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- H - Électricité
- H01J - Tubes à décharge électrique ou lampes à décharge électrique
- H01J 37/067 - Éléments de rechange des canonsRéglage mutuel d'électrodes
Détention brevets de la classe H01J 37/067
Brevets de cette classe: 20
Historique des publications depuis 10 ans
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Propriétaires principaux
| Proprétaire |
Total
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Cette classe
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|---|---|---|
| Hitachi High-Technologies Corporation | 1993 |
2 |
| Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | 1198 |
2 |
| Mapper Lithography IP B.V. | 131 |
2 |
| Aquasium Technology Limited | 19 |
2 |
| Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | 9010 |
1 |
| Axcelis Technologies, Inc. | 427 |
1 |
| Denka Company Limited | 2692 |
1 |
| FEI Company | 1034 |
1 |
| JEOL Ltd. | 613 |
1 |
| KLA-Tencor Corporation | 2524 |
1 |
| Max-Planck-Gesellschaft zur Forderung der Wissenschaften e.V. | 1815 |
1 |
| Leybold GmbH | 294 |
1 |
| Ralf Edinger | 4 |
1 |
| Carl Zeiss MultiSEM GmbH | 171 |
1 |
| Hitachi High-Tech Corporation | 5629 |
1 |
| Thales Deutschland GmbH Electron Devices | 5 |
1 |
| Autres propriétaires | 0 |