to maintain an interior atmosphere therein, the housing including a fluid reservoir exterior to the interior environment and configured to contain a fluid, forming a different atmosphere in the fluid reservoir than the interior atmosphere, to form a fluidic barrier seal that seals the interior environment from an environment exterior to the carrier.
H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
75.
ACCESS ARBITRATION SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT AND METHODS FOR USING AND OPERATING THE SAME
An access arbitration module includes a plurality of active component communication ports for communicating with a plurality of active components, and includes a passive component communication port for communicating with a passive component. The access arbitration module also includes switching logic defined to control transmission of access communication protocol signals between each of the plurality of active component communication ports and the passive component communication port, such that an authorized one of the plurality of active component communication ports is connected in communication with the passive component communication port at a given time, and such that non-authorized ones of the plurality of active component communication ports are prevented from communication with the passive component communication port at the given time.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
76.
Gripper apparatus and method for containers of different sizes
A gripper apparatus for removing and replacing objects such as containers or vials in an array of containers has a gripper head which extends downward from a support arm, a planetary gear assembly mounted in the gripper head including at least three planet gears, and at least one gripping grip extending downward from each planet gear and projecting beyond a lower end of the gripper head. A drive motor drives the planetary gear assembly to rotate the planet gears in opposite directions, moving the grips inward and outward along predetermined paths to grip and carry an object and release the object when in a desired location.
B65G 7/12 - Porte-charges, p. ex. crochets, courroies, harnais, gants, modifiés pour porter les charges
B66C 1/00 - Éléments ou dispositifs de prise de la charge adjoints aux mécanismes de levage, de descente ou de halage, ou adaptés pour être utilisés avec ces mécanismes et transmettant les efforts à des articles ou à des groupes d'articles
Disclosed is a method of determining a volume of liquid in a sample tube, comprising the steps of capturing an image of the sample tube, determining a first region of interest within the sample tube based upon pre-stored information concerning dimensional properties of the sample tube, scanning the first region of interest to detect the position of a meniscus indicative of an upper extent of the liquid, and using said meniscus position together with certain pre-stored properties of the sample tube to determine a volume of liquid in the tube, and outputting said volume. Also disclosed is an apparatus for performing the method.
A transfer apparatus for transporting substrates in a transfer chamber having a first and second ends and two sides extending between the ends. The transfer apparatus includes a drive section, at least one base arm fixed at one end with respect to the transfer chamber and including at least one arm link rotatably coupled to the drive section and at least one transfer arm rotatably coupled to a common end of the base arm, the at least one transfer arm has two end effectors. The drive section has motors with three independent axes of rotation defining three degrees of freedom. One degree of freedom moves the at least one base arm horizontally for transporting the at least one transfer arm and two degrees of freedom drives the at least one transfer arm to extend and retract the at least one transfer arm and swap the two end effectors.
A substrate transport apparatus for transporting substrates, the substrate transport apparatus including a frame, at least one transfer arm connected to the frame, at least one end effector mounted to the at least one transfer arm and at least one substrate support pad disposed on the at least one end effector, the at least one substrate support pad has a configuration that effects increased friction force, resulting from an increased friction coefficient, in at least one predetermined direction.
B65G 25/00 - Transporteurs comportant un porte-charges ou un impulseur à mouvement cyclique, p. ex. à va-et-vient, désengagé de la charge pendant le mouvement de retour
A substrate processing system including at least two vertically stacked transport chambers, each of the vertically stacked transport chambers including a plurality of openings arranged to form vertical stacks of openings configured for coupling to vertically stacked process modules, at least one of the vertically stacked transport chambers includes at least one transport chamber module arranged for coupling to another transport chamber module to form a linear transport chamber and another of the at least two stacked transport chambers including at least one transport chamber module arranged for coupling to another transport chamber module to form another linear transport chamber, and a transport robot disposed in each of the transport chamber modules, where a joint of the transport robot is locationally fixed along a linear path formed by the respective linear transport chamber.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
B65H 1/00 - Supports ou magasins pour les piles dans lesquelles on prélève des articles
81.
METHOD AND APPARATUS FOR TUNING AN ELECTROSTATIC ION TRAP
An apparatus includes an electrostatic ion trap and electronics configured to measure parameters of the ion trap and configured to adjust ion trap settings based on the measured parameters. A method of tuning the electrostatic ion trap includes, under automatic electronic control, measuring parameters of the ion trap and adjusting ion trap settings based on the measured parameters.
A substrate loading station including a frame forming a chamber configured to hold a controlled environment, a transfer robot connected to the frame and one or more substrate cassette holding locations each capable of having a substrate cassette holder disposed within the frame. Each of the one or more substrate cassette holding locations being configured to removably support a respective substrate cassette in a predetermined position for communication with the transfer robot to effect substrate transfer between a respective cassette and the transfer robot where the one or more substrate cassette holding locations are configured to effect the interchangeability of one or more substrate cassette holders with other substrate cassette holders for changing a substrate cassette holding capacity of the substrate loading station.
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
A volumetric measurement system having an imaging device and a light source, where the light source is configured to illuminate the container and the sample regardless of a blockage or obstruction of the sample on at least part of the container.
A time-optimal trajectory generation method, for a robotic manipulator having a transport path with at least one path segment, comprising generating a forward time-optimal trajectory of the manipulator along the at least one path segment from a start point of the at least one path segment towards an end point of the at least one path segment, generating a reverse time- optimal trajectory of the manipulator along the at least one path segment from the end point towards the start point of the at least one path segment, and combining the time-optimal forward and reverse trajectories to obtain a complete time-optimal trajectory, where the forward and reverse trajectories of the at least one path segment are blended together with a smoothing bridge joining the time-optimal forward and reverse trajectories in a position-velocity reference frame with substantially no discontinuity between the time-optimal forward and reverse trajectories.
G06F 19/00 - Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des applications spécifiques (spécialement adaptés à des fonctions spécifiques G06F 17/00;systèmes ou méthodes de traitement de données spécialement adaptés à des fins administratives, commerciales, financières, de gestion, de surveillance ou de prévision G06Q;informatique médicale G16H)
85.
Method and device for compensation for dimensional variations in low temperature sample group holders
An apparatus includes a pick head configured to transfer sample containers to and from a sample group holder, at least one sensor connected to the pick head and configured to detect at least one predetermined feature of the sample group holder, and a controller configured to receive a detection signal from the at least one sensor corresponding to detection of the at least one predetermined feature, determine a change in a predetermined characteristic of the sample group holder based on a detected position of the at least one predetermined feature, and determine a location of one or more samples in the sample group holder to allow for the transfer of the one or more sample containers to and from the sample group holder based on the edge detection signal.
B65G 1/06 - Dispositifs d'emmagasinage mécaniques avec des moyens pour que les objets se présentent à l'enlèvement dans des positions ou à des niveaux prédéterminés
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
In accordance with one or more aspects of the disclosed embodiment an apparatus is provided. The apparatus includes a pick head configured to transfer sample containers to and from a sample group holder, at least one sensor connected to the pick head and configured to detect at least one predetermined feature of the sample group holder, and a controller configured to receive a detection signal from the at least one sensor corresponding to detection of the at least one predetermined feature, determine a change in a predetermined characteristic of the sample group holder based on a detected position of the at least one predetermined feature, and determine a location of one or more samples in the sample group holder to allow for the transfer of the one or more sample containers to and from the sample group holder based on the edge detection signal.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
87.
SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS WITH COMPACT SHAFTLESS DIRECT DRIVE
A substrate transport apparatus including a frame, at least one arm link rotatably connected to the frame and a shaftless drive section. The shaftless drive section including stacked drive motors for rotating the at least one arm link relative to the frame through a shaftless interface, each of the stacked drive motors including a stator having stator coils disposed on a fixed post fixed relative to the frame and a rotor substantially peripherally surrounding the stator such that the rotor is connected to a respective one of the at least one arm link for rotating the one of the at least one arm link relative to the frame causing an extension or retraction of the one of the at least one arm link, where the stacked drive motors are disposed in the at least one arm link so that at least part of each stator is within a common arm link of the at least one arm link.
A modular sample store including a storage area; a service area; a transfer area; a motorized robot with a lifting device and at least one platform; and a controller. The sample store service area includes one integrally formed cubic vat module and the sample store storage area includes at least one integrally formed cubic vat module. Each one of the aforementioned vat modules includes an essentially horizontal vat floor and four joining vat walls that are connected to the vat floor and that are leaving an open vat space. The modular sample store also includes upper side walls and a cover plate to close the sample store. Each vat floor and vat wall includes an outside liner and an inside liner, which outside and inside liners in each case are separated by a clearance. This clearance is essentially filled with a polymer foam material that provides fixation of the outside and inside liners to each other as well as thermal insulation of and reinforcement to the thus integrally formed cubic vat module sandwich construction.
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
G01N 35/10 - Dispositifs pour transférer les échantillons vers, dans ou à partir de l'appareil d'analyse, p. ex. dispositifs d'aspiration, dispositifs d'injection
A47F 5/00 - Stands d'étalage, systèmes de suspension ou rayonnages caractérisés par leurs particularités de structure
B65G 1/06 - Dispositifs d'emmagasinage mécaniques avec des moyens pour que les objets se présentent à l'enlèvement dans des positions ou à des niveaux prédéterminés
89.
SYSTEMS AND METHODS FOR WARMING A CRYOGENIC HEAT EXCHANGER ARRAY, FOR COMPACT AND EFFICIENT REFRIGERATION, AND FOR ADAPTIVE POWER MANAGEMENT
In accordance with an embodiment of the invention, there is provided a method of warming a heat exchanger array of a very low temperature refrigeration system, the method comprising diverting at least a portion of refrigerant flow in the refrigeration system away from a refrigerant flow circuit used during very low temperature cooling operation of the refrigeration system, to effect warming of at least a portion of the heat exchanger array; and while diverting the at least a portion of refrigerant flow, preventing excessive refrigerant mass flow through a compressor of the refrigeration system.
F25B 9/00 - Machines, installations ou systèmes à compression dans lesquels le fluide frigorigène est l'air ou un autre gaz à point d'ébullition peu élevé
90.
Automated system for storing, retrieving and managing samples
An automated storage system for storing large quantities of samples in trays includes a storage compartment, a tray shuttle compartment abutting the storage compartment on one side and a plurality of independent modules on the other side. The modules perform processing of samples that are retrieved from the storage compartment by a tray shuttle, including extraction of selected samples from retrieved source trays and transfer of the selected samples into a separate, destination tray that can be further processed or removed from the system for use. The independent operation of the modules permits handling and processing to be performed simultaneously by different modules while the tray shuttle accesses additional samples within the storage compartment. In one embodiment, a vertical carousel is used to vertically align a desired tray with the tray shuttle, while the tray shuttle operates within a horizontal plane.
B65G 47/00 - Dispositifs de manutention d'objets ou de matériaux associés aux transporteursProcédés d'emploi de ces dispositifs
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
A storage stack for storing sample containers in a low temperature sample store, each storage stack includes first and second rigid lateral support flanges including a multitude of storage webs for supporting sample containers; a rigid back panel; a rigid bottom plate; and a rigid insulation cover. The insulation cover includes a handling plate and an insulation block. A number of insulation covers of all storage stacks of a storage stack array form an essentially continuous insulation layer on a storage area of the low temperature sample store. For all storage stacks, carrying elements are provided that statically connect the bottom plate of each individual storage stack with a bottom structure of the storage area, carry the entire weight of the individual storage stack and all sample containers inserted therein, and confer this entire weight to a bottom structure of the storage area of the low temperature sample store.
G01N 35/10 - Dispositifs pour transférer les échantillons vers, dans ou à partir de l'appareil d'analyse, p. ex. dispositifs d'aspiration, dispositifs d'injection
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
A substrate processing apparatus including a frame, a first SCARA arm connected to the frame, including an end effector, configured to extend and retract along a first radial axis; a second SCARA arm connected to the frame, including an end effector, configured to extend and retract along a second radial axis, the SCARA arms having a common shoulder axis of rotation; and a drive section coupled to the SCARA arms is configured to independently extend each SCARA arm along a respective radial axis and rotate each SCARA arm about the common shoulder axis of rotation where the first radial axis is angled relative to the second radial axis and the end effector of a respective arm is aligned with a respective radial axis, wherein each end effector is configured to hold at least one substrate and the end effectors are located on a common transfer plane.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
A refrigerant management system controls the supply of refrigerant from two or more variable speed and fixed speed compressors to a plurality of cryogenic refrigerators. The system employs a plurality of sensors to monitor and regulate the overall refrigerant supply to deliver an appropriate refrigerant supply to each of the cryogenic refrigerators. The amount of refrigerant to supply is based on an aggregate demand for refrigerant from the plurality of cryogenic refrigerators and a refrigerant correction metric. An appropriate supply of refrigerant is distributed to each cryogenic refrigerator by adjusting the speed of the variable speed compressors or, alternatively, selectively turning the compressors on or off. The speed of the variable speed compressors is adjusted by determining an amount of refrigerant to supply to the plurality of cryogenic refrigerators. If the aggregate demand for refrigerant exceeds the capacity of the compressors, then the speed of a refrigerator within the plurality of refrigerators is adjusted.
F25B 9/00 - Machines, installations ou systèmes à compression dans lesquels le fluide frigorigène est l'air ou un autre gaz à point d'ébullition peu élevé
A cryopump has a simple-to-manufacture frontal baffle plate with improved gas distribution and has a large-area second-stage array plate to capture Type II gases. The cryopump has a first-stage frontal baffle plate having orifices and flaps bent from and attached to the orifices. The cryopump has a second-stage top plate that is larger in area than cooling baffles of the second stage array.
F04B 37/08 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation par moyens thermiques par condensation ou réfrigération, p. ex. pompes cryogéniques
A workpiece handling module including a first housing member and a second housing member pivotally movable relative to the first member forming a housing having an access side and a second side opposite the access side and side walls, a first portion of the side walls is carried by the first member and a second portion of the side walls is carried by the second member, and at least one of the first and second housing members includes at least one sealable opening for allowing ingress and egress of workpieces to and from an interior chamber formed by the first and second housing members in a closed configuration, and the second portion of the side walls adjacent the access side and carried by the second member is greater than the first portion of the side walls adjacent the access side and carried by the first member.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A storage and retrieval system is provided. The storage and retrieval system having a frame and a shuttle movable within the frame, the shuttle having a carriage extending at least partially between a top and bottom of the frame. At least one tension member extends between a first and second ends of the frame and is coupled to the shuttle. At least one drive member extends between the first and second ends of the frame and is coupled to the shuttle. The at least one drive member and the at least one tension member project from opposite sides of the shuttle towards respective first and second ends of the frame and effect stabilization of the carriage against at least rotation relative to the frame. The at least one tension member crosses the at least one drive member and the at least one drive member effects movement of the shuttle.
B65G 1/06 - Dispositifs d'emmagasinage mécaniques avec des moyens pour que les objets se présentent à l'enlèvement dans des positions ou à des niveaux prédéterminés
G01N 35/00 - Analyse automatique non limitée à des procédés ou à des matériaux spécifiés dans un seul des groupes Manipulation de matériaux à cet effet
A cryopump system includes a cryopump having a first cooling stage and a second cooling stage connected to the first cooling stage, the second cooling stage including a gas adsorber having a hydrogen adsorbing capacity of at least about 2 standard liters. The thermal storage capacity of the second cooling stage is sufficient to enable control of hydrogen pressure within the cryopump to satisfy ignition safety limits and limits on hydrogen flow rate in an exhaust line to be within limits of an abatement system to be coupled to the cryopump, upon warming of the second cooling stage during regeneration of up to a fully loaded cryopump.
F04B 37/08 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation par moyens thermiques par condensation ou réfrigération, p. ex. pompes cryogéniques
F04B 37/14 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour utilisation particulière pour obtenir un vide élevé
A substrate processing apparatus including a frame, a first arm coupled to the frame at a shoulder axis having a first upper arm, a first forearm and at least one substrate holder serially and rotatably coupled to each other, a second arm coupled to the frame at the shoulder axis where shoulder axes of rotation of the arms are substantially coincident, the second arm having a second upper arm, a second forearm and at least one substrate holder serially and rotatably coupled to each other, and a drive section connected to the frame and coupled to the arms, the drive section being configured to independently extend and rotate each arm where an axis of extension of the first arm is angled relative to an axis of extension of the second arm substantially at each angular position of at least one of the first arm or the second arm.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
A container or array of containers that is are sealed with a peelable seal is transported via a conveyor along a processing path toward a desealing station at which an adhesive surface having a width substantially the same as or greater than the width of the seal is pressed against the upper surface of the peelable seal. A collection rod applies a downward pressure on the adhesive surface, pressing it against the seal and keeping the container or container array in position on the conveyor as the plate moves with the conveyor. As the leading edge of the seal passes the collection rod, the adhesive surface is rolled upward, away from the plane of the seal, pulling up on the leading edge of the seal to separate it from the container or container array while the container or container array is held down by the roller. The removed seal is then discarded.
A robotic transport apparatus including a drive system including at least one harmonic motor assembly, at least one drive shaft coupled to the at least one harmonic motor assembly, at least one robotic arm mounted to the at least one drive shaft, where the robotic arm is located inside a sealed environment, and at least one atmospheric isolation seal seated on an output surface of the drive system and forming an atmospheric barrier disposed so that the at least one drive shaft extends through the atmospheric barrier into the sealed environment and the at least one harmonic motor assembly is located outside the sealed environment, wherein the robotic transport apparatus is a high capacity payload transport apparatus.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p. ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p. ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
