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  • C - Chimiemétallurgie
  • C23C - Revêtement de matériaux métalliquesrevêtement de matériaux avec des matériaux métalliquestraitement de surface de matériaux métalliques par diffusion dans la surface, par conversion chimique ou substitutionrevêtement par évaporation sous vide, par pulvérisation cathodique, par implantation d'ions ou par dépôt chimique en phase vapeur, en général
  • C23C 16/52 - Commande ou régulation du processus de dépôt

Détention brevets de la classe C23C 16/52

Brevets de cette classe: 3826

Historique des publications depuis 10 ans

240
229
268
223
279
367
312
373
462
372
2017 2018 2019 2020 2021 2022 2023 2024 2025 2026

Propriétaires principaux

Proprétaire
Total
Cette classe
Tokyo Electron Limited
13920
519
Kokusai Electric Corporation
2243
487
Applied Materials, Inc.
20552
476
Lam Research Corporation
5689
349
ASM IP Holding B.V.
2426
293
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.
48760
84
Aixtron SE
336
56
Samsung Electronics Co., Ltd.
158842
50
Entegris, Inc.
2023
32
Jusung Engineering Co., Ltd.
500
25
Novellus Systems, Inc.
447
24
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd.
757
24
Samsung Display Co., Ltd.
39012
21
NuFlare Technology, Inc.
927
20
Fujikin Incorporated
703
14
MKS Instruments, Inc.
547
14
Picosun Oy
168
14
Jiangsu Favored Nanotechnology Co., LTD
170
14
Beneq Oy
246
13
Kioxia Corporation
10948
13
Autres propriétaires 1284

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