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  • C - Chimiemétallurgie
  • C23C - Revêtement de matériaux métalliquesrevêtement de matériaux avec des matériaux métalliquestraitement de surface de matériaux métalliques par diffusion dans la surface, par conversion chimique ou substitutionrevêtement par évaporation sous vide, par pulvérisation cathodique, par implantation d'ions ou par dépôt chimique en phase vapeur, en général
  • C23C 16/52 - Commande ou régulation du processus de dépôt

Détention brevets de la classe C23C 16/52

Brevets de cette classe: 3431

Historique des publications depuis 10 ans

244
239
229
266
223
277
366
305
371
446
2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022 2023 2024 2025

Propriétaires principaux

Proprétaire
Total
Cette classe
Tokyo Electron Limited
13155
472
Kokusai Electric Corporation
2104
447
Applied Materials, Inc.
19298
418
Lam Research Corporation
5382
309
ASM IP Holding B.V.
2166
241
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.
46182
81
Aixtron SE
322
52
Samsung Electronics Co., Ltd.
149198
38
Novellus Systems, Inc.
470
24
Entegris, Inc.
1914
22
Jusung Engineering Co., Ltd.
459
21
NuFlare Technology, Inc.
886
19
Samsung Display Co., Ltd.
36317
18
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd.
631
15
Fujikin Incorporated
695
14
MKS Instruments, Inc.
632
14
Jiangsu Favored Nanotechnology Co., LTD
162
14
Beneq Oy
251
13
Picosun Oy
148
12
Kioxia Corporation
10455
12
Autres propriétaires 1175

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