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  • C - Chimiemétallurgie
  • C23C - Revêtement de matériaux métalliquesrevêtement de matériaux avec des matériaux métalliquestraitement de surface de matériaux métalliques par diffusion dans la surface, par conversion chimique ou substitutionrevêtement par évaporation sous vide, par pulvérisation cathodique, par implantation d'ions ou par dépôt chimique en phase vapeur, en général
  • C23C 16/52 - Commande ou régulation du processus de dépôt

Détention brevets de la classe C23C 16/52

Brevets de cette classe: 3649

Historique des publications depuis 10 ans

240
229
268
223
278
367
309
373
462
203
2017 2018 2019 2020 2021 2022 2023 2024 2025 2026

Propriétaires principaux

Proprétaire
Total
Cette classe
Tokyo Electron Limited
13577
501
Kokusai Electric Corporation
2195
469
Applied Materials, Inc.
20112
455
Lam Research Corporation
5551
326
ASM IP Holding B.V.
2301
269
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.
47602
82
Aixtron SE
330
54
Samsung Electronics Co., Ltd.
154751
44
Entegris, Inc.
1986
28
Novellus Systems, Inc.
458
24
Jusung Engineering Co., Ltd.
482
23
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd.
698
23
Samsung Display Co., Ltd.
37981
19
NuFlare Technology, Inc.
907
19
Fujikin Incorporated
697
14
MKS Instruments, Inc.
565
14
Jiangsu Favored Nanotechnology Co., LTD
164
14
Beneq Oy
244
13
Picosun Oy
157
13
Kioxia Corporation
10715
13
Autres propriétaires 1232

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